Abstract:
본 발명은 반도체 공정 툴용 필터링 시스템을 제공한다. 한 실시 양태에서, 필터링 시스템은 반도체 공정 툴과 관련된다. 본 발명의 시스템은 기체 흐름 경로와 유체 소통하는 제1 및 제2 필터 층을 포함한다. 흐름 경로는 헥사메틸디실록산 및 트리메틸실라놀과 같은 휘발성 실리카 함유 화합물을 포함하는 기체 스트림이다. 기체 흐름 경로는 제1 및 제2 필터 층을 통과하여 반도체 공정 툴과 유체 소통한다. 필터링 시스템의 제1 필터 층은 기체 흐름 경로를 따라 제2 필터 층으로부터 업스트림인 것이 바람직하다. 제1 및 제2 필터 층의 매질은 주어진 오염물 농도에 기초하여 선택되고 배치된다. 본 발명은 또한 제1 및 제2 필터 층을 포함하는 시스템을 채용하는 반도체 공정 툴과 연계하여 헥사메틸디실록산 및 트리메틸실라놀을 함유하는 기체를 필터링하기 위한 방법을 제공한다. 필터링 시스템, 반도체 공정 툴
Abstract:
The invention provides a multiple-bed process and equipment for demineralizing condensate which make it possible to reduce remarkably the reverse regeneration rate in regenerating resins and improve the quality of treated water in ammonia employment. The invention relates to a multiple-bed process for demineralizing condensate with ion-exchange resins by passing condensate through a multiple-bed resin layer made by combining alternately anion resin layers and strongly acidic gel-type cation resin layers of uniform particle size having degrees of crosslinking of 10 to 16% in such a state divided by separation walls as to inhibit the mixing of the resins with each other, wherein the strongly acidic gel-type cation resin has a mean particle diameter of 500 to 800mum, a content of resin particles whose diameters falls within the range of the mean particle diameter ± 100mum of 95% or above, and a uniformity coefficient of 1.2 or below. When the ion exchange resins require regeneration by passing a chemical, the resins can be each separately drawn, regenerated by passing a chemical, and then returned to their respective spaces surrounded by separation walls.
Abstract:
PURPOSE: Provided is a process for preparing a gel-type cation exchanger having high mechanical and osmotic stability and simultaneously improved stability to oxidation. CONSTITUTION: The process for preparing a gel-type cation exchanger of improved stability to oxidation by a seed/feed process, comprises the steps of (a) providing a bead-type crosslinked styrene polymer containing 3.5-7% by weight of crosslinker in an aqueous suspension as a seed polymer; (b) swelling the seed polymer in a monomer mixture of vinyl monomer, crosslinker and free-radical initiator to the aqueous suspension; (c) polymerizing, within the seed polymer, the monomer mixture which is soaked into the seed polymer; and (d) functionalizing the resultant copolymer by sulfonation.