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公开(公告)号:CN111247405B
公开(公告)日:2022-10-18
申请号:CN201880068721.2
申请日:2018-08-22
Applicant: 国立大学法人长冈技术科学大学 , 公立大学法人兵库县立大学 , 日产化学株式会社
Abstract: 本发明提供能利用快照进行偏振成像测量而无需机械工作部的偏振摄像装置、特别是不需要针对偏振元件的高精度对准的偏振摄像装置、更特别是在成本方面也较廉价的偏振摄像装置。本发明提供一种偏振摄像装置,其具有:周期性地调制了光学各向异性的各向异性衍射光栅元件、透镜元件、以及受光元件。
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公开(公告)号:CN115165105A
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202210770574.1
申请日:2022-06-30
Applicant: 中国运载火箭技术研究院
IPC: G01J3/447
Abstract: 一种基于单色线偏振光的空间逆光探测成像装置和方法,包括(1)激光分系统,将单色线偏振光发送至成像分系统,接收总控单元的反馈控制信号;(2)成像分系统,将激光分系统发送的单色线偏振光传递给目标,对目标进行补光,将目标反射回来的目标光束进行过滤并转化为目标偏振光信号;(3)图像处理板,生成偏振图像识别信息;(4)总控单元,接收偏振图像识别信号,输出反馈控制信号传递给成像分系统和激光分系统。本发明的逆光探测成像装置和方法,能够滤除背景强光干扰,实现在逆光环境下对目标的探测成像,成像效果清晰,适应多场景应用。
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公开(公告)号:CN114184277A
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN202111215989.4
申请日:2021-10-19
Applicant: 闽都创新实验室
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明提出基于相位延迟器和彩色线偏振相机的全stokes矢量成像方法,使用分焦平面彩色线偏振相机、图像延迟器、液晶可控相位延迟器进行彩色全stokes矢量成像;所述方法采用的成像装置中,镜头、液晶可控相位延迟器、图像延迟器、分焦平面彩色线偏振相机自前往后安装于同一直线上,待拍摄的目标物置于镜头前方成像清晰的物距处,液晶可控相位延迟器和线偏振相机连接用以进行控制和数据处理的计算机,所述方法通过多幅不同角度的线偏振图像与反演矩阵相乘来得到目标物的全stokes矢量图像;本发明能克服传统偏振成像不能同时测量色彩、强度和全偏振信息的缺点。
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公开(公告)号:CN113932922A
公开(公告)日:2022-01-14
申请号:CN202111086076.7
申请日:2021-09-16
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种偏振光谱成像系统及方法,该偏振光谱成像系统包括:偏振调制模块、望远模块与光谱成像模块;偏振调制模块包括消色差1/4波片、多级相位延迟器、偏振分束器;光谱成像模块包括狭缝光栅色散组件、面阵探测器组件;狭缝光栅色散组件包含狭缝、光栅以及反射镜组;目标光束依次经过所述偏振调试模块的消色差1/4波片、多级相位延迟器、偏振分束器后,由望远模块接收并成像在光谱成像模块的狭缝上,狭缝光束经过光栅色散后,由面阵探测器组件接收形成目标像。本发明能够以较高光谱分辨率、较高的系统可靠性与抗环境干扰能力、较低的数据处理难度、较小的系统体积重量,同时获取目标空间、光谱、偏振信息。
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公开(公告)号:CN113804646A
公开(公告)日:2021-12-17
申请号:CN202010540000.6
申请日:2020-06-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N21/359 , G01J3/447 , G01J3/02
Abstract: 一种近红外傅里叶变换偏振光谱仪,包括:激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元;所述激光干涉子系统及其探测单元包括激光器、分束器、动镜、探测器和传感器;所述白光干涉子系统及其探测单元包括光源、滤波片、斩波器、光阑、偏振器、补偿器、曲面反射镜、聚焦组件和锁相放大器。本发明使用偏振器,进行各向异性特征样品的红外光谱测量。在光路中加入精密针孔,限制光斑尺寸,滤去杂散光,探测光再经聚焦于探测器时可获得高对比度干涉图。
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公开(公告)号:CN113739920A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202010464978.9
申请日:2020-05-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种近场光学偏振光谱仪,包括入射光发生模块,探针扫描显微模块和出射光检测模块,其中,入射光发生模块发出不同偏振状态的探测光,入射光束入射至探针扫描显微模块的探针针尖上,探测光与探针针尖和样品表面构成的微纳空间结构相互作用,偏振状态发生变化,然后该光束的散射光、透射光或反射光由出射光检测模块收集,通过对出射光偏振状态的解调获得相互作用中偏振态产生的变化信息,对该信息进行反演计算,就能够获得被测样品的相关信息。本发明能够实现纳米级的超高横向空间分辨率,满足半导体关键器件对纳米级尺寸精确测量需求,同时具有与样品非接触、对样品无破坏性等优点。
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公开(公告)号:CN113739919A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202010464915.3
申请日:2020-05-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种反射式近场光学偏振光谱仪,包括:入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块,其中,探测光在入射光发生模块中经过整形和调制,发出不同偏振状态的探测光,入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上,探测光与探针针尖和样品表面构成的微纳空间结构相互作用,偏振状态发生变化,然后该光束的反射光/散射光由出射光检测模块收集后进行整形聚焦。本发明能够实现纳米级的超高横向空间分辨率,满足半导体关键器件对纳米级尺寸精确测量需求;可避免因使用透镜元件产生色差而造成的离焦问题;同时可通过保偏结构保证探测光经调制后的偏振态在经反射元件反射后到达探针时保持不变;并且具有与样品非接触、对样品无破坏性等优点。
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公开(公告)号:CN113739918A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202010464914.9
申请日:2020-05-27
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01J3/447 , G01J3/45 , G01J3/02 , G01N21/359 , G01N21/21
Abstract: 一种保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪,包括:激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元;所述激光干涉子系统及其探测单元,包括激光器、动镜、保偏反射聚焦模块、分束器和激光探测器;所述白光干涉子系统及其探测单元,包括白光光源、滤波片、斩波器、第一聚焦元件、第一偏振器、动镜、第二聚焦元件、分束器、第二偏振器、保偏反射聚焦模块、探测器、锁相放大器。本发明采用的曲面反射元件具有光焦度,不会产生色差,同时可在较宽光谱范围内保证高反射率。
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公开(公告)号:CN110333223B
公开(公告)日:2021-08-20
申请号:CN201910639342.0
申请日:2019-07-15
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明提供了一种黑磷晶向的识别方法与装置,该方法包括:在拉曼系统垂直偏振模式下,采集不同偏振角度的入射光对待识别黑磷进行照射所产生的目标特征峰的拉曼散射光谱信息;对不同偏振角度的入射光所对应的目标特征峰的拉曼散射光谱信息进行数据提取,得到目标数据对;通过目标特征峰的拉曼散射效率公式对目标数据对进行拟合,根据拟合结果确定待识别黑磷的晶向。本发明的黑磷晶向的识别方法最终识别得到的待识别黑磷的晶向准确性好,对不同厚度的待识别黑磷进行识别时,最终得到的黑磷晶向比较一致,缓解了现有的黑磷晶向的识别方法准确性差的技术问题。
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公开(公告)号:CN113188660A
公开(公告)日:2021-07-30
申请号:CN202110402129.5
申请日:2021-04-14
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 一种多维度参数可调的新型快照式偏振光谱成像系统,由物镜、准直镜、分光光栅、会聚镜A、数字微镜器件(DMD)、会聚镜B、合光光栅、分孔径偏振组件、电荷耦合器件(CCD)和计算机组成。该偏振光谱系统基于DMD的可编程功能控制其编码矩阵所对的码元的反射方向进行光谱分辨率的调制,同时通过分孔径偏振组件进行被测光的偏振态的调制,并采用CCD像元合并的方法进行空间分辨率的调制,最终实现了该新型快照式偏振光谱系统的多维度参数的灵活调制。本发明具有对目标空间分辨率、光谱分辨率和偏振态灵活调制的能力,有助于获取在一定探测条件下的合适的多维度参数组合探测模式,以减小光谱分辨率、空间尺度效应以及大气效应对探测精度的影响。
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