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公开(公告)号:JP2018072075A
公开(公告)日:2018-05-10
申请号:JP2016209664
申请日:2016-10-26
Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー
Inventor: 小川 力
IPC: G01N21/88 , G03F1/84 , G01N21/956
CPC classification number: G06T7/001 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8848 , G01N2021/8896 , G01N2021/95676 , G01N2201/0683 , G02B5/3025 , G02B5/3083 , G02B15/15 , G02B21/0092 , G02B27/0938 , G02B27/10 , G02B27/283 , G03F1/84 , G03F7/70491 , G06T5/50 , G06T2207/10148 , G06T2207/30148 , H04N5/2254 , H04N5/2258
Abstract: 【目的】露光装置で転写される場合の露光イメージ画像を作成するために利用可能な偏光イメージを取得する装置及び方法を提供する。 【構成】本発明の一態様の偏光イメージ取得装置は、マスク基板を透過した透過光を入射する対物レンズ171と、対物レンズに対してマスク基板とは反対側の位置であって対物レンズの瞳位置付近に配置され、対物レンズを通過後の透過光のP偏光波とS偏光波とを互いに直交する方向に揃える分割型1/2波長板190と、P偏光波の軌道とS偏光波の軌道とを分離するロションプリズム192と、ロションプリズムを通過したP偏光波とS偏光波とをそれぞれ異なる結像位置に結像する結像レンズ172と、P偏光波とS偏光波との一方の結像位置とは異なる他方の結像位置で他方を反射するミラー174と、P偏光波とS偏光波とのうちの一方の像を撮像するフォトダイオードアレイ105と、P偏光波とS偏光波とのうちの他方の像を撮像するフォトダイオードアレイ205と、を備えたことを特徴する。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP6299600B2
公开(公告)日:2018-03-28
申请号:JP2014541992
申请日:2013-08-30
Applicant: ソニー株式会社
CPC classification number: G01N15/1436 , G01N15/1429 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/21 , G01N21/47 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N21/645 , G01N2015/0065 , G01N2015/1006 , G01N2021/6478 , G01N2201/06113 , G01N2201/0638 , G01N2201/0683
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公开(公告)号:JP6158795B2
公开(公告)日:2017-07-05
申请号:JP2014515906
申请日:2012-06-11
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor: チュワン ユン−ホ , アームストロング ジョセフ ジェイ , リオウ ジャスティン ディエンホワン , ドリビンスキー ウラジミール , ブラウン デイヴィッド エル
IPC: G01N21/956 , H01L21/66 , H01S3/00 , G01N21/84
CPC classification number: H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , H01S3/083 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697
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公开(公告)号:JPWO2014192937A1
公开(公告)日:2017-02-23
申请号:JP2015519972
申请日:2014-05-30
Applicant: 公立大学法人大阪府立大学
CPC classification number: G01N33/54346 , C12Q1/6834 , C12Q2563/155 , C12Q2565/628 , G01N21/21 , G01N21/554 , G01N21/658 , G01N33/5308 , G01N33/553 , G01N2201/061 , G01N2201/0683
Abstract: 検出装置(100)は、試料に含まれる可能性がある被検出物質の検出装置である。検出装置(100)は、複数の金ナノ粒子と、光トラップ用光源(101)と、照明用光源(102)と、対物レンズ(103)と、撮影機器(108)と、演算部(106)とを備える。複数の金ナノ粒子の各々は、被検出物質を特異的に付着可能なプローブDNAで修飾される。光トラップ用光源(101)は、複数の金ナノ粒子を集合させるための偏光を発する。対物レンズ(103)は、偏光を集光して、集光された偏光を、試料と複数の金ナノ粒子とを含む液体に導入する。撮影機器(108)は、液体からの光を受ける。演算部(106)は、撮影機器(108)からの信号に基づいて、被検出物質を検出する。
Abstract translation: 检测装置(100)是可被包含在样本中检测目标物质的检测装置。 检测装置(100)包括多个金纳米粒子,光阱为光源(101),照明源(102),物镜(103),成像设备(108),计算单元(106) 设置有门。 所述多个金纳米粒子的被修饰物质进行具体并用附接探针DNA检测。 光捕获光源(101)发射偏振光为一组多个金纳米粒子。 物镜(103)冷凝的偏振光,会聚的偏振光,被引入到含有样品和多个金纳米粒子的液体。 成像设备(108)从所述液体接收光。 计算单元(106),基于来自所述成像装置(108),用于检测检测对象物质的信号。
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公开(公告)号:JP2017023328A
公开(公告)日:2017-02-02
申请号:JP2015144013
申请日:2015-07-21
Applicant: 富士ゼロックス株式会社
CPC classification number: A61B3/0025 , A61B3/0008 , A61B5/14507 , A61B5/14532 , A61B5/14558 , A61M5/1723 , A61B3/117 , A61B5/6821 , G01N21/21 , G01N2201/06113 , G01N2201/062 , G01N2201/0683
Abstract: 【課題】角膜による影響を考慮しない場合と比較し、眼房水に含まれる光学活性物質の濃度を精度よく測定することを目的とする。 【解決手段】光学活性物質の濃度算出システム1は、異なる波長λ 1 、λ 2 、λ 3 、…の光のそれぞれについて、入射側角膜14A、前眼房13の眼房水及び出射側角膜14Bを通過したことによる偏光状態の変化量R 1 、R 2 、R 3 、…を取得し、入射側角膜14A及び出射側角膜14Bの偏光特性を表す行列と眼房水の偏光特性を表す行列とを含む偏光状態の変化量の波長依存性を表す理論式R(λ)に基づく最小二乗法によって、眼房水に含まれる特定の光学活性物質の濃度Cを算出する濃度算出部40を備え、眼房水の偏光特性を表す行列は、特定の光学活性物質の旋光度の波長依存性を表す数式の関数で表され、この数式は特定の光学活性物質の濃度値を未知数又は仮の既知数として含んでいる。 【選択図】図2
Abstract translation: 与不考虑角膜的影响的情况下,其目的的比较是准确地测量包含在水状的光学活性物质的浓度。 浓度计算系统中的光学活性物质,不同波长.lambda.1,λ2,λ3的1,对于每个...光,通过水状液并在入射侧角膜14A的出口侧角膜14B,前房13传递 由R1,R2,R3中的偏振状态的变化量,获得...,在偏振状态的变化,并表示所述基质和房水来表示的入射侧的偏振特性的偏振特性的矩阵角膜14A和出口侧角膜14B 通过基于表示量的波长依存性的理论式R(拉姆达)最小二乘方法包括计算包含在房水的特定的光学活性物质的浓度C,房水的偏振特性的浓度计算器40 表示矩阵被表达为代表的特定的光学活性物质的旋光性的波长依赖性的函数关系式,该式包括的特定光学活性物质为已知的数未知量,或临时的密度值。 .The
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公开(公告)号:JP2016522416A
公开(公告)日:2016-07-28
申请号:JP2016520242
申请日:2013-11-28
Applicant: 中国科学院瀋陽自動化研究所
IPC: G01N21/63
CPC classification number: G01N21/63 , G01B11/14 , G01N21/21 , G01N21/718 , G01N21/8507 , G01N33/206 , G01N2021/695 , G01N2201/06113 , G01N2201/0636 , G01N2201/0683 , G01N2201/088
Abstract: 遠距離冶金液体金属成分のための現場オンライン検出装置及び検出方法。検出装置は、フロントエンド耐高温プローブ(18)、ミドルエンド光検知装置(19)、及びバックエンド制御プラットフォーム(24)を含み、フロントエンド耐高温プローブ(18)のヘッドは液体金属(22)に入れられ、フロントエンド耐高温プローブ(18)のテイルはミドルエンド光検知装置(19)に同軸で接続され、光学窓(15)は接続位置に配置され;かつ、ミドルエンド光検知装置(19)は、バックエンド制御プラットフォーム(24)に信号線(25)によって接続される、検出装置及び検出方法は、品質制御及び溶融終了のために適時かつ有効なメッセージを提供することができ、その結果、検出時間が大幅に短縮され、検出距離が広範囲にわたって調節されることができ、測定結果が正確であり、C、S、Pなどの測定が困難な成分の測定が達成されることができる。
Abstract translation: 场线检测装置和用于长距离冶金液态金属成分的检测方法。 检测装置中,上述前端高温探头(18),中端光学感测装置(19),并且包括一后端控制平台(24),前端高温探头(18),用于将液态金属的头部(22) 它放置在前端高温探头的尾部(18)同轴地连接到中间端光学感测装置(19),被设置在所述连接位置的光学窗口(15);和中间端光检测装置(19) 被连接到通过信号线(25),后端控制平台(24),检测装置和检测方法可以用于质量控制和熔化终止提供及时和有效的信息,结果, 检测时间大大缩短,检测距离可以在宽的范围内调整,测量结果是正确的,C,S,可以测量是困难的成分测量诸如P得以实现。
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127.光学活性物質の濃度算出システム、光学活性物質の濃度算出システムの製造方法及びプログラム 有权
Title translation: 光学活性物质的浓度计算的系统,所述光学活性物质的制造方法和程序的浓度计算系统公开(公告)号:JP5783342B1
公开(公告)日:2015-09-24
申请号:JP2015046453
申请日:2015-03-09
Applicant: 富士ゼロックス株式会社
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01N21/21 , G01N33/492 , G01N2201/0683
Abstract: 【課題】光学活性物質の旋光度を利用して光学活性物質の濃度を算出する場合において、被測定物に含まれるすべての光学活性物質の種類を知らなくとも、求めたい光学活性物質の濃度が算出できる光学活性物質の濃度算出システム等を提供する。 【解決手段】データ処理部30は、複数の波長λ 1 、λ 2 、λ 3 、…のそれぞれに対応する旋光度α M1 、α M2 、α M3 、…を取得し、第1の光学活性物質の旋光分散を表す第1の非線形関数と第2の光学活性物質の旋光分散の特性を規定する固有値として未知数を含む第2の非線形関数との和で表される数式と、取得した旋光度と波長との組み合わせ(λ 1 :α M1 、λ 2 :α M2 、λ 3 :α M3 、…)と、に基づく非線形最小二乗法によって、第1の光学活性物質の濃度Cを算出する。 【選択図】図12
Abstract translation: 公开的是通过利用光学活性物质的旋光性计算的光学活性物质的浓度,在不知道包含在对象中的所有光学活性物质的类型的情况下进行测量时,要确定的光学活性物质的浓度 计算能够提供一种光学活性物质的浓度计算系统。 数据处理单元30中,多个波长的.lambda.1,λ2,λ3,...各自相应的旋光性的αM1,αM2,αM3,获取...,A表示第一光学活性物质的旋光色散 通过含有未知本征值的第二非线性函数的总和定义的非线性函数和所述第二光学活性物质的特征的旋光色散的1表示方程的组合,并且所得到的旋光性和波长(.lambda.1 基于αM3,和...)通过非线性最小二乘法上,用于计算第一光学活性物质的浓度C::αM1,λ2:αM2,λ3。 .The 12
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公开(公告)号:JP2014519614A
公开(公告)日:2014-08-14
申请号:JP2014515906
申请日:2012-06-11
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor: ユン−ホ チュワン , ジョセフ ジェイ アームストロング , ジャスティン ディエンホワン リオウ , ウラジミール ドリビンスキー , デイヴィッド エル ブラウン
IPC: G01N21/84 , G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: H01S3/0057 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697 , G02B5/0816 , G02B5/3083 , G02B27/281 , G02B27/283 , G02B27/286 , H01S3/083
Abstract: パルスマルチプライヤは、偏光ビームスプリッター、波長板および鏡の組を含む。 偏光ビームスプリッターは、入力レーザパルスを受け取る。 波長板は、偏光ビームスプリッターからの光を受け取り、第1のパルスの組および第2のパルスの組を生成する。 第1のパルスの組は、第2のパルスの組と異なる偏光を有する。 偏光ビームスプリッター、波長板および鏡の組により、リングキャビティーが生成される。 偏光ビームスプリッターは、第1のパルスの組をパルスマルチプライヤの出力として透過させ、第2のパルスの組をリングキャビティー内に反射させる。 このパルスマルチプライヤは、出力損失を最小に抑えつつ毎秒あたりのパルス数を増加させつつ、パルスあたりのピーク出力を低コストに低減させることができる。
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公开(公告)号:WO2016141229A1
公开(公告)日:2016-09-09
申请号:PCT/US2016/020762
申请日:2016-03-03
Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventor: LIANG, Ardis , PLIHAL, Martin , BABULNATH, Raghav , VENKATARAMAN, Sankar
IPC: G01R23/165 , G01R31/26 , G01R31/28 , G01N21/88 , G01N21/95
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N23/20008 , G01N2021/8809 , G01N2201/061 , G01N2201/0683
Abstract: Methods and systems for generating inspection results for a specimen with an adaptive nuisance filter are provided. One method includes selecting a portion of events detected during inspection of a specimen having values for at least one feature of the events that are closer to at least one value of at least one parameter of the nuisance filter than the values for at least one feature of another portion of the events. The method also includes acquiring output of an output acquisition subsystem for the sample of events, classifying the events in the sample based on the acquired output, and determining if one or more parameters of the nuisance filter should be modified based on results of the classifying. The nuisance filter or the modified nuisance filter can then be applied to results of the inspection of the specimen to generate final inspection results for the specimen.
Abstract translation: 提供了一种用于产生具有自适应扰动滤波器的样本检测结果的方法和系统。 一种方法包括选择在样本检查期间检测到的事件的一部分,该样本具有关于事件的至少一个特征的值,该值至少与有害滤波器的至少一个参数的值相比, 另一部分事件。 该方法还包括获取用于事件采样的输出采集子系统的输出,基于所获取的输出对样本中的事件进行分类,以及基于分类结果确定是否应修改妨扰滤波器的一个或多个参数。 然后可以将妨扰过滤器或修改后的滋扰过滤器应用于样品的检查结果,以产生样品的最终检验结果。
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公开(公告)号:WO2016130594A1
公开(公告)日:2016-08-18
申请号:PCT/US2016/017215
申请日:2016-02-09
Applicant: WASHINGTON UNIVERSITY
Inventor: OZDEMIR, Sahin, Kaya , YANG, Lan
IPC: G01N15/14
CPC classification number: G01N33/54373 , G01N15/1429 , G01N15/1434 , G01N15/1463 , G01N21/21 , G01N21/45 , G01N21/7746 , G01N2015/0038 , G01N2015/1454 , G01N2021/458 , G01N2201/06113 , G01N2201/0683 , G01N2201/08
Abstract: A micro-resonator and fiber taper based sensing system, which uses mode splitting or frequency shift methods and polarization measurements for particle sensing.
Abstract translation: 基于微谐振器和基于光纤锥度的感测系统,其使用模式分割或频移方法和用于粒子感测的偏振测量。
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