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公开(公告)号：KR100470933B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020020002306
申请日：2002-01-15
IPC: G01B9/02
Abstract: 본 발명은 물체의 표면 형상 측정에 이용되는 위상천이 점회절 간섭계에 관한 것으로, 특히 레이저 발생장치(11)에서 출사된 단색광의 광량을 조절하는 ND (Neutral Density) 필터(13)와; 상기 ND 필터(13)에 의해 광량이 조절된 단색광을 분기시켜 측정파면을 형성하기 위한 측정 광섬유(measurement fiber)(18)와 기준파면을 형성하기 위한 기준 광섬유(reference fiber)(19)의 일측 단부로 각각 입사시키는 광분할기(14)와; 상기 기준 광섬유(19)가 소정횟수 권선되어 있으며 수축 및 팽창에 따라 상기 기준 광섬유(19)를 인장시켜 광경로의 변화를 통해 위상천이를 실현하는 튜브형 압전소자(20)를 구비하되; 상기 측정물(22)에 대향되는 측정 광섬유(18)의 단부는 경사지게 형성되어 있으며, 상기 광섬유(18)의 경사단면은 광섬유(18)에서 생성된 구면파를 투과시키고 측정물(22)에 의해 반사된 반사파를 상측에 위치한 CCD 카메라(23)로 반사시키기 위하여 광분할 코팅되어 있으며, 상기 측정 광섬유(18)의 경사단면에서 반사되는 반사파와 기준 광섬유(19)의 기준파가 중첩되어 간섭무늬를 형성하도록 상기 기준 광섬유(19)의 단부가 측정 광섬유(18)의 경사단면에 인접하게 장착되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020040108144A
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：KR1020030038893
申请日：2003-06-16
IPC: G02B7/28
Abstract: PURPOSE: An auto focus control unit of a microscope is provided to perform an automatic focus control function within a short period of time by converting directly displacement of slit beams to distance information of a probe by using resultants obtained from a single image recognition unit. CONSTITUTION: An objective lens(11), an optical division tube(12), a zoom lens having a zoom motor, an image forming lens(14), and a light receiving element array(15) are arranged on the same optical axis. A light source(16) is installed at one side of the optical division tube. A slit beam generator(17) is installed on a focal length of the objective lens. A driving sensor(3) is used for sensing a driving motor(18) and a moving distance. An image/control unit(2) includes an image receiver(21) for receiving and processing digital signals of the light receiving element array, a drive controller(22) for controlling a driving state of a probe, a zoom drive controller(23) for controlling a zoom motor, a slit beam controller(24) for controlling intensity of the slit beam generator, and a coaxial illumination controller(25) for controlling intensity of coaxial illumination.
Abstract translation: 目的：提供显微镜的自动聚焦控制单元，通过使用从单个图像识别单元获得的结果直接将狭缝光束的位移直接转换为探针的距离信息，在短时间内执行自动聚焦控制功能。 构成：物镜（11），光分配管（12），具有变焦电机的变焦透镜，成像透镜（14）和光接收元件阵列（15）被布置在相同的光轴上。 光源（16）安装在光分配管的一侧。 狭缝梁发生器（17）安装在物镜的焦距上。 驱动传感器（3）用于感测驱动电机（18）和移动距离。 图像/控制单元（2）包括用于接收和处理光接收元件阵列的数字信号的图像接收器（21），用于控制探头的驱动状态的驱动控制器（22），变焦驱动控制器（23） 用于控制变焦电动机，用于控制狭缝光束发生器的强度的狭缝光束控制器（24）和用于控制同轴照明强度的同轴照明控制器（25）。
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公开(公告)号：KR100434866B1
公开(公告)日：2004-06-07
申请号：KR1020010074610
申请日：2001-11-28
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01B9/02
Abstract: PURPOSE: A phase-transition actuator for a Fizeau interferometer is provided to precisely measure aberration of a lens and a flat plate by finely moving a reference surface of the Fizeau interferometer in an optical axis direction. CONSTITUTION: A phase-transition actuator includes first and second leaf springs(1,1A). A cylindrical fixing member(2) having an inner flange(21) and an outer flange(31) is provided at one side of a driving member(3). The first and second leaf springs(1,1A) are screw-coupled to both ends of the cylindrical fixing member(2) and the driving member(3). First and second fixing rings(5,6) are provided at both sides of the cylindrical fixing member(2). The first and second fixing rings(5,6) are screw-coupled into the driving member(3) so that inner portions of the first and second leaf springs(1,1A) are securely fixed. Third and fourth fixing rings(7,8) are provided at an outer portion of the fixing member(2). The third and fourth fixing rings(7,8) are screw-coupled into the driving member(3) so that outer portions of the first and second leaf springs(1,1A) are securely fixed.
Abstract translation: 目的：提供斐索干涉仪的相变致动器，通过使斐索干涉仪的参考表面在光轴方向上微动来精确测量透镜和平板的像差。 构成：相变致动器包括第一和第二片簧（1,1A）。 具有内凸缘（21）和外凸缘（31）的圆柱形固定构件（2）设置在驱动构件（3）的一侧。 第一和第二片簧（1,1A）螺纹连接到圆柱形固定件（2）和驱动件（3）的两端。 第一和第二固定环（5,6）设置在圆柱形固定件（2）的两侧。 第一和第二固定环（5,6）螺纹连接到驱动构件（3）中，使得第一和第二片簧（1,1A）的内部被牢固地固定。 第三和第四固定环（7,8）设置在固定构件（2）的外部。 第三和第四固定环（7,8）螺纹连接到驱动件（3）中，使得第一和第二片簧（1,1A）的外部牢固地固定。
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公开(公告)号：KR1020030043435A
公开(公告)日：2003-06-02
申请号：KR1020010074610
申请日：2001-11-28
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02015 , G01B9/0201 , G01B9/02068 , G01B9/02074
Abstract: PURPOSE: A phase-transition actuator for a Fizeau interferometer is provided to precisely measure aberration of a lens and a flat plate by finely moving a reference surface of the Fizeau interferometer in an optical axis direction. CONSTITUTION: A phase-transition actuator includes first and second leaf springs(1,1A). A cylindrical fixing member(2) having an inner flange(21) and an outer flange(31) is provided at one side of a driving member(3). The first and second leaf springs(1,1A) are screw-coupled to both ends of the cylindrical fixing member(2) and the driving member(3). First and second fixing rings(5,6) are provided at both sides of the cylindrical fixing member(2). The first and second fixing rings(5,6) are screw-coupled into the driving member(3) so that inner portions of the first and second leaf springs(1,1A) are securely fixed. Third and fourth fixing rings(7,8) are provided at an outer portion of the fixing member(2). The third and fourth fixing rings(7,8) are screw-coupled into the driving member(3) so that outer portions of the first and second leaf springs(1,1A) are securely fixed.
Abstract translation: 目的：提供用于Fizeau干涉仪的相变致动器，用于通过在光轴方向上精细地移动Fizeau干涉仪的参考表面来精确地测量透镜和平板的像差。 构成：相变致动器包括第一和第二板簧（1,1A）。 在驱动构件（3）的一侧设置有具有内凸缘（21）和外凸缘（31）的圆柱形固定构件（2）。 第一和第二板簧（1,1A）螺旋联接到圆柱形固定构件（2）和驱动构件（3）的两端。 第一和第二固定环（5,6）设置在圆柱形固定构件（2）的两侧。 第一和第二固定环（5,6）被螺纹联接到驱动构件（3）中，使得第一和第二板簧（1,1A）的内部牢固地固定。 第三和第四固定环（7,8）设置在固定构件（2）的外部。 第三和第四固定环（7,8）螺纹联接到驱动构件（3）中，使得第一和第二板簧（1,1A）的外部部分牢固地固定。
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公开(公告)号：KR1020010100724A
公开(公告)日：2001-11-14
申请号：KR1020000024233
申请日：2000-05-06
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/01
CPC classification number: G01N21/01 , G01N2201/0612 , G01N2201/0636
Abstract: 본 발명은 프로젝션 텔레비전의 핵심부품인 마이크로 멀티미러 어레이(Micro multi-mirror array)를 평가하는 기기에 관한 것으로, 특히 마이크로 멀티미러 어레이의 각 미러소자가 정확히 작동하는지를 검사하기 위해 여러 각도에서 레이저를 입사시킨 후, 각 미러소자가 반사하는 빛을 CCD 카메라로 획득하여 그 결과를 분석함으로써, 각 미러소자가 정상적으로 작동하는지 여부를 판단하고, 결과로서 멀티미러의 사용여부를 결정하는 멀티미러 어레이 계측장치에 관한 것이다. 마이크로 멀티미러 어레이는 프로젝션 텔레비전에 있어서, 광량의 손실이 많은 투과형의 단점을 개선하기 위해 반사형의 형태로 개발된 것으로 밝고 선명한 화질을 기대할 수 있다. 영상정보를 포함하는 빛을 멀티미러에 입사시키고 각 멀티미러의 소자로부터 반사되는 빛을 이용하여 영상을 만들면, 빛의 손실이 거의 없기 때문에 밝고 선명한 화질을 기대할 수 있다. 이때 각 멀티미러의 소자는 하나의 화소에 대응되고 각 화소의 밝기는 각 멀티미러 소자의 반사각도 혹은, 일정시간당 반사횟수를 제어하여 결정되는데, 만약 하나의 미러소자라도 제어가 불가능하면 그에 대응하는 화소는 정확한 영상을 구현할 수 없어 사용할 수 없게 된다. 따라서 각 미러소자가 정확히 작동하는지 여부를 확인하는 작업은 필수적이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100284080B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019980043687
申请日：1998-10-19
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정과 3차원 형상/표면조도측정기능이 일체적으로 구비된 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 측정유니트(30)의 구성요소인 광학계는 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 제 1광학계(50)와 3차원 형상/표면조도측정을 위한 Z축방향의 미세변위를 위한 PZT액츄에이터(52a)를 포함하는 제 2광학계(52b)가 회동가능한 터렛(48)상에 일체로 구성되고, 측정/제어유니트(10)에는 상기 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정/3차원 치수측정의 방식의 선택과 그 선택된 측정방식에 대응하는 측정결과연산을 행하는 물체측정연산부(120)와, 상기 측정방식의 과정을 설정하기 위한 화면데이터와 측정결과가 저장되는 데이터메모리(122), 상기 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 프로그램이 저장된 2차원 치수측정프로그램저장부(124) 및, 상기 측정대상물체(P)에 대한 3차원 형상/표면조도의 측정을 위한 측정프로그램등록부(126)가 통합적으로 구성되어, 상기 측정대상물체(P)에 대해 2차원 치수측정 또는 3차원 형상/표면조도측정이 선택적으로 또는 호환적으로 실행될 수 있도록 된 것이다.
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公开(公告)号：KR101557484B1
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：KR1020140083082
申请日：2014-07-03
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본발명에따른발광다이오드패키지검사장치는스테이지와, 비전프로브와, 이송기구와, 마커, 및제어부를포함한다. 스테이지는발광다이오드모듈들이어레이형태로연결된발광다이오드패키지를상면에안착시켜지지한다. 비전프로브는스테이지의상측에배치된다. 이송기구는비전프로브를스테이지에대해 X축, Y축, 및 Z축방향으로상대적으로이송시킨다. 마커는비전프로브에장착되어이송기구에의해비전프로브와함께스테이지에대해상대적으로이송된다. 제어부는이송기구에의해비전프로브를스테이지상의발광다이오드모듈들에대해상대적으로이송시켜촬영하도록하며, 촬영된영상들을토대로발광다이오드모듈들의불량여부를판단한후 이송기구에의해상기마커를불량인발광다이오드모듈로이송시켜불량마킹하도록한다.
Abstract translation: 根据本发明的用于检查发光二极管封装的装置包括台，视觉探针，输送机构，标记和控制单元。 舞台负载并支持发光二极管封装，其中发光二极管模块在其上表面上以阵列形状连接。 视觉探头设置在舞台上方。 传送机构在X轴，Y轴和Z轴方向上相对于舞台传送视觉探针。 标记物安装在视觉探头上，通过传送机构使用视觉探头相对于舞台传送。 控制单元通过传送机构相对于舞台上的发光二极管模块传输视觉探针，以允许视觉探头拍摄发光二极管模块，基于拍摄的图像确定发光二极管模块是否有缺陷，然后 通过传送机构将标记传送到有缺陷的发光二极管模块，以将有缺陷的发光二极管模块标记为有缺陷的。
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公开(公告)号：KR101496993B1
公开(公告)日：2015-03-02
申请号：KR1020130105023
申请日：2013-09-02
Applicant: (주) 인텍플러스
CPC classification number: G01N21/95 , G01B11/30 , G01N21/892 , G02F1/1309 , G06T7/0004
Abstract: 본 발명에서는 디스플레이 패널의 비전 검사에서 검출된 결함에 대해서 글래스층 표면의 부유성 이물질 또는 글래스층 표면의 흠집인지 여부와 함께 층간에 혼입된 이물질인지 여부를 분류할 수 있도록 하는 디스플레이 패널 검사방법이 개시된다. 본 발명은 동축 조명으로 디스플레이 패널의 동축 이미지를 촬영하고, 상기 동축 조명으로부터 5°내지 15°기울어진 준동축 조명으로 디스플레이 패널의 준동축 이미지를 촬영하는 이미지 획득단계와, 상기 동축 이미지에 촬영된 결함과 준동축 이미지에 촬영된 결함(defect)의 강도(intensity) 차이를 비교하는 비교단계와, 상기 동축 이미지와 준동축 이미지 모두에서 고강도(high intensity)로 검출된 결함에 대해서는 글래스층과 편광필름 사이에 혼입된 이물질로 분류하는 분류단계를 포함한다.
Abstract translation: 在本发明中公开了一种显示面板的检查方法，其可以根据该缺陷是玻璃层的表面上的漂浮异物或划痕来分类在显示面板的视觉检查中检测到的缺陷，以及 该缺陷是否是嵌入层之间的异物。 检查方法包括：图像获取步骤，使用同轴照明拍摄显示面板的同轴图像，并且使用从同轴照明5度倾斜的半同轴照明来拍摄显示面板的半同轴图像 ; 比较步骤，将在同轴图像中拍摄的缺陷的强度与在半同轴图像中拍摄的缺陷的强度进行比较; 以及分类步骤，当在同轴图像和半同轴图像中检测到高强度缺陷时，将缺陷分类为嵌入玻璃层和偏振膜之间的异物。
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129.发明授权패키지를 다양한 각도에서 조명하고 영상으로 획득하며, 색정보를 이용하여 패키지의 결함을 판단하는 반도체 패키지검사장치 有权通过从各种角度照明封装来检测封装缺陷的半导体封装的配件，以获得图像和使用颜色信息
公开(公告)号：KR101429723B1
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：KR1020080124144
申请日：2008-12-08
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2656 , G01N21/95684
Abstract: 인쇄회로기판의 일면에 솔더 볼이 어태치될 수 있도록 볼 랜드가 구비되고, 리플로우 공정시 솔더 볼이 볼 랜드에 융착됨으로써, 입출력 단자의 기능을 수행하는 멀티 스택 패키지에 있어서, 열 팽창 계수의 차이로 인하여 휨(warpage)이 발생하고, 휨은 솔더 볼과 볼 랜드의 접합 불량(Non-wet)을 야기한다. 이러한 접합 불량을 비접촉식으로 검사하는 검사 장비의 개발이 요구된다. 이를 위하여, 버티컬 조명부가 측정 대상물에 대하여 동축 방향에서 수직 조명을 공급하고, 버티컬 영상부가 수직 영상을 획득함으로써, 솔더 볼의 형상이나 크기 혹은 위치 정보를 2차원적으로 판단할 수 있다. 또한, 틸팅 조명부가 측정 대상물에 대하여 이축 방향에서 측면 조명을 공급하고, 틸팅 영상부가 측면 영상을 획득함으로써, 솔더 볼과 볼 랜드의 접촉 정보를 3차원적으로 판단할 수 있다. 특히, 틸팅 영상부는 컬러 카메라의 색 정보를 이용함으로써, 검사의 정확성과 수율을 획기적으로 개선할 수 있다.
멀티 스택 패키지, 솔더 볼, 접합 불량, 조명부, 카메라
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