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公开(公告)号：CN112048701B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202010737079.1
申请日：2020-07-28
Applicant: 温州职业技术学院
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明属于真空镀膜技术关键部件阴极弧源技术装备领域，具体涉及一种多磁场集成阴极弧源，包括阴极组件、阳极组件，所述阳极组件套设在阴极组件外且之间绝缘设置；所述阳极组件中设有第一磁极；所述阴极组件一端固定有靶材，所述阴极组件内设有第一空腔，所述第一空腔内设有第二磁极安装座，所述第二磁极安装座在第一空腔内可沿靶材轴向方向位移，所述第二磁极安装座上设有第二磁极；所述阴极组件远离靶材的一端设有电磁线圈。本发明通过利用阳极组件中的第一磁极和阴极组件内的可调节距离的第二磁极及电磁线圈相互作用，可在靶材表面形成较高的水平分量磁场强度，从而有利于弧光放电过程中增加电子的运动行程，提升等离子体的浓度及强度。
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公开(公告)号：CN109671601B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201811360134.9
申请日：2018-11-15
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明公开了一种基于热电子放电的电子源，包括法兰座以及两个电极，法兰座背对电极的一面固定安装有放电法兰腔，法兰座内部设有第一冷却腔，放电法兰腔内设有第三冷却腔，放电法兰腔的内腔为放电腔，放电腔外壁设有进气孔，两个电极之间连接钨丝，放电腔外壁设有连通的电子通道及加长放电腔，钨丝电极上设有第二冷却腔，电极上的进水管与第二冷却腔之间有流动间隙，电极外壁设有出水口，加长放电腔外套装有磁体，可有效增加电子的运动行程，提升电子浓度；本发明通过第一冷却腔、第二冷却腔以及第三冷却腔的设计保证热电子稳定且长期的进行放电，并通过接通不同电位及磁场约束来提高电子的离化率以及电子浓度。
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公开(公告)号：CN108330464B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201810162946.6
申请日：2018-02-26
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明公开了一种线材类金刚石涂层加工装置，包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体，该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套，所述磁靴环上装配多组磁铁，所述磁靴转动齿固定在磁靴环上，外接传动结构可转动磁靴环。本发明不仅可在高真空下对微型尺寸件、线材件表面磁控溅射PECVD沉积类金刚石涂层，而且还可在低真空下利用环形管气体放电，在微型尺寸件、线材件产生大束流高离化喷涂类金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN112030116A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010736213.6
申请日：2020-07-28
Applicant: 温州职业技术学院
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明属于涉及电弧离子镀技术关键部件阴极弧源装备领域，具体涉及一种中心进气的调制脉冲电弧离子镀装置，包括阴极盖和阴极座，所述阴极盖和阴极座相连接形成阴极组件，所述阴极座远离阴极盖的一侧表面上设有靶材安装部，所述靶材安装部上连接有靶材，所述靶材中心处设有第一通孔，所述阴极座上设有连通第一通孔的第二通孔，所述阴极盖上设有连通第二通孔的第三通孔，所述第一通孔、第二通孔、第三通孔形成进气管路。本发明采用中心通气实现工艺气体从靶材中心进入，增大沉积化合物相的能量，优化涂层结构，降低弧光放电的熔池大小，抑制大颗粒的产生。
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公开(公告)号：CN109338292B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201811360942.5
申请日：2018-11-15
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明公开了一种管件内壁真空镀膜装置及生产工艺，包括翻转组件、磁靴组件、真空腔室、阴极组件、管件台、加热筒、绝缘组件及密封组件，翻转组件套装在真空腔室上可实现上下料时的真空腔室的翻转，真空腔室内可套装管件台用于夹装待镀管件，管件台上套装加热筒用以加热管件，阴极组件通过绝缘组件及密封组件套装在待镀管件内，阴极组件包括磁控溅射阴极及电弧阴极，不同阴极装配相应的磁靴组件，通过利用一次性铜管加工靶料形成的水冷阴极在真空下的磁控溅射、电弧离子镀对管件内壁进行硬质涂层的沉积。本发明采用可翻转的真空腔室及替换性的阴极组件，实现对部分具有高要求的管件内壁进行涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109671602A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811360138.7
申请日：2018-11-15
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明公开了一种基于热电子放电的复合电子源，其包括：热丝电极组件、固定座、空心阴极放电组件、绝缘座、腔体连接组件、磁极，其主要是通过利用热丝电极组件导电受热后发生热丝放电，电子通过在空心阴极组件与热丝固定座形成阴极放电腔，空心阴极孔道及空心阴极组件中的放电筒形成多级级联碰撞放电，同时腔体连接组件外套装磁极可有效增加放电过程中的碰撞次数，使其形成大束流高能电子流；同时复合电子源内可形成三个冷却腔对热丝电极、阴极放电腔、空心阴极组件进行冷却，本发明具有以下优点和效果：本发明通过将空心阴极放电效应与热丝放电相结合，实现均匀稳定的放电且可达到更好的冷却效果，提高复合电子源的长时间高效稳定性。
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公开(公告)号：CN108330464A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810162946.6
申请日：2018-02-26
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明公开了一种线材类金刚石涂层加工装置，包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体，该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套，所述磁靴环上装配多组磁铁，所述磁靴转动齿固定在磁靴环上，外接传动结构可转动磁靴环。本发明不仅可在高真空下对微型尺寸件、线材件表面磁控溅射PECVD沉积类金刚石涂层，而且还可在低真空下利用环形管气体放电，在微型尺寸件、线材件产生大束流高离化喷涂类金刚石涂层。
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公开(公告)号：CN108277471A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810018496.3
申请日：2018-01-09
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明涉及一种立式周向循环连续式气相沉积设备，包括主腔室、进料腔室及进料口开合系统、工艺腔室及气相沉积组件、转架系统、腔室升降系统、真空系统及真空管道，真空系统将主腔室、进料腔室及工艺腔室通过各自独立的真空管道进行真空处理，进料腔室及工艺腔室通过气动升降机构驱动进料腔室及工艺腔室升降，将进料腔室及工艺腔室在与主腔室联通的状态及独立真空腔室的状态之间切换，气相沉积组件侧向安装于各工艺腔室，并通过可收缩的波纹管道连接于真空室外，实现不同的镀膜功能。转架系统包括转盘、双转盘转动机构、转盘转动机构驱动转盘公转或定点自转，将工件在进料腔室及工艺腔室之间传递及定点镀膜，实现周向快速连续式真空镀膜。
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公开(公告)号：CN108179397A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810018511.4
申请日：2018-01-09
Applicant: 温州职业技术学院
IPC: C23C14/56
Abstract: 本发明涉及一种并行周向连续式等离子体镀膜装置，其包括工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车，工艺腔体内设置有多组工艺组件密封板、周向分布的多组储料腔、回转装置、物料引导装置，回转腔体设置有回转伸缩装置、物料传导装置、物料腔，进料口设置有可开合的密封门板，真空系统分别对工艺腔体与回转腔体的组合体、进料口进行真空处理，物料车上可装载树形单挂物料，工艺腔体内可形成独立真空室并独立进行工艺处理，回转装置可实现物料车的传动及自转，回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料口形成密封的独立真空室并实现物料车传导，进料系统可将物料取出及放入。采用上述方案，本发明可实现批量单挂物料并行连续式镀膜生产。
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公开(公告)号：CN108398072A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810018228.1
申请日：2018-01-09
Applicant: 温州职业技术学院
Abstract: 本发明涉及一种集成式多功能涂层检测机，包括载物台部分、涂层检测组件部分及检测组件切换部分，检测组件切换部分包括调节涂层检测组件位置及朝向的行走功能组件，高度调节组件及摆动调节组件，载物台部分设置有夹持待测样品的主夹具及翻转载物台部分的翻转组件，两者不同功能的组件相配合进行检测，使检测功能更多元化，涂层检测组件部分包括用于检测摩擦性能的静摩擦检测组件、用于结合力检测的划痕检测组件、用于多层涂层结构分析的动力摩擦检测组件及用于检测膜层厚度的厚度检测组件中的两种或者多种集成，按需安装或全部安装。采用上述方案，本发明提供一种具有多种检测功能，并能对复杂工件进行检测的集成式多功能涂层检测机。
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