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公开(公告)号：KR100727485B1
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020050072937
申请日：2005-08-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 화학적 기계적 연마 장치에 사용되는 연마 패드를 제공한다. 연마 패드의 상면 및 내부에 공정 진행시 연마액이 저장되는 포어들이 형성된다. 연마 패드는 중앙에 위치되며 상면 및 내부에 포어들이 제공된 내측 패드와 이를 감싸도록 배치되며 상면 및 내부에 포어들이 제공된 복수의 외측 패드들을 포함한다. 내측 패드 및/또는 외측 패드들 중 인접하는 패드들에 형성된 포어들의 밀도는 서로 상이하게 제공된다. 내측 패드는 원형의 형상으로 제공되고, 외측 패드들 각각은 환형의 형상으로 제공될 수 있다.
연마 패드, 포어, 밀도, 화학적 기계적 연마-
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公开(公告)号：KR1020060117706A
公开(公告)日：2006-11-17
申请号：KR1020050040198
申请日：2005-05-13
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: F04B35/045 , F04B2201/0206 , F04B2203/0401 , F04B2203/0402 , F04B2203/0404 , H02P25/032
Abstract: A control device of a linear compressor and a control method thereof are provided to adjust the cooling function by regulating trigger signals allowed to a triac according to dislocation of a motor and phase difference of electric current. A control device of a linear compressor(710) for generating the cooling force by reciprocating a piston by rotation of a motor receiving alternating current through a triac comprises a control unit(750) pulling or slowing trigger signals corresponding to a sucking step or a compressing step to the triac to move a central point of reciprocation of the piston at a resonance point when the phase difference of electric current and dislocation of the motor is out of a set range; an electric current zero-crossing detecting unit(720) sensing zero-crossing of electric current allowed to the motor; a position detecting unit(730) sensing dislocation of the motor; a resonance point judging unit(740) outputting information about the current zero-crossing and phase difference; and a load judging unit(760) outputting information about loads to judge the load according to the phase difference.
Abstract translation: 提供一种线性压缩机的控制装置及其控制方法，通过根据电动机的位错和电流的相位差调节允许到三端双向可控硅的触发信号来调节冷却功能。 一种线性压缩机（710）的控制装置，用于通过使通过三端双向可控硅开关接收交流电动机的电机的旋转使活塞往复运动而产生冷却力，该控制装置包括：控制单元（750），其拉动或减慢对应于吸入步骤或压缩 一步到三端双向可控硅开关，当电动机的电流相位差和电动机的位错超出设定范围时，在共振点移动活塞的中心点; 电流过零检测单元，用于检测电动机允许的电流的过零; 位置检测单元，用于检测电动机的位错; 谐振点判定单元，输出关于当前的过零和相位差的信息; 以及根据相位差输出关于负载的信息来判断负载的负载判断单元（760）。
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公开(公告)号：KR100640583B1
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：KR1020040064226
申请日：2004-08-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
CPC classification number: B82Y30/00 , C01F17/0043 , C01P2002/52 , C01P2002/72 , C01P2004/52 , C01P2004/64 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: CMP 후 연마 표면에서의 연마 스크래치 발생 빈도를 최소화하기 위하여 결정 결함을 가지는 산화세륨 연마 입자 및 그 제조 방법, CMP용 슬러리 조성물 및 그 제조 방법, 이들을 이용한 기판 연마 방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 연마 입자는 흔적량(trace amount)의 금속산화물 불순물이 포함되어 있는 산화세륨 입자로 이루어진다. 본 발명에 따른 산화세륨 연마 입자 제조 방법에서는 세륨 화합물과 흔적량의 금속산화물 불순물과의 혼합물을 소성(燒成)하여 상기 금속산화물 불순물을 포함하는 산화세륨 입자를 형성한다.
산화세륨, 금속산화물 불순물, 흔적량, 연마 스크래치, CMP-
公开(公告)号：KR100574984B1
公开(公告)日：2006-05-02
申请号：KR1020040064225
申请日：2004-08-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C09K3/14
CPC classification number: B24D18/00 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 열적 스트레스가 인가되어 인위적으로 결정 결함이 부여된 산화세륨 연마 입자 및 그 제조 방법과 CMP용 슬러리 조성물 및 그 제조 방법과 이들을 이용한 기판 연마 방법에 관하여 개시된다. 본 발명에서는 산화세륨 연마 입자에 결정 결함을 부여하기 위하여, 먼저 세륨 화합물을 제1 온도에서 소성(燒成)하여 산화세륨을 형성한 후, 인시튜(in-situ)로 산화세륨을 상기 제1 온도 보다 높은 온도에서 소성하여 산화세륨에 열적 스트레스를 인가한다. 산화세륨에 열적 스트레스를 인가하는 단계는 산화세륨이 형성된 후 산화세륨의 온도 하강 없이 연속적으로 행해진다.
산화세륨, 열적 스트레스, 소성, 연마 결함, 스크래치, CMP-
Patent Agency Ranking136.发明公开산화세륨 연마 입자 및 그 제조 방법과 ＣＭＰ용 슬러리조성물 및 그 제조 방법과 이들을 이용한 기판 연마 방법 失效氧化铈磨粒及其制造方法，CMP用浆料组合物及其制造方法以及使用其的基板研磨方法
公开(公告)号：KR1020060015850A
公开(公告)日：2006-02-21
申请号：KR1020040064225
申请日：2004-08-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C09K3/14
CPC classification number: B24D18/00 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 열적 스트레스가 인가되어 인위적으로 결정 결함이 부여된 산화세륨 연마 입자 및 그 제조 방법과 CMP용 슬러리 조성물 및 그 제조 방법과 이들을 이용한 기판 연마 방법에 관하여 개시된다. 본 발명에서는 산화세륨 연마 입자에 결정 결함을 부여하기 위하여, 먼저 세륨 화합물을 제1 온도에서 소성(燒成)하여 산화세륨을 형성한 후, 인시튜(in-situ)로 산화세륨을 상기 제1 온도 보다 높은 온도에서 소성하여 산화세륨에 열적 스트레스를 인가한다. 산화세륨에 열적 스트레스를 인가하는 단계는 산화세륨이 형성된 후 산화세륨의 온도 하강 없이 연속적으로 행해진다.
산화세륨, 열적 스트레스, 소성, 연마 결함, 스크래치, CMPAbstract translation: 由热应力赋予了人造晶体缺陷的氧化铈磨粒，其制造方法，CMP用浆料组合物，其制造方法以及使用其的基板研磨方法。 在本发明中，为了给它的结晶缺陷的氧化铈研磨颗粒，后首先通过烧成（烧成）铈化合物在第一温度下形成氧化铈，在第一原位氧化铈（原位） 它在高于温度的温度下被烧制，以向氧化铈施加热应力。 对氧化铈施加热应力的步骤在氧化铈形成后没有氧化铈的温度下降的情况下连续进行。
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公开(公告)号：KR100520065B1
公开(公告)日：2005-10-11
申请号：KR1020030025211
申请日：2003-04-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김남수
IPC: F04B49/12
Abstract: 본 발명은 리니어압축기 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 리니어압축기의 부하가 과부하 상태인 경우 스트로크 지령치와 스트로크 측정치의 차이와, 스트로크 측정치의 증가여부에 따라 스트로크 지령치를 유지하거나 조정하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 피스톤의 오버슈트 운동을 방지하고 안정적인 제어를 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100491792B1
公开(公告)日：2005-05-30
申请号：KR1020020061895
申请日：2002-10-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F04B17/00
Abstract: 본 발명은 피스톤의 위치를 검출하는 위치센서와 그 위치센서의 출력을 보상하는 보상부를 구비한다. 상기 보상부는 압축기 내부온도와 부하변동에 따른 센서 출력의 왜곡을 보상한다. 또 상기 보상부는 위치센서의 출력으로부터 고주파 신호와 직류 신호를 분리하고 분리된 고주파 신호와 직류 신호를 이용하여 위치 검출과 온도 검출을 병행한다.
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