Abstract:
산화인듐ㆍ산화주석 타겟을 사용하여 아르곤 및 산소를 포함하는 혼합가스의 분위기하에서 투명 절연기판에 스퍼터링을 행하는 투명 도전막 부착 기판의 제조방법에 있어서, 혼합가스의 아르곤에 대한 산소 비율이 적정역의 0.016∼0.018의 범위에서는 투명 도전막의 캐리어 밀도는 최대치를 취하는 동시에, 이동도는 아르곤에 대한 산소 비율이 증가함에 따라 점증한다. 투명 도전막의 표면저항은 캐리어 밀도와 이동도의 승산의 역수, 즉 1/(캐리어 밀도 ×이동도)이고, 산소 비율이 적정역일 때에 표면저항은 최저치를 취한다. 이 때, 막의 결정화를 촉진하여 열처리전의 막의 표면저항에 대한 이 열처리후의 표면저항의 저항변화율을 ±10% 이내로 억제할 수 있다.
Abstract in simplified Chinese:一种触摸式键盘,包括:复数个键帽、复数个触键部、复数个导电分布、一第一电路板以及一第二电路板。每个键帽上方包含一个触键部其具有一耦合电容。触键部与导电分布及第一电路板呈电性连接状态。第一电路板经由导电分布侦测触键部之耦合电容以供产生第一按键信号。第二电路板侦测键帽之击键,以供产生第二按键信号。
Abstract in simplified Chinese:关于触摸板虽宜提高输入精度,惟利用现有的透明电极膜,难以提高输入精度。本发明系由铟(In)、锌(Zn)、钛(Ti)和氧(0)为构成元素特定组成的氧化物膜制成之透明导电膜,或由铟(In)、锌(Zn)、钛(Ti)、镓(Ga)和氧(0)为构成元素特定组成的氧化物膜制成之透明导电膜,在透明基材上制膜,即可得提高输入精度之触摸板。
Abstract in simplified Chinese:本发明提供一种透明导电体层经图案化且外观良好之透明导电性薄膜及其制造方法。该透明导电性薄膜之特征在于,于透明之薄膜基材之单面或两面经由至少一层底涂层而具有透明导电体层,上述透明导电体层经图案化,且于不具有上述透明导电体层之非图案部上具有上述至少一层底涂层。
Abstract in simplified Chinese:本发明提供一种透明导电体层经图案化且外观良好之透明导电性薄膜及其制造方法。该透明导电性薄膜之特征在于,于透明之薄膜基材之单面或两面经由至少一层底涂层而具有透明导电体层,上述透明导电体层经图案化,且于不具有上述透明导电体层之非图案部上具有上述至少一层底涂层。
Abstract in simplified Chinese:本发明提供一种模内成型触摸模块,包含一胶膜及一模制壳体,胶膜具一内表面及一外表面,内、外表面的至少一相对位置限定有一触摸区,且胶膜内表面之触摸区内设一触摸电路,该模制壳体以模内射出方式,结合于胶模内表面,并包覆触摸电路成一体。本发明也提供一种模内成型触摸模块之生产方法,包含在胶模内表面之触摸区内披覆该氧化铟锡,并加工形成该触摸电路,再将胶模置入一射出成型机之模穴内,且注入模制材料于模穴内,以形成一模制壳体,结合胶模内表面,并包覆触摸电路成一体,据以改善模块之触摸灵敏度,并可简化制程。
Abstract in simplified Chinese:本发明提供一种透明导电体层经图案化且外观良好之透明导电性薄膜及其制造方法。该透明导电性薄膜之特征在于,于透明之薄膜基材之单面或两面经由至少一层底涂层而具有透明导电体层,上述透明导电体层经图案化,且于不具有上述透明导电体层之非图案部上具有上述至少一层底涂层。
Abstract in simplified Chinese:一种制造具有透明导电薄膜之基板之方法,其中在包含氩及氧之混合气体之空气下使用铟氧化物/锡氧化物,运行溅击在导电基板上,当混合气体中氧对氩之比例在0.016至0.018之适当范围内时,透明导电薄膜之载子密度成为一较大值,同时随着氧对氩之比例增加,迁移率渐渐地上升。当氧对氩之比例在上述适当之范围内时,为载子密度和迁移率之乘积的倒数,1/(载子密度×迁移率),之透明导电薄膜之表面电阻会有一最小值。在该情况下,引发薄膜之结晶化且在热处理之前之薄膜之表面电阻和热处理之后之薄膜之表面电阻间的比例变化可以保持在±10%内。