公开(公告)号：KR100928970B1

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：KR1020070078526

申请日：2007-08-06

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정재인 ,  양지훈 ,  박영희 ,  이경황

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/27 ,  C23C16/50

Abstract: A manufacturing method of a carbon thin film of a diamond form which is added a third element is provided to gain easiness of a control by doping a metal material into a diamond form on a hard carbon thin film. A manufacturing method of a carbon thin film of a diamond form which is added a third element comprises the following steps. A substrate holder(2) is installed inside the vacuum chamber(1). A doping material mesh(4) is connected to high frequency power. A guide tube(5) is arranged between electro magnets(6). A micro wave generator(7) is connected to a guide tube. Inside of a vacuum forms a vacuum. A surface of substrate is purified by generating ECR(Electron Cyclotron Resonance) plasma. The doping material is doped on the substrate(3) by authorizing the high frequency power(9) of 300W on the doping material mesh. And the carbon thin film of the diamond form is formed.

Abstract translation: 提供添加有第三元素的金刚石形式的碳薄膜的制造方法，以通过在硬碳薄膜上将金属材料掺杂为金刚石形式来获得控制的容易性。 一种加入第三元素的金刚石形式的碳薄膜的制造方法包括以下步骤。 衬底支架（2）安装在真空室（1）内部。 掺杂材料网（4）连接到高频功率。 导磁管（5）布置在电磁体（6）之间。 微波发生器（7）连接到导管。 真空内部形成真空。 底物表面通过产生ECR（电子回旋共振）等离子体而被纯化。 通过在掺杂材料网上授权300W的高频功率（9）将掺杂材料掺杂在衬底（3）上。 并形成菱形的碳薄膜。

公开(公告)号：KR1020090067475A

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020070135152

申请日：2007-12-21

Applicant: 주식회사 포스코 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 곽영진 ,  양지훈 ,  정재인

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/28 ,  C23C14/30

Abstract: A method for forming an aluminum-chrome ally membrane of a metal material is provided to form an alloy membrane having excellent corrosion resistance by controlling the chrome content according to electronic beam power. A method for forming an aluminum-chrome ally membrane of a metal material comprises the following steps of: melting aluminum in a ceramic crucible(3) connected with a ground cable(6) in a vacuum deposition device; adding the aluminum and chrome; forming an aluminum-chrome melting material(5) on a melted aluminum material; adjusting electronic beam power of the vacuum deposition device; and forming the aluminum-chrome ally membrane on a substrate.

Abstract translation: 提供了一种用于形成金属材料的铝铬合金膜的方法，以通过根据电子束功率控制铬含量来形成具有优异耐腐蚀性的合金膜。 用于形成金属材料的铝铬合金膜的方法包括以下步骤：在真空沉积装置中与接地电缆（6）连接的陶瓷坩埚（3）中熔化铝; 添加铝和铬; 在熔融的铝材上形成铝铬熔融材料（5）; 调整真空沉积装置的电子束功率; 并在基底上形成铝铬合金膜。

公开(公告)号：KR1020090014512A

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：KR1020070078526

申请日：2007-08-06

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정재인 ,  양지훈 ,  박영희 ,  이경황

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/27 ,  C23C16/50

Abstract: A manufacturing method of a carbon thin film of a diamond form which is added a third element is provided to gain easiness of a control by doping a metal material into a diamond form on a hard carbon thin film. A manufacturing method of a carbon thin film of a diamond form which is added a third element comprises the following steps. A substrate holder(2) is installed inside the vacuum chamber(1). A doping material mesh(4) is connected to high frequency power. A guide tube(5) is arranged between electro magnets(6). A micro wave generator(7) is connected to a guide tube. Inside of a vacuum forms a vacuum. A surface of substrate is purified by generating ECR(Electron Cyclotron Resonance) plasma. The doping material is doped on the substrate(3) by authorizing the high frequency power(9) of 300W on the doping material mesh. And the carbon thin film of the diamond form is formed.

Abstract translation: 提供加入第三元素的金刚石形式的碳薄膜的制造方法，以通过在金属碳薄膜上将金属材料掺入金刚石形式来获得控制的容易性。 加入第三元件的金刚石形式的碳薄膜的制造方法包括以下步骤。 衬底保持器（2）安装在真空室（1）的内部。 掺杂材料网（4）连接到高频功率。 引导管（5）布置在电磁体（6）之间。 微波发生器（7）连接到导管。 真空内部形成真空。 通过产生ECR（电子回旋共振）等离子体来纯化衬底的表面。 掺杂材料通过在掺杂材料网上授权300W的高频功率（9）而掺杂在衬底（3）上。 并形成金刚石形式的碳薄膜。

公开(公告)号：KR1020080022648A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：KR1020060086081

申请日：2006-09-07

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정재인 ,  박영희 ,  정창영

IPC: C23C14/35

Abstract: A method for fabricating a hard black-color thin film including titanium compound is provided to adjust nitrogen gas and carbon gas at a suitable ratio while evaporating a titanium target by using an un-balanced Magnetron sputtering evaporation source at the atmosphere of gas including nitrogen and carbon. A material is purified in an inactive gas atmosphere and heated up to a predetermined temperature. The material is vacuumed in order to perform a sputtering process by injecting an inactive gas if the material is heated. Glow discharging is induced by injecting a nitrogen gas and a carbon gas at the ratio of 1:3 or 1:6. Current is applied to an electromagnet(3) such that un-balanced sputtering is performed. Voltage is applied to a bias voltage source. A shutter(8) is opened so that a thin film including titanium compound is formed.

Abstract translation: 提供了一种用于制造包含钛化合物的硬黑色薄膜的方法，以适当的比例调节氮气和碳气，同时通过在包括氮气的气体气氛下使用不平衡的磁控溅射蒸发源蒸发钛靶， 碳。 将材料在惰性气体气氛中纯化并加热至预定温度。 如果材料被加热，则将材料抽真空以便通过注入惰性气体来进行溅射工艺。 通过以1:3或1:6的比例注入氮气和碳气来引发发光放电。 将电流施加到电磁体（3），使得执行非平衡溅射。 电压被施加到偏置电压源。 打开快门（8），从而形成包含钛化合物的薄膜。

公开(公告)号：KR100671422B1

公开(公告)日：2007-01-19

申请号：KR1020040109346

申请日：2004-12-21

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정재인 ,  정창영 ,  곽영진

IPC: C23C14/35

Abstract: 본 발명은 스퍼터링에 의한 알루미늄 피막 형성방법에 관한 것으로서,
스퍼터링에 의해 기판에 알루미늄 피막을 형성하되, 불활성 가스 분위기 하에서 스퍼터링 증발원에 부착된 알루미늄 타겟으로부터 알루미늄을 증발시켜 기판에
알루미늄층 을 형성하는 단계; 알루미늄을 스퍼터링하면서 동시에 산소 가스를 주입하여 이루어지는 반응성 스퍼터링에 의해 상기 알루미늄층 위에
산화 알루미늄층 을 형성하는 단계; 상기 단계를 반복하여 알루미늄층과 산화 알루미늄층이 번갈아 층을 이루는 다층막 형태의 피막을 형성하는 단계;를 포함하여 이뤄진다.
스퍼터링, 알루미늄 피막

公开(公告)号：KR100550289B1

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：KR1020030094865

申请日：2003-12-22

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  정재인

IPC: G01B11/30

Abstract: 본 발명은 연성 및 취성 파단면 검출용 조명장치에 관한 것으로서,
시편홀더(6)에 고정된 DWTT 시편(1)의 연성 및 취성 파단면 검출용 조명장치에 있어서, 상기 시편홀더(6)의 양 끝단부에 수직으로 설치된 지지대 상부에 설치된 A 채널 조명(2) 및 B 채널 조명(3)과; 상기 시편(1)의 상부에 설치되어 시편(1)의 파단면을 촬영하는 CCD카메라(4)와; 상기 지지대에 설치되어 상기 각 조명(2, 3)을 회전시키는 회전구동부(16)와; 상기 지지대에 설치되어 상기 각 조명(2, 3)을 상하로 직선 이동시키는 직선구동부(17)와; 상기 시편(1)과 지지대 사이에 설치된 안내면을 따라서 상하로 이동 가능하게 설치되어 시편(1)의 파단면을 검출하는 레이저센서(5)와; 상기 안내면에 설치되어 상기 레이저센서(5)를 상하로 직선 이동시키는 직선구동부(18)와; 상기 A, B 채널 조명(2, 3)의 조사각도와 상하위치 및 레이저센서(5)의 상하위치의 조정을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하며,
영상처리 방식의 자동화된 DWTT 시험평가 장치에서보다 양호한 영상결과를 얻을 수 있도록 하는 조명장치를 제공하며 조명의 각도 및 조도의 설정과정의 오차에서 발생하는 문제점을 해결하여 보다 신뢰성이 높은 시험방법이 되게 하며 특히, 다양한 각종의 시험과정에서 유발되는 시험오차를 최소화하는 장점을 지니므로 개발된 장치의 범용화가 가능한 효과를 제공한다.
DWTT 시험, 광원, 레이저센서, 조명장치

公开(公告)号：KR1020050064683A

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：KR1020030096259

申请日：2003-12-24

Applicant: 주식회사 포스코 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  정재인

IPC: G01B11/28

Abstract: 본 발명은 영상처리기법을 이용한 DWTT 시편의 연성 및 취성 정량화 방법에 관한 것으로서,
DWTT 시험의 연성 및 취성 정량화 방법에 있어서, A 채널 조명(11)에 전원을 인가하여 ON으로 하여 시편(14)의 영상을 촬영하여 영상데이터를 파일(FILE A)로 저장하는 단계와; B 채널 조명(12)에 전원을 인가하여 ON으로 하여 시편(14)의 영상을 촬영하여 영상데이터를 파일(FILE B)로 저장하는 단계와; 두 개의 영상의 차영상을 구하고 데이터 파일을 처리하여 합성 영상 데이터 파일(FILE C)을 생성하여 합성 영상 데이터 파일(FILE C)에서 연성면 및 취성면의 면적을 산출하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하며,
작업자의 주관적 판단에 의존하던 DWTT 시험의 결과를 자동화하고 이를 정량화 하는 것을 가능하게 하여, 시험과정 및 결과의 신뢰성을 향상시키고 충분한 재현성을 제공하여 하나의 효과적인 시험방법을 제공하며 이를 통한 고청정강 제품의 생산과정, 인증과정 및 판매과정에서 보다 유효한 시험분석결과를 나타내는 효과를 제공한다.

公开(公告)号：KR100489299B1

公开(公告)日：2005-05-17

申请号：KR1020020082780

申请日：2002-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정재인 ,  정우철 ,  정창영

IPC: C23C14/35

Abstract: 본 발명은 증발되는 물질인 타겟, 상기 타겟을 지지하는 타겟홀더 및 상기 타겟 표면에 자력선을 형성시키는 다수개의 영구자석을 포함하는 마그네트론 스퍼터링 증발원에 있어서, 상기 자력선을 평활한 형태로 만들면서 자력선의 세기를 크게하는 자성체 디스크, 및 타겟홀더를 냉각시키기 위해 타겟홀더의 내주면에 접촉하여 설치되는 냉각수 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원을 제공한다. 상기 자성체 디스크는 순철이 바람직하며, 상기 영구자석 사이 또는 타겟홀더 내에 삽입되는 것이 바람직하다.
본 발명은 자성체 디스크를 삽입하여 플라즈마 영역을 확대하므로써 다량으로 발생된 이온을 스퍼터링에 이용하고, 냉각방식의 변화로 냉각효율을 향상시켜 증발율을 대폭 향상시켰으며, 타겟 위의 자기력선 수평성분을 확대하여 타겟 효율을 향상시킨 것을 특징으로 하는 고속 증발용 스퍼터링 증발원을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 마그네트론 스퍼터링 증발원은 타겟에 인가되는 전력이 30W/㎠이상이고, 4×10
-5 토르 이하의 진공도에서도 스퍼터링 할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040056220A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：KR1020020082792

申请日：2002-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정재인 ,  임태균

IPC: C23C14/26

CPC classification number: C23C14/26 ,  C23C14/243

Abstract: PURPOSE: A resistance heating boat is provided which is capable of stably and continuously evaporating metal such as aluminum on the graphite by coating a specific compound on the processed boated shaped graphite after processing graphite in a boat shape, and a manufacturing method of the resistance heating boat is provided. CONSTITUTION: In a resistance heating boat for vacuum evaporating a metal evaporating material on a substrate by resistance heating method, the resistance heating boat comprises a graphite layer(31) processed in a boat shape; and a protection layer(30) formed on the surface of the graphite layer so that the graphite layer is not reacted with the metal evaporating material, wherein the protection layer comprises aluminum rich layer(32) and nitrogen compound layer(33), wherein the protection layer further comprises a boron compound layer(34) distributed in a lump crystal shape, and wherein thickness of the protection layer is 20 to 200 μm. The manufacturing method of a resistance heating boat comprises a step of processing a graphite layer(31) in a boat shape on the surface of which an evaporation part hole is formed so that a material to be evaporated is positioned in the evaporation part hole; a step of coating nitrogen compound on the surface of the graphite layer; and a step of forming a protection layer(30) on the surface of the graphite layer so that the graphite layer is not reacted with the metal evaporating material by reacting the nitrogen compound with aluminum through heat treatment after positioning aluminum in the evaporation part hole of the graphite layer.

Abstract translation: 目的：提供一种电阻加热舟，其能够通过在加工的舟状成形石墨上以船形加工石墨之后在石墨上稳定地和连续地蒸发铝等金属，并且制造电阻加热方法 提供船只。 构成：在电阻加热舟皿中，通过电阻加热方法将金属蒸镀材料真空蒸镀在基板上的电阻加热舟中，电阻加热舟包括以舟状加工的石墨层（31） 和形成在石墨层的表面上的保护层（30），使得石墨层不与金属蒸发材料反应，其中保护层包括富铝层（32）和氮化合物层（33），其中 保护层还包括以块状结晶形状分布的硼化合物层（34），其中保护层的厚度为20〜200μm。 电阻加热舟皿的制造方法包括：在其表面上形成舟状的石墨层（31）的步骤，其形成有蒸发部孔，使得蒸发的材料位于蒸发部孔中; 在石墨层的表面上涂覆氮化合物的步骤; 以及在石墨层的表面上形成保护层（30）的步骤，使得在将铝定位在蒸发部孔中之后，通过热处理使氮化合物与铝反应而使石墨层不与金属蒸发材料反应 石墨层。

公开(公告)号：KR100402097B1

公开(公告)日：2003-10-17

申请号：KR1020000049078

申请日：2000-08-24

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  정재인

IPC: H01L21/30

Abstract: PURPOSE: A pretreatment apparatus having an optical temperature control unit is provided to heat a graphite boat at a uniform temperature even if an operator of the pretreatment apparatus is replaced, by making a controller control power supply of a power supply apparatus according to the temperature of the graphite boat which is measured by an optical temperature system. CONSTITUTION: An observation window(20a) is formed in a side of a vacuum chamber(20). An electrode(21) penetrates the vacuum chamber, and the graphite boat is supported by the electrode. The power supply apparatus(22) supplies power to the electrode. A controller(23) controls the power supply apparatus. The optical temperature system(24) measures the temperature inside the vacuum chamber, installed in the outside of the observation window of the vacuum chamber. An analog-to-digital converter(ADC)(25) converts the temperature of the optical temperature system to a digital signal and transfers the digital signal to the controller.

Abstract translation: 一种具有光学温度控制单元的预处理装置，用于通过根据温度控制器控制电源装置的控制电源来控制即使更换预处理装置的操作者也以均匀的温度加热石墨舟 通过光学温度系统测量的石墨舟。 组成：观察窗（20a）形成在真空室（20）的一侧。 电极（21）穿过真空室，并且石墨舟由电极支撑。 电源装置（22）向电极供电。 控制器（23）控制电源装置。 光学温度系统（24）测量安装在真空室观察窗外部的真空室内部的温度。 模数转换器（ADC）（25）将光温度系统的温度转换为数字信号并将数字信号传送到控制器。