公开(公告)号：JP6363557B2

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：JP2015111802

申请日：2015-06-02

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： カンデル・ダニエル ,  レビンスキ・ブラディミル ,  スヴィツァー・アレクサンダー ,  セリグソン・ジョエル ,  ヒル・アンドリュー ,  バカー・オハド ,  マナッセン・アムノン ,  チャン・ユン−ホ・アレックス ,  セラー・イラン ,  マーコウィッツ・モシェ ,  ネグリ・ダリア ,  ロテム・エフライム

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

公开(公告)号：JP6209536B2

公开(公告)日：2017-10-04

申请号：JP2014553271

申请日：2013-01-24

Applicant: トムラ ソーティング エーエス

Inventor： ディルク・バルタザール ,  オーレ・オンスラッド

IPC: G02B26/12 ,  G01N21/84 ,  G01N21/27 ,  G01N21/17

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01N21/84 ,  G02B26/105 ,  G01N2021/845 ,  G01N2201/105

公开(公告)号：JP6030764B2

公开(公告)日：2016-11-24

申请号：JP2015524912

申请日：2013-06-30

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  大原 真美

IPC: C30B29/06 ,  G01N21/3563 ,  C03B20/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/65 ,  C30B15/10

CPC classification number: G01N21/95 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/8477 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/12

公开(公告)号：JP6027141B2

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：JP2014553647

申请日：2012-12-12

Applicant: ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド

Inventor： ノイエンドルフ クリストフ ,  ベッカー ラインハルト

IPC: G01S17/42 ,  G01C15/00 ,  G02B26/10 ,  G01S7/481

CPC classification number: G01B11/14 ,  G01C15/002 ,  G01N21/47 ,  G02B26/10 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105

公开(公告)号：JP5992143B2

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：JP2010543575

申请日：2009-01-26

Applicant: レニショウ パブリック リミテッド カンパニー ,  RENISHAW PUBLIC LIMITED COMPANY

Inventor： イアン ポール ヘイワード ,  ブライアン ジョン エドワード スミス

IPC: G01J3/44 ,  G01N21/65

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/656 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/105

公开(公告)号：JP2015108611A

公开(公告)日：2015-06-11

申请号：JP2014101007

申请日：2014-05-15

Applicant: 株式会社リコー

Inventor： 安達 一彦 ,  大場 義浩 ,  石井 稔浩 ,  星 文和 ,  中鉢 直 ,  三坂 好央

IPC: G01B5/06 ,  B65H7/14 ,  G03G15/00 ,  G03G21/00 ,  G01B11/06

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01B11/06 ,  G01G9/00 ,  G01N21/4738 ,  G01N21/59 ,  G03G15/5029 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/0691 ,  G01N2201/105 ,  G03G2215/00616 ,  G03G2215/00738 ,  G03G2215/00742

Abstract: 【課題】高コスト化及び大型化を招くことなく、対象物を従来よりも細かく判別することができるセンサ装置を提供する。 【解決手段】 光源11、コリメートレンズ12、3つの受光器(13、13t、15)、偏光フィルタ14、及びこれらが収納される暗箱16などを有している。受光器15は表面正反射光を主として受光し、受光器13は内部反射光に含まれるP偏光成分を受光し、受光器13tは記録紙の内部を通過した光を受光するように配置されている。この場合、内部反射光に含まれるP偏光成分の光量を検出することで、従来は微弱で分離することが困難であった記録紙内部からの反射光を高精度に分離することができる。また、記録紙内部を通過した光の光量も検出している。記録紙内部からの反射光及び記録紙内部を通過した光は、記録紙の内部状態に関する情報を含んでおり、紙種の判別レベルを、従来困難であった銘柄のレベルまで向上させることができる。 【選択図】図15

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种传感器装置，其能够使物体比以前更精细地识别，而不会增加成本和尺寸。解决方案：光学传感器包括光源11，准直透镜12，三个光接收器（13 ，13t和15），偏振滤光器14和具有光源，准直透镜，三个光接收器和偏振滤光器的黑盒16。 光接收器15被配置为主要接收表面正反射光，光接收器13被配置为接收包含在内部反射光中的P偏振分量，并且光接收器13t被配置为接收通过 记录纸内。 在这种情况下，通过检测包含在内部反射光中的P偏振分量的光量，可以高度精确地分离来自记录片材内部的反射光，尽管通常由于反射光难以被分离 相当弱 此外，通过记录片材的内部的光量被构造成被检测。 来自记录纸的内部的反射光和通过记录纸的内部的光被配置为包括关于记录纸的内部状态的信息，并且可以将纸张类别的区分水平提高到等级 一个品牌，其品牌水平的提升一直很难。

公开(公告)号：JP2013504063A

公开(公告)日：2013-02-04

申请号：JP2012528011

申请日：2010-09-01

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

Inventor： カンデル・ダニエル ,  レビンスキ・ブラディミル ,  スヴィツァー・アレクサンダー ,  セリグソン・ジョエル ,  ヒル・アンドリュー ,  バカー・オハド ,  マナッセン・アムノン ,  チャン・ユン−ホ・アレックス ,  セラー・イラン ,  マーコウィッツ・モシェ ,  ネグリ・ダリア ,  ロテム・エフライム

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/06 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

Abstract: 様々な計測システムおよび計測方法が提供される。
【選択図】図１

公开(公告)号：WO2017162456A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：PCT/EP2017/055774

申请日：2017-03-13

Applicant: UNITY SEMICONDUCTOR

Inventor： FRESQUET, Gilles ,  COURTEVILLE, Alain ,  GASTALDO, Philippe

IPC: G01B11/24 ,  G02B21/00 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01J3/0208 ,  G01B11/022 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/22 ,  G01B11/245 ,  G01B2210/50 ,  G01B2210/56 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/18 ,  G01J3/453 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/063 ,  G01N2201/0833 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/0064 ,  H01L22/12

Abstract: The present invention concerns a method for inspecting the surface of an object (10) such as a wafer comprising tridimensional structures (11), using a confocal chromatic device with a plurality of optical measurement channels (24) and a chromatic lens (13) allowing optical wavelengths of a broadband light source (19) to be focused at different axial distances defining a chromatic measurement range, the method comprising a step of obtaining an intensity information corresponding to the intensity of the light actually focused on an interface of the object (10) within the chromatic measurement range at a plurality of measurement points (15) on the object (10) by measuring a total intensity over the full spectrum of the light collected by at least some of the optical measurement channels (24) in a confocal configuration.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用具有多个光学测量通道（24）的共焦彩色装置来检查诸如包括三维结构（11）的晶片的物体（10）的表面的方法， 以及允许宽带光源（19）的光波长聚焦在限定色度测量范围的不同轴向距离处的彩色透镜（13），所述方法包括获得与实际聚焦的光的强度相对应的强度信息的步骤 在物体（10）上的多个测量点（15）处的色度测量范围内的物体（10）的界面上通过测量由至少一些光学测量 渠道（24）在共焦配置。

公开(公告)号：WO2017162454A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：PCT/EP2017/055772

申请日：2017-03-13

Applicant: UNITY SEMICONDUCTOR

Inventor： GASTALDO, Philippe

IPC: G01B11/24 ,  G02B21/00 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01J3/0208 ,  G01B11/022 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/22 ,  G01B11/245 ,  G01B2210/50 ,  G01B2210/56 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/18 ,  G01J3/453 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/063 ,  G01N2201/0833 ,  G01N2201/105 ,  G02B21/0064 ,  H01L22/12

Abstract: The present invention concerns a confocal chromatic device, comprising : at least one chromatic lens (13) with an extended axial chromatism; at least one broadband light source (19); at least one optical detection means (20, 21); and at least one measurement channel (24) with a planar Y-junction (18) made with a planar waveguide optics technology, and arranged for transferring light from said at least one light source (19) towards said at least one chromatic lens (13) and for transferring light reflected back through said at least one chromatic lens (13) towards said at least one optical detection means (20, 21).

Abstract translation: 本发明涉及一种共焦彩色装置，其包括：至少一个具有延伸的轴向色差的色差透镜（13） 至少一个宽带光源（19）; 至少一个光学检测装置（20,21）; 以及至少一个测量通道（24），其具有用平面波导光学技术制造的平面Y形接头（18），并且被布置为将来自所述至少一个光源（19）的光传输到所述至少一个色透镜（13 ）并且用于将通过所述至少一个色透镜（13）反射回来的光朝向所述至少一个光学检测装置（20,21）传输。

公开(公告)号：WO2016053621A1

公开(公告)日：2016-04-07

申请号：PCT/US2015/050306

申请日：2015-09-16

Applicant: SRI INTERNATIONAL

Inventor： COLLINS, Nathan ,  MADRID, Peter

IPC: C40B40/14 ,  C40B50/14 ,  C40B60/12

CPC classification number: G01N33/6848 ,  B01J2219/0045 ,  B01J2219/00576 ,  B01J2219/00596 ,  B01J2219/00675 ,  B01J2219/00702 ,  C07B2200/11 ,  C08G69/36 ,  C40B40/14 ,  C40B50/14 ,  C40B60/12 ,  G01N21/6456 ,  G01N33/54313 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/12 ,  G01N2560/00

Abstract: Devices, systems and methods for affinity reagent and catalyst discovery employing a library on a bead HTS platform, each bead comprising affixed non-natural polymers of a distinct bioactive monomer with sequence pre-defined branching and folding in tertiary structures, and fiber-optic array scanning technology.

Abstract translation: 用于亲和试剂和催化剂发现的装置，系统和方法，在珠HTS平台上使用文库，每个珠粒包含具有序列预定义的分支和三级结构折叠的不同生物活性单体的固定非天然聚合物，以及光纤阵列 扫描技术。