波导型光元件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106716235A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201680002932.7

    申请日:2016-03-24

    Abstract: 在本发明的波导型光元件中,有效地防止由于经由偏压电极对基板施加强电场而产生的漂移现象的加速。波导型光元件具备:基板(100),具有电光效应;两个光波导(104、106),配置在所述基板表面;非导电层(120),配置在所述基板上,由介电常数比该基板低的材料构成;及控制电极(150),配置在所述非导电层上,用于对所述两个光波导分别施加电场而在该两个光波导之间产生折射率差,所述非导电层由含有氧化硅、铟的氧化物和钛的氧化物且钛氧化物摩尔浓度与铟氧化物摩尔浓度之比为1.2以上的材料构成,对所述控制电极施加在所述基板产生1V/μm以上的电场的电压。

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