測試插座用微機電系統膜
    101.
    发明专利
    測試插座用微機電系統膜 审中-公开
    测试插座用微机电系统膜

    公开(公告)号:TW201704756A

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:TW104135582

    申请日:2015-10-29

    Abstract: 本發明涉及接觸性得到改善的凸塊的測試插座用微機電系統(MEMS)膜,本發明的測試插座用MEMS膜配置於半導體設備和測試裝置之間,用於執行半導體設備的電檢查,測試插座用MEMS膜包括:可撓性的裸片;以及圓弧型的多個MEMS凸塊,通過MEMS製程來形成於裸片上,與測試裝置的電極極板或半導體設備的導電球進行電連接,接觸面以從邊緣越接近中心向電極極板或導電球的方向凸出的方式實現圓弧化。根據這種結構,大大改善接觸性。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明涉及接触性得到改善的凸块的测试插座用微机电系统(MEMS)膜,本发明的测试插座用MEMS膜配置于半导体设备和测试设备之间,用于运行半导体设备的电检查,测试插座用MEMS膜包括:可挠性的裸片;以及圆弧型的多个MEMS凸块,通过MEMS制程来形成于裸片上,与测试设备的电极极板或半导体设备的导电球进行电连接,接触面以从边缘越接近中心向电极极板或导电球的方向凸出的方式实现圆弧化。根据这种结构,大大改善接触性。

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