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公开(公告)号：WO2016129962A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：PCT/KR2016/001456
申请日：2016-02-12
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01J1/42
CPC classification number: G01J1/42
Abstract: 본 발명의 한 실시예에 따른 자외선 검출기는 자외선이 입사되는 광 필터부, 광 필터부를 통과한 자외선을 가시광으로 변환시키는 파장 변환부, 가시광의 광량을 측정하는 광전 변환부를 포함하고, 광 필터부는 복수의 나노홀을 가지는 금속층으로 이루어진다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施方案的紫外线检测器包括：紫外线入射的滤光单元; 用于将已经通过所述滤光器单元的紫外线转换为可见光的波长转换单元; 以及用于测量可见光量的光电转换单元，其中所述滤光单元包括具有多个纳米孔的金属层。
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公开(公告)号：WO2017179956A3
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：PCT/KR2017/004084
申请日：2017-04-14
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 핵산필름의 제조방법은, 증류수 또는 탈이온수에 핵산을 파우더 형태로 투입하여 혼합액을 형성하는 혼합단계와, 혼합단계를 거친 상기 혼합액을 교반하는 교반단계와, 완성되는 핵산필름의 형태에 대응하는 성형몰드에 혼합액을 도포하는 혼합액도포단계 및 성형몰드에 도포된 혼합액이 핵산필름으로 변화되도록 성형몰드에 도포된 혼합액을 건조시키는 건조단계를 포함하며, 상기 성형몰드에는 두께 방향을 향해 함몰되는 홈부;가 형성되고, 상기 건조단계를 거친 상기 핵산필름에는, 상기 홈부에 대응하여 상기 핵산필름의 일측 표면으로부터 인체의 피부를 향하도록 돌출되는 돌출부;가 형성된다.
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公开(公告)号：WO2011027939A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：PCT/KR2009/006621
申请日：2009-11-11
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L33/44 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L2933/0083
Abstract: 본 발명의 일 구현예에 따른 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법은, 기판에 감광성 금속-유기물 전구체 용액을 코팅하는 단계와, 요철구조를 가지도록 패턴된 몰드로 상기 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가압하는 단계와, 상기 가압된 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층에 자외선을 조사하여 경화된 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 패턴된 몰드를 상기 금속 산화박막 패턴으로부터 제거하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施方案，使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法包括以下步骤：将光敏金属 - 有机前体溶液涂布在基材上; 通过使用已经被图案化以具有凹凸结构的模具来压缩感光的金属 - 有机前体涂覆层; 通过将紫外光照射到压缩的感光金属有机前体涂层上形成固化的金属氧化物薄膜图案; 以及从所述金属氧化物薄膜图案移除所述图案化的模具。
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公开(公告)号：WO2021187888A1
公开(公告)日：2021-09-23
申请号：PCT/KR2021/003298
申请日：2021-03-17
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 도전체는, 투명 기판; 및 상기 투명 기판 상에 형성된 투명 도전 패턴을 포함하고, 상기 투명 기판 및 상기 투명 도전 패턴 중 적어도 하나의 상면에 나노 구조를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2017179956A2
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：PCT/KR2017/004084
申请日：2017-04-14
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 핵산필름의 제조방법은, 증류수 또는 탈이온수에 핵산을 파우더 형태로 투입하여 혼합액을 형성하는 혼합단계와, 혼합단계를 거친 상기 혼합액을 교반하는 교반단계와, 완성되는 핵산필름의 형태에 대응하는 성형몰드에 혼합액을 도포하는 혼합액도포단계 및 성형몰드에 도포된 혼합액이 핵산필름으로 변화되도록 성형몰드에 도포된 혼합액을 건조시키는 건조단계를 포함하며, 상기 성형몰드에는 두께 방향을 향해 함몰되는 홈부;가 형성되고, 상기 건조단계를 거친 상기 핵산필름에는, 상기 홈부에 대응하여 상기 핵산필름의 일측 표면으로부터 인체의 피부를 향하도록 돌출되는 돌출부;가 형성된다.
Abstract translation:
根据本发明，所述核酸在蒸馏水中或供给到粉末形式去离子水的混合步骤的一个实施方案中核酸膜的方法，以形成混合物，将混合物进行混合步骤 搅拌搅动步骤和施加到混合溶液涂布步骤，干燥步骤和用于将所述混合物施加到对应于成品核酸膜混合物的形状被干燥施加到成形模的混合物中的成形模的成形模，使得在核酸膜中的变化 并且对应于槽部从核酸膜的一个表面朝向人体的皮肤突出的突出部， 正在形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2010021528A2
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：PCT/KR2009/004702
申请日：2009-08-24
CPC classification number: B81C1/00095 , B33Y80/00 , B81B2207/056 , B81B2207/07 , B82Y30/00 , Y10T428/24479 , Y10T428/24851
Abstract: 본 발명은 계층화 구조물의 형상, 그 형상에 따른 계층화 구조물의 공학적 효과, 그 공학적 효과의 증대 방법, 신규 소재 또는 부품에 대한 계층화 구조물의 응용 방법, 계층화 구조물의 대량 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 계층화 구조물 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 내부의 기지에 나노 스케일 영역의 특성 길이를 가지는 적어도 하나 이상의 나노 오브젝트가 일정한 패턴에 의해 배열된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물을 포함한다. 본 발명에 따르면, 나노 스케일 영역에서 발생하는 우수한 특성을 거시적인 스케일 영역의 구조물에서도 활용할 수 있으며, 스케일이 서로 다른 구조물들을 상이한 스케일에 무관하게 간편히 연계할 수 있다.
Abstract translation:
本发明中的分层结构的形状，根据该形状，并且增加了工程效果的方法，该层状结构的一个新的材料或组件的应用方法中，层状结构的层状结构的工程效果大批量生产 ＆lt; 本发明包括在层状结构的层状结构，并因为它涉及到用于制备，其特征在于至少一个或多个纳米物体的过程被具有纳米尺度范围的特征长度的内基座的预定图案布置。 根据本发明，可以在宏观尺度区域的结构中利用纳米尺度区域中出现的优异特性，并且不管尺度不同，具有不同尺度的结构可以容易地连接。
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公开(公告)号：WO2017179955A1
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：PCT/KR2017/004082
申请日：2017-04-14
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 나노임프린트 방식을 이용한 3차원 구조체의 제조방법은, 요철부가 가공된 스탬프를 준비하는 스탬프준비단계와, 요철부를 포함한 스탬프에 이형층을 형성하는 이형층형성단계와, 이형층형성단계를 거친 요철부에 기능층을 형성하기 위해 하나 이상의 재료를 수십 나노미터 내지 수백 나노미터의 크기로 형성하는 재료형성단계와, 기판 상에 요철부에 형성된 재료를 적층하는 재료적층단계 및 재료에 압력, 열과 압력, 빛과 압력 중 어느 하나를 가하여 재료를 하단의 재료에 접합시키는 기능층고정단계를 포함하고, 상술한 단계를 순차적으로 반복 실시하여 내부에 다수의 기공이 형성되는 3차원 구조체를 제조할 수 있다.
Abstract translation: 被
使用根据本发明的一个实施方式的纳米压印方法制造三维结构的方法，密封件的准备阶段，和在印模的剥离层，包括加工凹凸制备冲压凹凸部的部分 和脱模层形成的材料形成成形形成工序数百剥离层的大小的步骤粗糙几十的至少一种材料形成的凹凸部纳米至纳米功能层，在基板上的凹凸的步骤 内部材料层叠工序和在层叠材料的材料上的压力，包括热和压力下，在光，并加入到该实施例中的任一个的压力的材料的底部的材料粘合的功能层设置步骤重复顺序地形成在上述步骤 可以制造其中形成多个孔的三维结构。
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公开(公告)号：WO2012086986A2
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：PCT/KR2011/009804
申请日：2011-12-19
CPC classification number: B32B3/30 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/165
Abstract: 미세 패턴을 가지는 세라믹 템플릿의 제조 방법이 개시된다. 세라믹 템플릿의 제조 방법은 돌출부를 포함하는 유연 몰드를 제조하는 단계와, 기판 상에 금속-유기물 전구체 용액을 도포하여 코팅층을 형성하고, 유연 몰드로 코팅층을 가압한 상태에서 코팅층을 경화시킨 후 유연 몰드를 제거하여 제1 오목부를 포함하는 금속산화물 패턴을 형성하는 단계와, 적어도 2개의 반복 단위로 이루어진 블록 공중합체를 포함하는 블록 공중합체 코팅층을 제1 오목부에 채우는 단계와, 블록 공중합체 코팅층을 소결하여 반복 단위들을 미세 상 분리시킴으로써 복수의 고분자 블록으로 이루어진 자기 조립 구조를 형성하는 단계와, 복수의 고분자 블록 중 일부의 고분자 블록을 제거하여 제2 오목부를 포함하는 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种具有微图案的陶瓷模板的制造方法。 制造陶瓷模板的方法包括以下步骤：制造包括突起的柔性模具; 在基材上涂布金属有机前体以形成涂层，在涂层被柔性模具压制的状态下固化涂层，以及去除柔性模具以形成具有第一凹部的金属氧化物图案; 将由至少两个重复单元构成的聚合物块形成的聚合物嵌段涂层填充到所述第一凹部中; 烧结聚合物嵌段涂层以将重复的单元相互分离，从而形成由多个聚合物嵌段构成的自组装结构; 并且去除所述多个聚合物嵌段的一部分以形成具有第二凹部的微图案。
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公开(公告)号：WO2011087176A1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：PCT/KR2010/000472
申请日：2010-01-26
IPC: H01L21/027 , H01L33/22
CPC classification number: H01L33/42 , H01L2924/0002 , H01L2933/0016 , Y10T428/24802 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법 및 이를 이용한 LED 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 구현예에 따른 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법은 기판에 감광성 금속-유기물 전구체 용액을 코팅하는 단계; 요철구조가 패턴된 몰드를 준비하는 단계; 상기 패턴된 몰드로 상기 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가압하는 단계; 상기 가압된 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가열하거나 또는 가열함과 동시에 자외선을 조사하여 경화된 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴된 몰드를 상기 금속 산화박막 패턴으로부터 제거하는 단계;를 포함하며, 선택적으로 상기 금속 산화박막 패턴을 소성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 레지스트로 사용하기 위해 자외선 레진을 별도로 도포하는 공정이 생략될 수 있으므로 패턴 형성공정이 간소화되고, 단일 임프린트 공정으로 마이크로/나노 복합패턴을 형성할 수 있는 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법이 제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法和使用其的LED元件的制造方法。 根据本发明的一个实施方案，使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法包括以下步骤：将感光金属 - 有机前体溶液涂布在基材上; 制备其上形成凹凸结构的模具; 通过图案化的模具对感光金属 - 有机前体涂层进行加压; 通过加热加压的感光金属 - 有机前体涂层或者一旦进行加热就照射紫外线，形成硬化的金属氧化物薄膜图案; 并且从所述金属氧化物薄膜图案去除所述图案化的模具，其中进一步包括选择性烧结所述金属氧化物薄膜图案的步骤。 因此，本发明提供了使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法，其中省略了为了使用树脂作为抗蚀剂而分开施加紫外线树脂的工艺，从而简化了图案形成工艺并形成微/纳米 复杂的图案通过单一的印记过程。
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公开(公告)号：KR1020210010078A
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：KR1020190087492
申请日：2019-07-19
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 이형막의선택적형성을통한임프린트방법에서, 몰드패턴이형성된패턴영역, 및상기패턴영역외의비패턴영역으로구분된임프린트몰드상에, 이형막을상기패턴영역또는상기비패턴영역에만선택적으로형성한다. 상기패턴영역상에레진을충진한다. 타깃기판을상기임프린트몰드에점착하여, 상기충진된레진을상기타깃기판으로전사한다.
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