薄膜電晶體及其製造方法
    8.
    发明专利
    薄膜電晶體及其製造方法 审中-公开
    薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:TW201027753A

    公开(公告)日:2010-07-16

    申请号:TW098135771

    申请日:2009-10-22

    IPC: H01L

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/66742

    Abstract: 本發明提供一種薄膜電晶體,其係具有閘電極、閘極絕緣膜、鄰接於閘極絕緣膜的氧化物半導體膜,以及連接至氧化物半導體膜,且由通道部隔開的源‧汲電極之薄膜電晶體,特徵在於,氧化物半導體膜由含有氫元素的結晶質氧化銦形成,氧化物半導體膜中所含有之氫元素的含量,相對於形成氧化物半導體膜的全部元素為0.1at%-5at%。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种薄膜晶体管,其系具有闸电极、闸极绝缘膜、邻接于闸极绝缘膜的氧化物半导体膜,以及连接至氧化物半导体膜,且由信道部隔开的源‧汲电极之薄膜晶体管,特征在于,氧化物半导体膜由含有氢元素的结晶质氧化铟形成,氧化物半导体膜中所含有之氢元素的含量,相对于形成氧化物半导体膜的全部元素为0.1at%-5at%。

    透明導電疊層體及使用其之觸摸板
    10.
    发明专利
    透明導電疊層體及使用其之觸摸板 失效
    透明导电叠层体及使用其之触摸板

    公开(公告)号:TW302556B

    公开(公告)日:1997-04-11

    申请号:TW085108502

    申请日:1996-07-13

    IPC: H01L G06F

    CPC classification number: G06F3/045 H01H13/785 H01H2201/028 H01H2219/011

    Abstract: 關於觸摸板雖宜提高輸入精度,惟利用現有的透明電極膜,難以提高輸入精度。本發明係由銦(In)、鋅(Zn)、鈦(Ti)和氧(0)為構成元素特定組成的氧化物膜製成之透明導電膜,或由銦(In)、鋅(Zn)、鈦(Ti)、鎵(Ga)和氧(0)為構成元素特定組成的氧化物膜製成之透明導電膜,在透明基材上製膜,即可得提高輸入精度之觸摸板。

    Abstract in simplified Chinese: 关于触摸板虽宜提高输入精度,惟利用现有的透明电极膜,难以提高输入精度。本发明系由铟(In)、锌(Zn)、钛(Ti)和氧(0)为构成元素特定组成的氧化物膜制成之透明导电膜,或由铟(In)、锌(Zn)、钛(Ti)、镓(Ga)和氧(0)为构成元素特定组成的氧化物膜制成之透明导电膜,在透明基材上制膜,即可得提高输入精度之触摸板。

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