半导体激光装置及制造方法

    公开(公告)号:CN1871755A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200480031094.3

    申请日:2004-09-27

    Abstract: 提供一种激光光束的发光点间隔小的半导体激光装置及其制造方法。具有半导体基板(12a)和激光振荡部(10a)的第1发光元件(1a)和具有激光振荡部(4a)的第2发光元件(2a)使激光振荡部(10a)的脊形波导(8a)和激光振荡部(4a)的脊形波导(5a)相面对,并利用厚度较小的SOG(3a)固定粘接。与脊形波导(8a)上的欧姆电极层(9a)电连接的导电性布线层(Qa1)和与脊形波导(5a)上的欧姆电极层(6a)电连接的导电性布线层(Qa2)分别延伸到半导体基板(12a)上的绝缘层(11a),在半导体基板(12a)的底面和激光振荡部(4a)的表面分别形成欧姆电极(Pa1、Pa2)。在向欧姆电极(Pa1)和布线层(Qa1)之间提供驱动电流时,激光振荡部(10a)射出激光光束,在向欧姆电极(Pa2)和布线层(Qa2)之间提供驱动电流时,激光振荡部(4a)射出激光光束。由于利用厚度较小的SOG(3a)固定粘接激光振荡部(4a、10a),所以能够形成发光点间隔小的半导体激光装置。

    半导体发光器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1233078C

    公开(公告)日:2005-12-21

    申请号:CN03164978.5

    申请日:2003-07-23

    Inventor: 谷健太郎

    Abstract: 本发明公开了一种半导体发光器件,包括:半导体衬底;在半导体衬底上形成的堆叠状半导体结构;带条纹的脊状结构;以及,位于带条纹的脊状结构的侧面上的半导体电流限制层。堆叠状半导体结构包括第一半导体盖层、半导体有源层、第二半导体盖层和半导体蚀刻停止层。带条纹的脊状结构包括第三半导体盖层、半导体中间层和半导体帽层。带条纹的脊状结构位于半导体蚀刻停止层之上。半导体电流限制层与半导体蚀刻停止层之间的界面上和半导体电流限制层与带条纹的脊状结构之间的界面上含有的杂质含量均少于1×1017/cm3。

    GaN基半导体器件
    138.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1675809A

    公开(公告)日:2005-09-28

    申请号:CN03819204.7

    申请日:2003-06-19

    Abstract: 一种GaN半导体发光器件,形成在GaN单晶衬底上且具有使电流泄漏更小的结构。该GaN半导体激光器件(50)包括设置在多层结构上的p侧和n侧电极,并具有与蓝宝石衬底上制造的传统GaN半导体激光器件相同的结构,除了用GaN单晶衬底(52)取代蓝宝石衬底且GaN化合物半导体层的多层结构直接形成在GaN单晶衬底(52)上而未形成GaN-ELO结构层之外。GaN单晶衬底(52)具有每个均具有10μm的宽度的连续带状核部分(52a),核部分(52)之间的距离约400μm。激光带(30)、p侧电极(36)的金属焊垫(37)、以及n侧电极(38)设置在除核部分(52a)之外的区域上的多层结构上。金属焊垫(37)的侧边缘与核部分的边缘之间的水平距离Sp和n侧电极(38)与核部分(52a)的边缘之间的水平距离Sn都为95μm。

    半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1602569A

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:CN03801328.2

    申请日:2003-02-07

    Abstract: 本发明的半导体发光元件包括:n型InP基板(1);以及条纹结构(10),条纹结构(10)包含在该n型InP基板(1)上条纹状形成的n型InP下部覆盖层(3)、相对于所述n型InP基板(1)而具有平行方向的谐振器的有源层(4)、和p型InP上部覆盖层(5)。这种条纹结构(10)有凹部(9)排列为矩形点阵状的光子晶体结构(2),光子晶体结构(2)的凹部(9)的排列方向和谐振器方向相同。此外,在谐振器方向上延长的条纹状的上部电极(6)形成在条纹结构(10)上。这样构成的本发明的半导体发光元件相对n型InP基板(1)在垂直的方向上发光。

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