Abstract:
박막 식각 방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 본 발명의 박막 식각 방법은 기판 상에 Ga-In-Zn-O막을 형성하는 단계; 상기 Ga-In-Zn-O막의 일부를 덮는 마스크층을 형성하는 단계; 및 상기 마스크층을 식각 장벽으로 이용해서 상기 Ga-In-Zn-O막을 식각하는 단계;를 포함하고, 상기 식각시 사용되는 식각 가스는 제1 가스를 포함하고, 상기 제1 가스는 염소를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 식각 가스는 제2 가스를 더 포함할 수 있고, 상기 제2 가스는 알칸(C n H 2n+2 )을 포함할 수 있다. 상기 제1 가스는 Cl 2 , BCl 3 및 CCl 3 중 어느 하나일 수 있고, 상기 제2 가스는 CH 4 일 수 있다. 상기 식각 가스는 H 2 가스를 더 포함할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 센서 네트워크의 측정 데이터에 대한 분산 검증을 수행하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 센서 네트워크의 측정 데이터에 대한 분산 검증을 수행하는 방법은, 수집 노드에서 복수의 센서 노드로부터 각각 수신된 측정 데이터를 검증하는 단계, 상기 수집 노드에서 상기 검증된 측정 데이터를 이용하여 검증 요청 데이터를 생성하고 검증 노드로 전송하는 단계 및 상기 검증 노드에서 수신한 상기 검증 요청 데이터 및 상기 복수의 센서 노드 중 기선정된(predetermined) 수의 센서 노드를 통해 상기 수집 노드를 검증하는 단계를 포함하고, 상기 수집 노드가 검증되는 경우, 상기 수집 노드에서 기지국으로 상기 측정 데이터에 대한 수집 결과를 전송하는 단계 및 상기 기지국에서 상기 수집 결과를 검증하는 단계를 더 포함한다. 즉, 상기 수집 노드가 검증 노드로부터 수신한 검증 노드의 전자서명을 이용하여 기지국으로 보낼 상기 측정 데이터와 검증 확인 데이터를 생성하여 기지국으로 전송할 수 있다. 센서 네트워크, 센서, 수집자(aggregator), 검증자(verifier), 무결성(integrity)
Abstract:
PURPOSE: A chemical vapor deposition apparatus is provided to secure uniformity of a reaction gas by separately spraying the reaction gas. CONSTITUTION: A reaction chamber(100) includes a reaction space. A wafer boat(200) is arranged in the reaction space. The wafer boat includes a plurality of wafers. A gas supply unit(300) is formed around the wafer boat and sprays a reaction gas to each wafer.
Abstract:
배리스터를 포함하는 저항성 메모리 소자 및 그 동작 방법에 관해 개시되어 있다. 여기에 본 발명은 하부전극 배선, 상기 하부전극 배선과 교차하는 상부전극 배선 및 상기 상부 및 하부전극 배선사이에 구비되어 있되, 상기 상부 및 하부전극 배선의 교차 부분에 구비된 적층물을 포함하고 상기 적층물은 배리스터(varistor)와 데이터 저장층을 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 소자 및 그 동작 방법을 제공한다. 상기 배리스터와 상기 데이터 저장층은 상기 하부전극 배선 상에 순차적으로 적층되어 있거나, 상기 상부전극 배선 상에 순차적으로 적층될 수 있다. 또한, 상기 배리스터와 상기 데이터 저장층사이에 플로팅 전극이 더 구비될 수 있다.
Abstract:
산화제와의 반응이 없이도 용이하게 분해될 수 있는 새로운 유기금속 전구체 물질 및 이를 이용한 금속박막의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 유기금속 전구체 물질은 Ru(DMPD) 2 또는 Ir(DMPD) 2 에 비공유 전자쌍을 갖는 유기물 분자로서 에테르 화합물, 아민 화합물, 및 THF(tetrahydrofuran)로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나의 물질이 배위결합된 구조를 갖는다.
Abstract:
신호 특성 결정 방법 및 그 장치가 개시된다. 본 발명에 의한 신호 특성 결정 장치는, RF 신호 및 상기 RF 신호를 이치화하여 얻은 이진 데이터를 입력받아, 상기 이진 데이터를 이용하여 상기 RF 신호의 각 샘플값을 레벨 별로 분류하기 위한 선택 신호를 생성하고, 상기 선택 신호를 이용하여 상기 RF 신호의 샘플 값들을 레벨 별로 분류한 후 각 레벨별 샘플 값들의 평균값을 출력하는 레벨 검출부; 및 상기 각 레벨별 샘플 값들의 평균값을 이용하여 상기 RF 신호의 특성을 나타내는 소정의 특성 값을 연산하는 신호특성 결정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, RF 신호의 특성을 나타내는 소정의 특성값들을 보다 정확하게 결정할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A solar cell and a manufacturing method thereof are provided to improve the efficiency of the solar cell by improving an interface property between a semiconductor layer and a dielectric layer. CONSTITUTION: A semiconductor layer(110) includes a p type layer and an n type layer. A dielectric layer(130) is located on one side of the semiconductor layer and includes silicate. A first electrode is connected to the p type layer of the semiconductor layer. A second electrode is connected to the n type layer of the semiconductor layer.