박막 식각 방법
    101.
    发明授权
    박막 식각 방법 有权
    薄膜蚀刻方法

    公开(公告)号:KR101303578B1

    公开(公告)日:2013-09-09

    申请号:KR1020070001578

    申请日:2007-01-05

    CPC classification number: H01L29/7869

    Abstract: 박막 식각 방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 본 발명의 박막 식각 방법은 기판 상에 Ga-In-Zn-O막을 형성하는 단계; 상기 Ga-In-Zn-O막의 일부를 덮는 마스크층을 형성하는 단계; 및 상기 마스크층을 식각 장벽으로 이용해서 상기 Ga-In-Zn-O막을 식각하는 단계;를 포함하고, 상기 식각시 사용되는 식각 가스는 제1 가스를 포함하고, 상기 제1 가스는 염소를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 식각 가스는 제2 가스를 더 포함할 수 있고, 상기 제2 가스는 알칸(C
    n H
    2n+2 )을 포함할 수 있다. 상기 제1 가스는 Cl
    2 , BCl
    3 및 CCl
    3 중 어느 하나일 수 있고, 상기 제2 가스는 CH
    4 일 수 있다. 상기 식각 가스는 H
    2 가스를 더 포함할 수 있다.

    센서 네트워크의 측정 데이터에 대한 분산 검증을 수행하는방법 및 상기 방법을 수행하는 시스템
    102.
    发明授权
    센서 네트워크의 측정 데이터에 대한 분산 검증을 수행하는방법 및 상기 방법을 수행하는 시스템 有权
    传感器网络中测量数据执行分布式验证的方法及执行方法的系统

    公开(公告)号:KR101301775B1

    公开(公告)日:2013-09-02

    申请号:KR1020070010301

    申请日:2007-01-31

    CPC classification number: H04L67/12 H04L63/123

    Abstract: 본 발명은 센서 네트워크의 측정 데이터에 대한 분산 검증을 수행하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 센서 네트워크의 측정 데이터에 대한 분산 검증을 수행하는 방법은, 수집 노드에서 복수의 센서 노드로부터 각각 수신된 측정 데이터를 검증하는 단계, 상기 수집 노드에서 상기 검증된 측정 데이터를 이용하여 검증 요청 데이터를 생성하고 검증 노드로 전송하는 단계 및 상기 검증 노드에서 수신한 상기 검증 요청 데이터 및 상기 복수의 센서 노드 중 기선정된(predetermined) 수의 센서 노드를 통해 상기 수집 노드를 검증하는 단계를 포함하고, 상기 수집 노드가 검증되는 경우, 상기 수집 노드에서 기지국으로 상기 측정 데이터에 대한 수집 결과를 전송하는 단계 및 상기 기지국에서 상기 수집 결과를 검증하는 단계를 더 포함한다. 즉, 상기 수집 노드가 검증 노드로부터 수신한 검증 노드의 전자서명을 이용하여 기지국으로 보낼 상기 측정 데이터와 검증 확인 데이터를 생성하여 기지국으로 전송할 수 있다.
    센서 네트워크, 센서, 수집자(aggregator), 검증자(verifier), 무결성(integrity)

    화학 기상 증착 장치
    103.
    发明公开
    화학 기상 증착 장치 审中-实审
    化学蒸气沉积装置

    公开(公告)号:KR1020130043399A

    公开(公告)日:2013-04-30

    申请号:KR1020110107485

    申请日:2011-10-20

    Abstract: PURPOSE: A chemical vapor deposition apparatus is provided to secure uniformity of a reaction gas by separately spraying the reaction gas. CONSTITUTION: A reaction chamber(100) includes a reaction space. A wafer boat(200) is arranged in the reaction space. The wafer boat includes a plurality of wafers. A gas supply unit(300) is formed around the wafer boat and sprays a reaction gas to each wafer.

    Abstract translation: 目的:提供化学气相沉积装置,通过分开喷射反应气体来确保反应气体的均匀性。 构成:反应室(100)包括反应空间。 晶片舟(200)布置在反应空间中。 晶片舟包括多个晶片。 在晶片舟皿周围形成气体供给单元(300),并向每个晶片喷射反应气体。

    배리스터를 포함하는 저항성 메모리 소자 및 그 동작 방법
    105.
    发明授权
    배리스터를 포함하는 저항성 메모리 소자 및 그 동작 방법 有权
    电阻RAM包括变阻器及其操作方法

    公开(公告)号:KR101186293B1

    公开(公告)日:2012-09-27

    申请号:KR1020060005840

    申请日:2006-01-19

    CPC classification number: G11C13/003 G11C13/0007 G11C2213/32 G11C2213/76

    Abstract: 배리스터를 포함하는 저항성 메모리 소자 및 그 동작 방법에 관해 개시되어 있다. 여기에 본 발명은 하부전극 배선, 상기 하부전극 배선과 교차하는 상부전극 배선 및 상기 상부 및 하부전극 배선사이에 구비되어 있되, 상기 상부 및 하부전극 배선의 교차 부분에 구비된 적층물을 포함하고 상기 적층물은 배리스터(varistor)와 데이터 저장층을 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 소자 및 그 동작 방법을 제공한다. 상기 배리스터와 상기 데이터 저장층은 상기 하부전극 배선 상에 순차적으로 적층되어 있거나, 상기 상부전극 배선 상에 순차적으로 적층될 수 있다. 또한, 상기 배리스터와 상기 데이터 저장층사이에 플로팅 전극이 더 구비될 수 있다.

    새로운 유기금속 전구체 물질 및 이를 이용한 금속박막의제조방법
    106.
    发明授权
    새로운 유기금속 전구체 물질 및 이를 이용한 금속박막의제조방법 有权
    新型金属有机前体材料及其制备方法

    公开(公告)号:KR101159073B1

    公开(公告)日:2012-06-25

    申请号:KR1020050088714

    申请日:2005-09-23

    Inventor: 이정현 서범석

    CPC classification number: C07F15/0053

    Abstract: 산화제와의 반응이 없이도 용이하게 분해될 수 있는 새로운 유기금속 전구체 물질 및 이를 이용한 금속박막의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 유기금속 전구체 물질은 Ru(DMPD)
    2 또는 Ir(DMPD)
    2 에 비공유 전자쌍을 갖는 유기물 분자로서 에테르 화합물, 아민 화합물, 및 THF(tetrahydrofuran)로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나의 물질이 배위결합된 구조를 갖는다.

    신호 특성 결정 방법 및 그 장치
    107.
    发明授权
    신호 특성 결정 방법 및 그 장치 有权
    用于确定信号特性的装置和方法

    公开(公告)号:KR101044939B1

    公开(公告)日:2011-06-28

    申请号:KR1020040067191

    申请日:2004-08-25

    CPC classification number: G11B20/10009 G11B2020/10555

    Abstract: 신호 특성 결정 방법 및 그 장치가 개시된다. 본 발명에 의한 신호 특성 결정 장치는, RF 신호 및 상기 RF 신호를 이치화하여 얻은 이진 데이터를 입력받아, 상기 이진 데이터를 이용하여 상기 RF 신호의 각 샘플값을 레벨 별로 분류하기 위한 선택 신호를 생성하고, 상기 선택 신호를 이용하여 상기 RF 신호의 샘플 값들을 레벨 별로 분류한 후 각 레벨별 샘플 값들의 평균값을 출력하는 레벨 검출부; 및 상기 각 레벨별 샘플 값들의 평균값을 이용하여 상기 RF 신호의 특성을 나타내는 소정의 특성 값을 연산하는 신호특성 결정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, RF 신호의 특성을 나타내는 소정의 특성값들을 보다 정확하게 결정할 수 있다.

    태양 전지 및 이의 제조 방법
    108.
    发明公开
    태양 전지 및 이의 제조 방법 无效
    太阳能电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020110047861A

    公开(公告)日:2011-05-09

    申请号:KR1020090104649

    申请日:2009-10-30

    CPC classification number: H01L31/1868 H01L31/02167 Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: PURPOSE: A solar cell and a manufacturing method thereof are provided to improve the efficiency of the solar cell by improving an interface property between a semiconductor layer and a dielectric layer. CONSTITUTION: A semiconductor layer(110) includes a p type layer and an n type layer. A dielectric layer(130) is located on one side of the semiconductor layer and includes silicate. A first electrode is connected to the p type layer of the semiconductor layer. A second electrode is connected to the n type layer of the semiconductor layer.

    Abstract translation: 目的:提供太阳能电池及其制造方法,以通过改善半导体层和电介质层之间的界面性能来提高太阳能电池的效率。 构成:半导体层(110)包括p型层和n型层。 电介质层(130)位于半导体层的一侧并且包括硅酸盐。 第一电极连接到半导体层的p型层。 第二电极连接到半导体层的n型层。

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