乾式真空泵
    105.
    发明专利
    乾式真空泵 失效
    干式真空泵

    公开(公告)号:TW483986B

    公开(公告)日:2002-04-21

    申请号:TW087111061

    申请日:1998-07-08

    IPC: F04B

    Abstract: 一種乾式真空泵,其包括有:箱體,具有連通吸入口(0和吐出口(7)的內筒部;螺旋轉子(15),係於支撐該箱體之軸部(15b)上設置螺旋狀齒形部(15a),該齒形部(15a)在相互齒合狀態下收容在上述內筒部(1a)內,定時齒輪(16、19),係分別安裝在該2個螺旋轉子(15)之軸部(15b)上且相互齒合;及閉鎖機構(17)係用以將該定時齒輪(16、19)固定在軸部(15b)上,而其軸部(15b)和齒形部(15a),係以含有20%~30%之鎳的球狀石墨鑄鐵一體鑄造而成。在吸、收腐蝕性氣體之乾式真空泵中,藉塗上樹脂薄膜之剝離,解決所謂真空降低之問題。另,將齒形部(15a)長度定為L時,令齒形部(15a)之中央部向吐出側設成1/(20L)之錐形面,同時,在從齒形部(15a)中央向吸入側約10mm之位置朝吐出側之齒形部(15a),將直徑設置成3/100~4/100mm小徑之研銷面。藉此可防止齒形部(15a)的燒結。另,將供給箱體內N2氣體,連接吐出口(7)和洗氣器(11)之吐出管路,當除去消音器之直管。如此,從吐出口(7)送出之氣體的熱容量提高,使吐出管路(20)不堆積生成物。

    Abstract in simplified Chinese: 一种干式真空泵,其包括有:箱体,具有连通吸入口(0和吐出口(7)的内筒部;螺旋转子(15),系于支撑该箱体之轴部(15b)上设置螺旋状齿形部(15a),该齿形部(15a)在相互齿合状态下收容在上述内筒部(1a)内,定时齿轮(16、19),系分别安装在该2个螺旋转子(15)之轴部(15b)上且相互齿合;及闭锁机构(17)系用以将该定时齿轮(16、19)固定在轴部(15b)上,而其轴部(15b)和齿形部(15a),系以含有20%~30%之镍的球状石墨铸铁一体铸造而成。在吸、收腐蚀性气体之干式真空泵中,藉涂上树脂薄膜之剥离,解决所谓真空降低之问题。另,将齿形部(15a)长度定为L时,令齿形部(15a)之中央部向吐出侧设成1/(20L)之锥形面,同时,在从齿形部(15a)中央向吸入侧约10mm之位置朝吐出侧之齿形部(15a),将直径设置成3/100~4/100mm小径之研销面。借此可防止齿形部(15a)的烧结。另,将供给箱体内N2气体,连接吐出口(7)和洗气器(11)之吐出管路,当除去消音器之直管。如此,从吐出口(7)送出之气体的热容量提高,使吐出管路(20)不堆积生成物。

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