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公开(公告)号：KR1019990070843A
公开(公告)日：1999-09-15
申请号：KR1019980005940
申请日：1998-02-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명의 일괄 벌크 마이크로머시닝 시스템은, 마이크로 센서 및 마이크로 액츄에이터의 패턴이 형성된 웨이퍼를 식각조내에서 가열기와 콘덴서에 의하여 가열 및 농도 제어된 식각액에 투입시킨 상태에서 웨이퍼를 이동시키지 않고, 일괄적으로 세정, 건조 및 식각 공정을 수행하여 양산과 수율을 향상시키는 것으로, 식각시 식각액의 온도 구배를 극복케 하는 롤러, 모터, 기어군, 이들의 상호 작용으로 식각된 웨이퍼를 세정하는 세정액 노즐 어레이, 웨이퍼를 건조시키는 건조 가스 건 어레이, 상기 웨이퍼를 이동시키지 않은 상태에서 상기 세정액 노즐 어레이 및 건조 가스 건 어레이로 웨이퍼를 세정 및 건조할 수 있도록 상기 식각액을 유입 및 배출시키는 드레인 라인, 식각액 순환 라인 및 필터와 순환 펌프를 포함하여 구성된다.
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