Patent search ap:("한국과학기술연구원") AND inv:"김용태" Page 11

101.

发明公开
텅스텐 박막 제조용 플라즈마 화학증착 온도 측정장치 失效

公开(公告)号：KR1019930002808A

公开(公告)日：1993-02-23

申请号：KR1019910011617

申请日：1991-07-09

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 민석기 , 김용태

IPC: G01K13/00 , G01K7/02

Abstract: 내용 없음.

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