公开(公告)号：KR1020100009392A

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：KR1020080070250

申请日：2008-07-18

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이창희 ,  정준호 ,  최대근 ,  김기돈 ,  이지혜 ,  최준혁 ,  이응숙

IPC: H01L51/42

CPC classification number: Y02E10/549 ,  Y02P70/521 ,  H01L51/42

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of an organic solar cell using a mold is provided to easily form regular patterns on an N-type organic semiconductor layer by forming an N-type organic semiconductor layer on a P-type organic semiconductor layer using a spin coating method. CONSTITUTION: A mold having nano patterns is prepared(S101). A P-type organic semiconductor layer is formed by spreading the P-type organic semiconductor layer on the nano pattern of the mold(S102). The anode electrode layer is formed on one side of the P-type organic semiconductor layer(S103). The mold is separated from the P-type organic semiconductor layer(S104). The N-type organic semiconductor layer is formed by spreading the N-type organic semiconductor layer on the other side of the P-type organic semiconductor layer(S105). The cathode electrode layer is formed on one side of N-type organic semiconductor layer(S106).

Abstract translation: 目的：提供使用模具的有机太阳能电池的制造方法，通过使用旋涂法在P型有机半导体层上形成N型有机半导体层，容易地在N型有机半导体层上形成规则图案 。 构成：制备具有纳米图案的模具（S101）。 通过在模具的纳米图案上扩展P型有机半导体层来形成P型有机半导体层（S102）。 阳极电极层形成在P型有机半导体层的一侧（S103）。 模具与P型有机半导体层分离（S104）。 通过在P型有机半导体层的另一侧上扩展N型有机半导体层来形成N型有机半导体层（S105）。 阴极电极层形成在N型有机半导体层的一侧（S106）。

公开(公告)号：KR1020090108941A

公开(公告)日：2009-10-19

申请号：KR1020080034300

申请日：2008-04-14

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 최대근 ,  정준호 ,  김기돈 ,  이응숙

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0015 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: PURPOSE: A method for producing a stamp for imprint lithography is provided to form pattern by oxidizing the surface of cylindrical body and produce the stamp of roll shape. CONSTITUTION: A method for producing a stamp for imprint lithography comprises: a step of applying aluminum layer to cylindrical body (110); a step of oxidizing aluminum layer to form micro pattern; a step etching body; and a step of isolating aluminum layer from the body.

Abstract translation: 目的：通过氧化圆柱体的表面并产生卷状的印模，提供了用于印刷光刻的印模的制造方法以形成图案。 构成：用于生产用于压印光刻的印模的方法包括：将铝层施加到圆柱体（110）上的步骤; 氧化铝层以形成微图案的步骤; 一步蚀刻体; 以及从身体隔离铝层的步骤。

公开(公告)号：KR100880005B1

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：KR1020070096634

申请日：2007-09-21

Applicant: 한국기계연구원 ,  주식회사 엘지화학

Inventor： 김기돈 ,  한창수 ,  윤여환 ,  최재훈

IPC: B01F5/00 ,  B01F5/06

Abstract: An SAR micromixer having chaotic mixing is provided to allow the separation and the mixing to be carried out repeatedly, thereby improving the mixing efficiency of two fluids. An SAR micromixer having chaotic mixing comprises an input hole, a mixture channel part and an output hole to mix different fluids, wherein the mixture channel part comprises first and second channel plates(20a, 20b) which have a center penetration hole(21) and a channel penetration hole(22) formed radially; a first partition(30a) installed to be in contact with the first channel plate and having a penetration hole at the center; and a second partition(30b) installed to be in contact with the second channel plate and having an outer penetration hole(32) at the part in contact wit the outermost side of the second plate channel penetration hole.

Abstract translation: 提供了具有混沌混合的SAR微混合器，可以重复进行分离和混合，从而提高两种流体的混合效率。 具有混沌混合的SAR微混合器包括输入孔，混合通道部分和用于混合不同流体的输出孔，其中混合通道部分包括具有中心穿透孔（21）的第一和第二通道板（20a，20b）和 径向形成的通道贯通孔（22） 安装成与第一通道板接触并在中心具有穿透孔的第一隔板（30a） 和与第二通道板接触并且在与第二板状通道贯通孔的最外侧接触的部分具有外部贯通孔（32）的第二隔板（30b）。

公开(公告)号：KR1020080103325A

公开(公告)日：2008-11-27

申请号：KR1020070050474

申请日：2007-05-23

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 정준호 ,  김기돈 ,  박상후 ,  최대근 ,  이응숙

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82B3/0009 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/161 ,  G03F7/2012 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0274

Abstract: A stamp for imprint lithography and an imprint lithography method using the same are provided to remove residual layer efficiently by increasing the surface area of the residual layer and to form more minute pattern. An imprint lithographic method comprises a step for preparing a stamp(200) formed with the concavo-convex region(215) at the upper side of the parent pattern(218); a step for forming a polymer layer on a substrate; a step for forming pattern by pressurizing the polymer layer with the stamp; a step for cuing the polymer layer; and a step for etching the residual layer formed between the patterns after separating the stamp from the polymer layer.

Abstract translation: 提供用于压印光刻的印模和使用其的压印光刻方法，以通过增加残留层的表面积并形成更多的微小图案来有效地去除残留层。 压印光刻方法包括用于制备在母图案（218）的上侧形成有凹凸区域（215）的印模（200）的步骤; 在基板上形成聚合物层的步骤; 通过用印模加压聚合物层形成图案的步骤; 聚合物层的一个步骤; 以及在将印模从聚合物层分离之后蚀刻形成在图案之间的残留层的步骤。

公开(公告)号：KR100797095B1

公开(公告)日：2008-01-22

申请号：KR1020060088538

申请日：2006-09-13

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 최대근 ,  정준호 ,  이응숙 ,  김기돈 ,  최준혁 ,  이구환

IPC: G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/13392 ,  G02F2001/13398

Abstract: An LCD(Liquid Crystal Display) having an inkjet spacer and a method for manufacturing the inkjet spacer are provided to prevent increase of a width of the spacer caused by blur of ink and easily implement a desired height by forming the inkjet spacer after forming partitions, so that reliable image display can be possible. First and second substrates(20,40) are disposed so as to face each other. An LC(Liquid Crystal) layer(10) is interposed between the two substrates. An inkjet spacer(50) is fixed on one substrate of the two substrates so as to maintain a cell gap between the two substrates. The inkjet spacer comprises a domed convex unit and a concave unit. The concave unit is recessed towards a center of a width direction from an end part of the convex unit as an inflection point. Partitions are formed on one substrate of the two substrates. The inkjet spacer is formed in an inner spacer of the partition. After that, the partitions are removed.

Abstract translation: 提供具有喷墨间隔物的LCD（液晶显示器）和用于制造喷墨间隔物的方法，以防止由油墨模糊引起的间隔物的宽度增加，并且通过在形成分隔件之后形成喷墨间隔物容易地实现所需的高度， 使得可靠的图像显示是可能的。 第一和第二基板（20,40）被设置成彼此面对。 在两个基板之间插入LC（液晶）层（10）。 喷墨间隔件（50）固定在两个基板的一个基板上，以便保持两个基板之间的单元间隙。 喷墨间隔件包括圆顶凸起单元和凹形单元。 凹形单元作为拐点从凸形单元的端部朝向宽度方向的中心凹入。 在两个基板的一个基板上形成分隔。 喷墨间隔物形成在隔板的内隔板中。 之后，拆除分区。

公开(公告)号：KR100772639B1

公开(公告)日：2007-11-02

申请号：KR1020050098080

申请日：2005-10-18

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 정준호 ,  심영석 ,  김기돈 ,  최대근 ,  이응숙

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 미세 임프린트 리소그래피 공정 기술에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 UV 미세임프린트 리소그래피 공정기술이나, 가열방식의 미세임프린트 리소그래피 공정기술에 사용되는 스탬프와 이 스탬프의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 스탬프 제조방법은, 기판 위에 다이아몬드상 카본(DLC, diamond-like carbon) 박막을 증착하는 단계와, 상기 다이아몬드상 카본 박막 위에 레지스트를 도포하는 단계와, 상기 레지스트를 패터닝하는 단계와, 상기 패터닝된 레지스트를 보호막으로 하여 상기 다이아몬드상 카본 박막을 에칭하는 단계, 및 상기 레지스트를 제거하는 단계를 포함한다.
미세임프린트 리소그래피, 다이아몬드상 카본필름, 친수성, 소수성

公开(公告)号：KR1020060073764A

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：KR1020040112158

申请日：2004-12-24

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 정준호 ,  심영석 ,  김기돈 ,  손현기 ,  이응숙 ,  황경현

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 5인치 이상의 대면적을 갖는 기판에 대하여 미세 임프린트 리소그래피 공정을 수행하는데 있어서, 임프린트된 기판으로부터 스탬프를 또는 스탬프로부터 임트린트된 기판을 원활히 이격시킬 수 있는 미세 임프린트 리소그래피 공정을 제공하는 것이다.
이를 위하여 본 발명은 미세 구조물을 임프린트할 기판과, 미세 구조물 패턴이 형성된 스탬프 그리고 상기 기판 또는 스탬프를 지지하는 스테이지를 준비하는 단계;와 상기 기판의 상부에 레지스트를 도포하고 레지스트에 상기 스탬프의 미세 구조물 패턴을 임프린트하는 단계; 그리고 상기 임프린트된 기판과 상기 스탬프를 공기압이나 진공을 이용하여 이격시키는 단계; 를 포함하는 미세 임프린트 리소그래피 공정에서 스탬프와 기판을 이격하는 방법을 제공한다.
미세 임프린트 리소그래피, 기판, 스탬프, 이격공정, 공기노즐, 단차