公开(公告)号：US06539130B2

公开(公告)日：2003-03-25

申请号：US09738174

申请日：2000-12-15

Applicant: Atsuo Kondo ,  Jungo Kondo ,  Kenji Aoki

Inventor： Atsuo Kondo ,  Jungo Kondo ,  Kenji Aoki

IPC: G02F1035

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/0356 ,  G02F1/225 ,  G02F1/2255 ,  G02F2001/212 ,  G02F2201/127

Abstract: A traveling wave optical modulator includes an optical waveguide substrate made of an electro-optic and ferrodielectric single crystal in the form of an X- or Y-orientation plate_and comprising a thicker portion having a larger thickness and a thinner portion having a smaller thickness; first and second branched optical waveguide portions formed at least on the thinner portion of the optical waveguide substrate; a set of electrodes provided on at least the thinner portion of the substrate and adapted for applying voltage to the first and second optical waveguide portions to modulate a light propagating the optical waveguide portions; and a buffer layer provided to cover a part of the optical waveguide portions at the thinner portion of the substrate, the electrodes crossing on the buffer layer.

Abstract translation: 行波光调制器包括由X-或Y取向板形式的电光和电介质单晶制成的光波导基片，并且包括具有较大厚度的较厚部分和较薄部分具有较小厚度; 至少形成在所述光波导基板的较薄部分上的第一和第二分支光波导部分; 设置在所述基板的至少较薄部分上的电极组，其适于向所述第一和第二光波导部分施加电压，以调制传播所述光波导部分的光; 以及缓冲层，其被设置为覆盖在所述基板的较薄部分处的所述光波导部分的一部分，所述电极在所述缓冲层上交叉。

公开(公告)号：US6160654A

公开(公告)日：2000-12-12

申请号：US360759

申请日：1999-07-26

Applicant: Kenji Kawano

Inventor： Kenji Kawano

IPC: G02F1/015 ,  G02F1/017

CPC classification number: B82Y20/00 ,  G02F1/01708 ,  G02F2001/0159 ,  G02F2201/127

Abstract: A wideband semiconductor electro-absorption optical modulator including a semiconductor core shorter in absorption-peak wavelength than a wavelength of optical signal, and an electrode for applying an electric signal to absorb the optical signal by shifting the absorption-peak wavelength to a long wavelength region when a voltage is applied, wherein an electric signal input port and an electric signal output port are disposed so that the electrode is constructed in the form of a traveling-wave electrode, and a total thickness of non-doped layers including the semiconductor core is reduced to decrease a driving voltage. Degradation of optical modulation bandwidth and reflection characteristics of the electric signal caused by mismatching of characteristic impedance to an outer circuit are reduced by decreasing an interaction length of the electric signal and the optical signal. Further, mismatching of characteristic impedance is corrected by adjusting a doping concentration of a p-type or n-type doped layer located above or beneath the semiconductor core.

Abstract translation: 一种宽带半导体电吸收光调制器，其包括具有比光信号的波长更短的吸收峰值波长的半导体芯片，以及用于通过将吸收峰值波长移位到长波长区域来施加电信号以吸收光信号的电极 当施加电压时，其中设置电信号输入端口和电信号输出端口，使得电极构造为行波电极的形式，并且包括半导体芯的非掺杂层的总厚度为 降低驱动电压。 通过减小电信号和光信号的相互作用长度，降低由特性阻抗与外部电路失配引起的电信号的光调制带宽和反射特性的降低。 此外，通过调整位于半导体芯上方或下方的p型或n型掺杂层的掺杂浓度来校正特性阻抗的失配。

公开(公告)号：US5548668A

公开(公告)日：1996-08-20

申请号：US328222

申请日：1994-10-25

Applicant: James H. Schaffner

Inventor： James H. Schaffner

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/313 ,  G02F1/01

CPC classification number: G02F1/0356 ,  G02F1/3134 ,  G02F2201/127 ,  G02F2203/19

Abstract: Velocity-matched electrodes that are sufficiently index-matched to use in linearized directional-coupler modulators are provided by placing a low dielectric constant material layer over the travelling-wave modulator electrodes, followed by a metal layer that is electrically connected to a ground electrode. The low dielectric constant layer between the grounded metal layer and the active electrode lowers the effective RF dielectric constant, which lowers the RF index of refraction. The RF index of refraction is matched to the optical index of refraction by controlling the thickness of the low dielectric constant layer, which is deposited with standard RF sputtering techniques that allow for precise control over the layer thickness. As a result, more precise velocity matching and greater reproducibility than with prior velocity matching techniques is achieved.

Abstract translation: 通过在行波调制器电极上放置低介电常数材料层，随后是电连接到接地电极的金属层，提供足够折射率匹配的线性化定向耦合器调制器中的速度匹配电极。 接地金属层和有源电极之间的低介电常数层降低了有效RF介电常数，降低了RF折射率。 RF折射率通过控制低介电常数层的厚度来匹配光折射率，该低介电常数层通过标准的RF溅射技术沉积，允许对层厚度进行精确控制。 因此，实现了比现有的速度匹配技术更精确的速度匹配和更大的再现性。

公开(公告)号：US5530777A

公开(公告)日：1996-06-25

申请号：US372326

申请日：1995-01-13

Applicant: Akira Enokihara ,  Kentaro Setsune ,  Morikazu Sagawa ,  Mitsuo Makimoto

Inventor： Akira Enokihara ,  Kentaro Setsune ,  Morikazu Sagawa ,  Mitsuo Makimoto

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/225

CPC classification number: G02F1/0356 ,  G02F1/2255 ,  G02F2201/127

Abstract: An optical modulation device includes a substrate, and a dielectric member having first and second surfaces opposite to each other. An optical waveguide extends on the first surface of the dielectric member and exhibits an electro-optical effect. First and second parallel lines are electromagnetically coupled with each other, and are of a microstrip line structure. The first line has a first line member and a ground plane, and the second line has a second line member and the ground plane. The first line member and the second line member extend on the first surface of the dielectric member and extend at opposite sides of the optical waveguide respectively. The ground plane extends between the substrate and the second surface of the dielectric member.

Abstract translation: 光调制装置包括基板和具有彼此相对的第一和第二表面的电介质部件。 光波导在电介质构件的第一表面上延伸并呈现电光效应。 第一和第二平行线彼此电磁耦合，并且是微带线结构。 第一线具有第一线构件和接地面，第二线具有第二线构件和接地面。 第一线构件和第二线构件在电介质构件的第一表面上延伸并分别在光波导的相对侧延伸。 接地平面在基板和电介质构件的第二表面之间延伸。

公开(公告)号：US5400416A

公开(公告)日：1995-03-21

申请号：US106649

申请日：1993-08-16

Applicant: Akira Enokihara ,  Kentaro Setsune ,  Morikazu Sagawa ,  Mitsuo Makimoto

Inventor： Akira Enokihara ,  Kentaro Setsune ,  Morikazu Sagawa ,  Mitsuo Makimoto

IPC: G02B6/12 ,  G02F1/03 ,  G02F1/035 ,  G02F1/225 ,  G02B6/10

CPC classification number: G02F1/0356 ,  G02F1/2255 ,  G02F2201/127

Abstract: An optical modulation device includes a substrate. An optical waveguide is formed on the substrate. The optical waveguide exhibits an electro-optical effect. Parallel lines electromagnetically coupled with each other are formed on the substrate. The parallel lines extend at opposite sides of the optical waveguide respectively. The parallel lines are of a microstrip line structure. The parallel lines may alternatively be of a strip line structure or a coplanar line structure.

Abstract translation: 光调制装置包括基板。 在基板上形成光波导。 光波导具有电光效应。 在基板上形成电磁耦合的平行线。 平行线分别在光波导的相对侧延伸。 平行线是微带线结构。 平行线可以替代地是带状线结构或共面线结构。

公开(公告)号：WO2017120272A1

公开(公告)日：2017-07-13

申请号：PCT/US2017/012232

申请日：2017-01-04

Applicant: INFINERA CORPORATION

Inventor： EVANS, Peter W. ,  OSENBACH, John W. ,  KISH, Fred A. ,  ZHANG, Jiaming ,  OLMEDO, Miguel Iglesias ,  ANAGNOSTI, Maria

IPC: G02F1/225 ,  G02B6/42 ,  H04B10/40

CPC classification number: H01L25/18 ,  G02B6/00 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/4274 ,  G02B2006/12121 ,  G02B2006/12123 ,  G02B2006/12135 ,  G02B2006/12147 ,  G02F1/2255 ,  G02F2001/212 ,  G02F2201/127 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/49838 ,  H01L23/5381 ,  H01L23/5386 ,  H01L24/09 ,  H01L24/49 ,  H01L31/02005 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/15323 ,  H04B10/40 ,  H04B10/506 ,  H01L2224/45099

Abstract: Methods, systems, and apparatus, including a photonic integrated circuit package, including a photonic integrated circuit chip, including multiple electrodes configured to receive the electrical signal, where at least one characteristics of a segment of the traveling wave active optical element is changed based on the electrical signal received by a corresponding electrode of the multiple electrodes; a ground electrode; and multiple bond contacts; and an interposer bonded to at least a portion of the photonic integrated circuit chip, the interposer including a conductive trace formed on a surface of the interposer, the conductive trace electrically coupled to a source of the electrical signal; a ground trace; and multiple conductive vias electrically coupled to the conductive trace, where each conductive via of the multiple conductive vias is bonded with a respective bond contact of the multiple bond contacts of the photonic integrated circuit chip.

Abstract translation: 包括光子集成电路封装的方法，系统和设备包括光子集成电路芯片，所述光子集成电路芯片包括被配置为接收电信号的多个电极，其中行程 基于由多个电极中的相应电极接收的电信号来改变波前有源光学元件; 接地电极; 和多个键合接点; 以及内插器，结合到所述光子集成电路芯片的至少一部分，所述内插器包括形成在所述内插器的表面上的导电迹线，所述导电迹线电耦合到所述电信号的源极; 地面迹线; 以及电耦合到所述导电迹线的多个导电过孔，其中所述多个导电过孔中的每个导电过孔与所述光子集成电路芯片的所述多个键合触点中的相应键合触点键合。

公开(公告)号：WO2015151536A1

公开(公告)日：2015-10-08

申请号：PCT/JP2015/050212

申请日：2015-01-07

Applicant: 住友大阪セメント株式会社

Inventor： 宮崎　徳一

IPC: G02F1/03

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/011 ,  G02F1/0316 ,  G02F1/0356 ,  G02F1/225 ,  G02F1/2255 ,  G02F2001/212 ,  G02F2201/12 ,  G02F2201/127

Abstract: 　異なる光導波路素子に対して共通の接続基板を使用すると共に、信号電極の曲部における電気信号の伝搬特性の劣化を抑制した光導波路素子モジュールを提供する。　光導波路素子の制御電極は、信号電極ＳＬと該信号電極を挟むように配置された接地電極ＧＤとから構成され、接続基板は、信号線路ＳＬ１（ＳＬ２）と該信号線路を挟むように配置された接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）とが設けられ、該信号電極と該信号線路との間、及び該接地電極と該接地線路との間は、各々、配線（ＷＲ１，ＷＲ２，ＷＲ２０～２２)を用いて接続されており、該制御電極は、該制御電極の入力端部又は出力端部における該接地電極ＧＤの間隔Ｗ１が、該接続基板の該光導波路素子側の該接地線路ＧＤ１（ＧＤ２）の間隔Ｗ２よりも大きく、該入力端部又は該出力端部から離れた部分に、該接地電極ＧＤの間隔が該間隔Ｗ２よりも小さい間隔Ｗ３となる部分を有し、さらに、該制御電極の該信号電極ＳＬは、前記入力端部又は出力端部から該制御電極が該光導波路に電界を印加する作用部までの間に、曲部を有し、該信号電極の曲部における該信号電極を挟む該接地電極の局所的な電位差の発生を抑制するための抑制手段（ＷＲ２０～ＷＲ３２）を設けたことを特徴とする。

Abstract translation: 本发明提供了一种光波导元件模块，其使用用于不同光波导元件的公共连接基板，并且抑制信号电极的弯曲部分中的电信号的传播特性的劣化。 本发明的特征在于：用于光波导元件的控制电极包括布置在所述信号电极两侧的信号电极（SL）和接地电极（GD）; 上述连接基板设置有布置在所述信号线两侧的信号线（SL1（SL2））和接地线（GD1（GD2））。 信号电极连接到信号线，接地电极通过布线（WR1，WR2，WR20-22）连接到接地线; 控制电极的输入端或输出端的接地电极（GD）之间的距离（W1）大于接地线（GD1（GD2））之间的光波导元件侧距离（W2） 在连接基板上; 存在距离上述输入端或输出端一定距离的部分，其中接地电极（GD）之间的距离（W3）小于接地线（GD1（...）的光波导元件侧距离（W2） GD2））; 控制电极中的信号电极（SL）具有在上述输入端或输出端之间的弯曲部分和控制电极向光波导施加电场的作用部分; 并且提供用于抑制信号电极的弯曲部分的任一侧的接地电极之间的局部电位差的抑制装置（WR20-WR32）。

公开(公告)号：WO2015075260A1

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：PCT/EP2014/075528

申请日：2014-11-25

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Inventor： VELTHAUS, Karl-Otto ,  RAUSCH, Marko

IPC: G02F1/225

CPC classification number: G02F1/2255 ,  G02F1/2257 ,  G02F2001/212 ,  G02F2201/127

Abstract: The invention relates to an electro-optical modulator, comprising at least one optical waveguide (112, 122); an electrode arrangement (1) for applying a voltage across the optical waveguide (112, 122), wherein the electrode arrangement (1) comprises a first and a second electrical line (11, 12) and at least two terminating resistors (21, 22) terminating the first and the second electrical line (11, 12); and wherein the electrode arrangement (1) comprises at least one capacitive structure (31) that capacitively couples, but galvanically separates the two terminating resistors (21, 22). According to the invention, the capacitive structure (31) comprises at least two electrically conductive layers (313, 314, 316) physically arranged at a position between the first and the second electrical line (11, 12), wherein the at least two layers (313, 314, 316) are separated by at least one dielectric layer (315, 317).

Abstract translation: 本发明涉及一种电光调制器，包括至少一个光波导（112,122）; 用于在所述光波导（112,122）之间施加电压的电极装置（1），其中所述电极装置（1）包括第一和第二电线（11,12）和至少两个终端电阻器（21,22） ）终止所述第一和第二电线（11,12）; 并且其中所述电极装置（1）包括电容耦合但电流分离所述两个终端电阻器（21,22）的至少一个电容结构（31）。 根据本发明，电容结构（31）包括物理地布置在第一和第二电线（11,12）之间的位置处的至少两个导电层（313,314,316），其中至少两个层 （313,314,316）被至少一个电介质层（315,317）隔开。

公开(公告)号：WO2011039478A1

公开(公告)日：2011-04-07

申请号：PCT/FR2010/052056

申请日：2010-09-29

Applicant: UNIVERSITE PARIS SUD 11 ,  RASIGADE, Gilles ,  VIVIEN, Laurent ,  MARRIS-MORINI, Delphine

Inventor： RASIGADE, Gilles ,  VIVIEN, Laurent ,  MARRIS-MORINI, Delphine

IPC: G02F1/025 ,  G02F1/035

CPC classification number: G02F1/0356 ,  G02F1/025 ,  G02F2201/127

Abstract: L'invention concerne un composant, dispositif et système de modulation électro-optique amélioré pour augmenter la compacité, favoriser l'adaptation des ondes optiques et électriques, et un procédé de fabrication. Selon l'invention, un tel composant présente une architecture de guide d'onde (690) agencée pour que la longueur (L611) du trajet suivi par le flux lumineux présente, avec la longueur (L609) du trajet parcouru par le signal électrique de commande, une différence déterminée pour diminuer ou compenser la différence des vitesses (V609, V611) de propagation du flux lumineux et du signal électrique. En particulier, la zone de modulation comprend un trajet du flux lumineux s 'enroulant sur lui-même et traversant successivement au moins deux indentations émanant d'au moins deux de ces éléments de commande. Il présente ainsi une longueur supérieure à celle parcourue par le signal électrique, par exemple entre une première (R1a) et une deuxième (R2a) région d'interaction entre ce signal de commande et ce flux lumineux.

Abstract translation: 本发明涉及用于增加紧凑性的组件，装置和改进的电光调制系统，有利于光和电波的适应以及制造方法。 根据本发明，这样的部件表现出波导结构（690），其设计为使得光通量之后的路径的长度（L611）表现为通过电控制信号穿过的路径的长度（L609）为 用于减小或补偿光通量和电信号的传播速度差（V609，V611）的差分。 特别地，调制区域包括围绕其自身绕射的光束的路径，并且连续地穿过从这些控制元件中的至少两个发出的至少两个凹陷。 因此，其显示的长度大于由电信号穿过的长度，例如在该控制信号和该光通量之间的第一（RIa）和第二（R2a）相互作用区域之间。

公开(公告)号：WO2010135225A2

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：PCT/US2010/035075

申请日：2010-05-17

Applicant: ALCATEL-LUCENT USA INC. ,  GILL, Douglas, M.

Inventor： GILL, Douglas, M.

IPC: G02B6/12 ,  G02F1/035

CPC classification number: B29D11/00663 ,  G02F1/025 ,  G02F1/2257 ,  G02F2201/066 ,  G02F2201/12 ,  G02F2201/127 ,  G02F2201/16 ,  G02F2202/105 ,  Y10T29/49002

Abstract: An apparatus (100) that comprises a planar electro-optic modulator (110) being located on a substrate (105) and including a waveguide (115) and electrical contacts (120), The waveguide that includes first and second substantially straight segments (122, 124) and a curved segment (126) that serially end-connects the first and second substantially straight segments such that light (130) travels in a substantially anti-paralIel manner in the first and second substantially straight segments. The electrical contacts being located adjacent the first and second substantially straight segments and being connected to produce constructively adding phase modulations on an optical carrier passing through the segments.

Abstract translation: 包括平面电光调制器（110）的装置（100），该平面电光调制器（110）位于衬底（105）上并且包括波导（115）和电触点（120）。该波导包括第一和第二基本上直的部分 ，124）和弯曲段（126），其将第一和第二基本上直的段串联连接，使得光（130）以基本上平行的方式在第一和第二基本上直的段中行进。 电触点位于第一和第二基本上直的部分附近，并被连接以在穿过该部分的光学载体上产生建设性的相位调制。