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    High spatial resolution achromatic spectroscopic ellipsometer
    111.
    发明专利
    High spatial resolution achromatic spectroscopic ellipsometer 审中-公开

    公开(公告)号：JP2005530152A

    公开(公告)日：2005-10-06

    申请号：JP2004513747

    申请日：2003-06-16

    Applicant: オリバ ジョビン イボン エス. アー. エス.

    Inventor： パスカル アマリー ,  ドゥニ カテラン ,  ラムダン ベンフェラ ,  フランシス ボス

    IPC: G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27 ,  G01N21/33 ,  G01N21/35

    CPC classification number: G01J4/00 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/214

    Abstract: 【課題】偏光解析器において色収差をなくし、試料表面への光ビームの入射角をスポット位置を変えずに大きく変える。
    【解決手段】
    紫外線ＵＶから赤外線ＩＲまでの波長にわたって試料１の微小領域を分析する色消し分光偏光解析器であって、光源２から出た光ビーム３は偏光状態発生器４を通ってから第１の放物面鏡５により試料へある入射角θで投射されて焦点を結ぶ。 第２の放物面鏡６は反射ビーム１６を集め、分析部７へ送る。 分析部７からの反射光１６はこの光を検出し分光分析する手段８に進む。 本発明では、偏光状態発生器４を通って第１の放物面鏡５までの光ビーム３と第２の放物面鏡６から分析部７を通る光ビーム１６は平行光線であって、色収差をなくすことができる。 偏光状態発生部４と分析部７とを放物面鏡５，６に対して垂直に動かすか、もしくは両方の放物面鏡５，６と試料１とを分析部７と偏光状態発生部４に対して垂直に動かすことにより入射角θは試料表面の小さいスポットの位置を動かすことなく大きく変えられる。

    Low noise spectroscopic ellipsometer
    113.
    发明专利
    Low noise spectroscopic ellipsometer 审中-公开

    公开(公告)号：JP2003536064A

    公开(公告)日：2003-12-02

    申请号：JP2002502401

    申请日：2001-06-08

    Applicant: フランス テレコム

    Inventor： フレデリック、フェリュー

    IPC: G01J4/04 ,  G01J4/00 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27 ,  G01N21/33

    CPC classification number: G01J4/00 ,  G01N21/211

    Abstract: (57)【要約】 光ビームを放射する光源（１）と、光源から放射される光ビームの経路上に配置された偏光子（２）と、偏光子から出力された光ビームを受け取る試料支持体（９）と、解析されるべき試料によって反射されたビームを通過させる偏光検光子（３）と、検光子からのビームを受け取り、かつ、モノクロメータ（５）および光検出器（４）を備えた検出組立品と、検出組立品から出力された信号を処理し、かつ、計数装置（１３）を含む信号処理手段（６）とを備えた分光エリプソメータである。 冷却手段（１２）が、周囲温度よりも低い温度に検出組立品を保持し、それによって、検出器雑音を最小限に抑制し、その結果として、常に、最小限の光子雑音状態下にある。 あらゆる発生源（ランプ、検出器、周囲環境）からの雑音を最小限に抑制することによって、楕円偏光解析測定のための最適な条件が、得られることが分る。

    Parallel detection spectroscopic ellipsometer / polarimeter
    114.
    发明专利
    Parallel detection spectroscopic ellipsometer / polarimeter 审中-公开

    公开(公告)号：JP2003508772A

    公开(公告)日：2003-03-04

    申请号：JP2001521964

    申请日：2000-07-27

    Applicant: コロラド・スクール・オブ・マインズ

    Inventor： ファータック・トマス・イー

    IPC: G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27 ,  G02B5/30

    CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J3/447 ,  G01J4/00 ,  G01N21/211

    Abstract: (57)【要約】 平行検出分光楕円偏光計／偏光計センサ１０は、可動部分を有することなくかつ処理室内でサンプル２２の薄膜表面特性の随時モニタリングのためにリアルタイムに作動する。 該センサは偏光子１６を介してサンプルの表面に向けられたコリメートビーム１４を形成するための多重スペクトル光源源１２を有する。 このようにコリメートされたビームはサンプル２２の表面に当たりかつサンプル２２の表面から反射され、それによってサンプル２２の固有の材料特性のための偏光状態が変化する。 サンプル２２から反射された光は偏光フィルタを通った別々のビーム３６，３８，５８，６２に分離され、各ビームは個別の分光強度を有する。 該４つの個別の分光強度についてのデータは、処理室内に集められ、１つ又はそれ以上の分光計に送られる。 その後全部で４つの個別の分光強度のデータは変換アルゴリズムを使用してリアルタイムに分析される。

    検体分析方法および検体分析装置
    117.
    发明专利
    検体分析方法および検体分析装置 有权
    样本分析方法和样本分析仪

    公开(公告)号：JP2015049066A

    公开(公告)日：2015-03-16

    申请号：JP2013178938

    申请日：2013-08-30

    Applicant: シスメックス株式会社 ,  Sysmex Corp

    Inventor： SAKAMOTO MITSUMASA ,  KOZASA MASATSUGU

    IPC: G01N21/21 ,  G01N15/14 ,  G01N21/49 ,  G01N33/493

    CPC classification number: G01N33/493 ,  G01J1/0429 ,  G01J4/00 ,  G01N15/1434 ,  G01N21/21 ,  G01N21/53 ,  G01N21/6486 ,  G01N33/5005

    Abstract: 【課題】検体中の上皮細胞の種類の特定に有用な情報を得ることができる検体分析方法および検体分析装置を提供する。【解決手段】試料調製部は、尿検体と試薬とを混合して測定試料を調製する。試料調製部によって調製された測定試料は、フローセル205に流される。半導体レーザ201は、フローセル205を流れる測定試料に直線偏光の光を照射する。フォトマルチプライヤ215は、測定試料中の粒子が照射されることにより生じる側方散乱光のうち、偏光フィルタ214を通過し、測定試料に照射される照射光とは異なる偏光状態の側方散乱光(偏光解消側方散乱光)を検出する。情報処理装置は、偏光解消側方散乱光信号の面積(PSSCA)の相違に基づいて、測定試料に含まれる上皮細胞を、扁平上皮細胞と、尿細管上皮細胞と、卵円形脂肪体に分類する。【選択図】図3

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够识别样品中上皮细胞类型的有用信息的样本分析方法和样本分析器。解决方案：样品制备单元将尿样和试剂混合以制备测量样品。 由样品制备单元制备的测量样品流到流动池205.半导体激光器201以流线型偏振光照射在流动池205中流动的测量样本。 光电倍增器215检测通过偏振滤光器214的偏振状态（去极化侧向散射光）的横向散射光，并且与通过照射测定样品的照射光不同的照射光， 具有线性偏振光的测量样品。 信息处理装置基于去极化侧向散射光信号区域（PSSCA）的差异，将测量样本中包含的上皮细胞分类为鳞状细胞，肾小管上皮细胞和椭圆形脂肪体。

    Self calibration procedure for polarimeter
    119.
    发明专利
    Self calibration procedure for polarimeter 有权
    自动校准程序

    公开(公告)号：JP2012018165A

    公开(公告)日：2012-01-26

    申请号：JP2011151357

    申请日：2011-07-08

    Applicant: Ofs Fitel Llc ,  オーエフエス ファイテル,エルエルシー

    Inventor： VITALY MIKHAILOV ,  WESTBROOK PAUL S

    IPC: G01J4/04

    CPC classification number: G01J4/00 ,  G01J4/04

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a self-calibration procedure for polarimeter, eliminating the need for input signals to be used as known.SOLUTION: Self-calibration data is taken by moving a polarization controller between several random and unknown states of polarization (SOPs) and recording the detector output values (D, ..., D) for each state of polarization. These values are then used to create an "approximate" calibration matrix. In one exemplary embodiment, the SOP of the incoming signal is adjusted three times (by adjusting a separate polarization controller element, for example), to create a set of four detector output values for each of the four polarization states of the incoming signal - an initial calibration matrix. The first row of this initial calibration matrix is then adjusted to fit the power measurements using a least squares fit. In the third and final step, the remaining elements of the calibration matrix are adjusted to satisfy a given constraint (for example, DOP=100% for all SOPs).

    Abstract translation: 要解决的问题：为了提供旋光仪的自校准程序，消除了对已知输入信号的需要。

    解决方案：通过在多个随机和未知极化状态（SOP）之间移动偏振控制器并记录检测器输出值（D 0 ）来进行自校准数据。 ..，D 3 ）。 然后将这些值用于创建“近似”校准矩阵。 在一个示例性实施例中，输入信号的SOP被调整三次（例如通过调整单独的偏振控制器元件），以为输入信号的四个极化状态中的每一个产生一组四个检测器输出值 - 初始校准矩阵。 然后调整该初始校准矩阵的第一行以使用最小二乘拟合拟合功率测量。 在第三和最后一步中，调整校准矩阵的剩余元素以满足给定的约束（例如，对于所有SOP，DOP = 100％）。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

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