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公开(公告)号：CN109599311B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201710920120.7
申请日：2017-09-30
Applicant: 惠州市奥普康真空科技有限公司
Inventor： 苗丁
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明揭示一种电子束光斑及电子束束流的控制方法，包括如下步骤：步骤A：摇杆电位器、控制单片机以及高压电源柜依次连接，其中摇杆电位器的X轴电位器、Y轴电位器及Z轴电位器分别连接控制单片机的AD口，按钮连接控制单片机的IO口；步骤B：控制单片机通过IO口获取开按钮的开关信号；步骤C：控制单片机通过AD口获取X轴、Y轴以及Z轴电位器滑动端的电压；步骤D：控制单片机结合步骤B中的开关信号和步骤C中采集的电压，转换成对应的控制变量并输送至高压电源柜；步骤E：高压电源柜根据控制变量控制光斑的移动和尺寸变化以及束流变化。本发明的控制方法只需操作摇杆电位器即可控制光斑的位置、尺寸以及束流大小，操作简单直观。
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公开(公告)号：CN111816532A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010693465.5
申请日：2020-07-17
Applicant: 核工业西南物理研究院
Abstract: 本发明涉及热阴极弧放电离子源技术领域，具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本发明包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝；安装法兰上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管，馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境，馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管，馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子，灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本发明能够保证离子源能够快速更换灯丝，便于维护和维修。
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公开(公告)号：CN111492458A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201880081071.5
申请日：2018-11-14
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J3/04 , H01L21/265
Abstract: 本发明描述一种用于将包括惰性气体和含氟气体的气体递送至等离子体浸没枪的气体供应组件，其中所述组件被配置成将体积不超过所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的10％的所述含氟气体递送至所述浸没枪。所述含氟气体可自所述等离子体浸没枪中的材料沉积物产生挥发性反应产物气体，且从而引起所述等离子体浸没枪中等离子体生成细丝的再金属化。与所述气体量组合，所述组件和所述方法可使用气体流动速率以使清理效果优化且减少使用期间细丝材料自所述等离子体浸没枪的损失。
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公开(公告)号：CN111383870A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811627330.8
申请日：2018-12-28
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: H01J3/00
Abstract: 一种离子阱系统，包括激光调控模块用于将光束分为P个第一光束和Q个第二光束，P个第一光束中的N个第一光束分别传输至N个离子，Q个第二光束中的M个第二光束分别传输至M个监测单元；M个监测单元用于分别监测M个第二光束，并分别获取M个第二光束的空间强度分布信息，反馈控制模块用于接收M个第二光束的空间强度分布信息，根据M个第二光束的空间强度分布信息确定N个第一控制信号，并将N个第一控制信号传输至激光调控模块，其中，N个第一控制信号与N个第一光束一一对应，第一控制信号用于控制激光调控模块将对应的第一光束与离子对准。如此，有助于提高第一光束与对应离子的对准度，从而提高对离子进行量子态操控的保真度。
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公开(公告)号：CN108091529B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201711200705.8
申请日：2017-11-27
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明公开了一种场发射阴极电子源及其应用，包括有场发射阴极和场发射门极，场发射阴极和场发射门极之间设置有场发射电压，场发射门极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置设置有环形电极，环形电极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置为环形带栅孔电极，环形带栅孔电极的径向外侧套设有环形辅助外电极，其中辅助外电极可以是电子源的外壳。该场发射电子源的主要功能和优点是是为真空电子器件（包括X射线管、微波管等）提供电子束流或在真空电子器件中进行气体压强监控。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111088479A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911379047.2
申请日：2019-12-27
Applicant: 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种e形多电子束蒸镀装置，该蒸镀设备包括永久磁铁N极、S极、X/Y扫描线圈、坩埚、冷却水及电子束发射器；采用磁偏转式电子束，使得电子束路径呈现e字型，偏转角为270度，其中电子束发射器的由灯丝阴极、阳极、偏转线圈等其他部件构成。从多电子束与旋转坩埚两方面应对电子枪故障问题。e形多电子束蒸镀设计大幅度提高了蒸镀效率和熔点，此外，为了提高蒸镀过程薄膜沉积速率精度和稳定性，本发明专利从热电子发射模块、高压电子加速模块和电子束偏转模块三个方面设计了新的电子枪电路。
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公开(公告)号：CN108550509B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201810489034.X
申请日：2018-05-21
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H01J3/02
Abstract: 本申请公开了一种电磁波辐射系统及电磁波辐射方法，其中，所述电磁波辐射系统通过电子注发射设备向矩形光栅周期性地发射电子团，以使电子团周期性地掠过所述矩形光栅的第一表面，激励起所述矩形光栅上的表面波，所述电子团将被所述表面波调制，使得每个电子团内部产生若干小电子团，最终形成的电子团将在光栅上半空间产生相干Smith‑Purcell辐射。在产生的这些相干Smith‑Purcell辐射中，其辐射频率均与所述电子团的发射频率相关，因此可以通过调节所述电子团的发射频率，实现对产生的相干Smith‑Purcell辐射的辐射频率的控制，可以实现辐射频率覆盖0.6THz‑1.5THz范围的目的。另外，利用所述电磁波辐射系统可以一次性产生多个频率的Smith‑Purcell辐射，可以同时满足多个应用的需求。
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公开(公告)号：CN109887817A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910267323.X
申请日：2019-04-03
Applicant: 郭盘林
Inventor： 郭盘林
IPC: H01J3/34
Abstract: 本发明提供一种静电多通路的束流偏转装置，涉及带电粒子束流输运技术领域，包括真空室，用于为带电粒子束流的传输提供真空环境；偏转电极，均匀分布于所述真空室的内部，用于产生相应的偏转电场以改变所述带电粒子束流的偏转角度；修正电极，设置于两所述偏转电极之间，用于调整所述偏转电极产生的相应的边缘电场以保证所述带电粒子束流进入所述偏转电场的有效区域。本发明结构简洁、体积小巧、操作简单，偏转能量强。偏转电极采用圆柱形结构且均匀分布，对称性好，有效提升机械加工精度和使用安装精度，从而有效提高本发明的静电多通路的束流偏转装置的精度。
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公开(公告)号：CN109830412A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910115489.X
申请日：2019-02-15
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01J3/02
Abstract: 本发明属于真空电子技术领域，具体提供一种新型纳米冷阴极电子枪，包括：阴极、第一阳极、第二阳极、底座、上绝缘套筒及下绝缘套筒，阴极通过下绝缘套筒固定支撑于底座上，第二阳极通过上绝缘套筒固定支撑于阴极上；阴极为中心位置开设有倒圆台形空心腔体的环状金属结构，且阴极内表面设置有环形纳米冷阴极发射带；第一阳极固定于底座上，设置于阴极的空心腔体内、且位于空心腔体中心位置。本发明采用场致发射冷阴极代替热阴极，阴极采用新结构，既能保证场致发射电子不被截获，又能够起到降低工作电压的目的，还保证有足够大的发射面积来发射电流，从而有效的解决纳米冷阴极材料在场致发射应用上场致发射电子注的有效形成这一关键科学问题。
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公开(公告)号：CN109671602A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811360138.7
申请日：2018-11-15
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明公开了一种基于热电子放电的复合电子源，其包括：热丝电极组件、固定座、空心阴极放电组件、绝缘座、腔体连接组件、磁极，其主要是通过利用热丝电极组件导电受热后发生热丝放电，电子通过在空心阴极组件与热丝固定座形成阴极放电腔，空心阴极孔道及空心阴极组件中的放电筒形成多级级联碰撞放电，同时腔体连接组件外套装磁极可有效增加放电过程中的碰撞次数，使其形成大束流高能电子流；同时复合电子源内可形成三个冷却腔对热丝电极、阴极放电腔、空心阴极组件进行冷却，本发明具有以下优点和效果：本发明通过将空心阴极放电效应与热丝放电相结合，实现均匀稳定的放电且可达到更好的冷却效果，提高复合电子源的长时间高效稳定性。
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