서멀 맵을 생성하기 위한 방법 및 근접장 서멀 현미경용 서멀 프로브
    125.
    发明公开
    서멀 맵을 생성하기 위한 방법 및 근접장 서멀 현미경용 서멀 프로브 审中-公开
    用于生成近场热显微镜的热图和热探针的方法

    公开(公告)号:KR20180030684A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:KR20187004880

    申请日:2016-07-15

    CPC classification number: G01Q60/58 G01K17/00 G01K2213/00 G01N25/18 G01Q70/06

    Abstract: 샘플인터페이스(1)의서멀맵(M)를생성하기위한방법및 서멀프로브. 적어도하나이상의프로브팁(11, 12)을갖는스캐닝서멀현미경(100)이제공된다. 프로브팁들(11, 12)은상기샘플인터페이스(1)에대해근접장거리(D1)에서스캐닝된다. 열플럭스(heat flux) 데이터(H)는상기샘플인터페이스(1)에대한프로브팁(11)의상대적인위치(X, Y)의함수로기록된다. 상기서멀맵(M)은상기샘플인터페이스(1)에서의상기프로브팁(11)의공간적으로분해된열 플럭스프로파일(P)에기반하여기록된열 플럭스데이터(H)로부터계산된다. 상기열 플럭스프로파일(P)은상기프로브팁(11)의정점(11a)에대한상기샘플인터페이스(1)를가로지르는측면거리(R)에서의국부최대를갖는다.

    Abstract translation: 一种用于生成样本界面(1)的热图(M)的方法和热探针。 现在提供具有至少一个探针尖端(11,12)的扫描热显微镜(100)。 探针尖端11和12在相对于样本前接口1的近距离D1处被扫描。 热通量数据H被记录为探针尖端11相对于样本界面1的位置(X,Y)的函数。 根据在上采样接口1中针对探针尖端11的空间分辨热通量分布P写入的热通量数据H来计算热图M。 热通量分布P在横跨样品接口1到错误探针尖端11的真实点11a的横向距离R处具有局部最大值。

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