公开(公告)号：KR1020170141784A

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：KR1020177034599

申请日：2015-04-30

Applicant: 지멘스 악티엔게젤샤프트

Inventor： 지글러,알렉산더미카엘 ,  헤들러,해리 ,  파스트시악,레미지우즈 ,  시크,안톤

IPC: G01J3/02 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01N21/63 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01N2201/0636 ,  G02B21/082 ,  G02B21/16 ,  G02B21/362 ,  G02B26/007 ,  G02B26/0833 ,  G02B21/0076

Abstract: 시료구역, 이시료구역에포지셔닝가능한시료에방사선을조사하기위한조명부, 및시료에의해방출되는방사선을방사선검출기를써서검출하기위한검출부를포함하는방출측정디바이스가개시된다. 조명부는방사선원, 방사선을이 방사선의스펙트럼컴포넌트들로분해하기위한, 빔방향으로방사선원의하류에배치된제1 분산소자, 스펙트럼컴포넌트들을선택하기위한, 빔방향으로제1 분산소자의하류에배치된제1 마이크로미러필드, 및선택된스펙트럼컴포넌트들을공통여기빔으로통합하기위한, 빔방향으로제1 마이크로미러필드의하류에배치된제2 분산소자를포함한다. 또한, 그러한방출측정디바이스를사용하여, 광방출을측정하기위한방법이개시되며, 여기서여기광 빔의스펙트럼조성은, 제1 마이크로미러필드의개별마이크로미러들을활성화및/또는비활성화함으로써선택된다.

Abstract translation: 样品区，用于由照明单元发射的辐射所述样品放电测定装置，和用于在样品定位放射线照射可包括用于使用辐射检测器检测的检测器的示例部分中被公开。 一万亿人吹位置辐射源，第一分配元件的下游的下游的辐射，第一分配元件的波束方向，用于选择设置在放射线的放射线源成谱的频谱分量时，光束方向分解成的部件 第一微镜场和第二色散元件设置在光束方向上的第一微镜场的下游，用于将选择的光谱分量集成到共同的激励光束中。 此外，通过使用这样的放电测量装置，公开了一种用于测量光发射，其中，所述激发光束的光谱组成，由微镜1场的启用和/或禁用各个微镜中选择的方法。

公开(公告)号：KR1020170029892A

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：KR1020150127034

申请日：2015-09-08

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 김인중 ,  윤일구

IPC: G02B3/00 ,  H01J37/32 ,  G01J3/443 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768

CPC classification number: G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/024 ,  G01J3/443 ,  G02B5/205 ,  G02B7/021 ,  H01J37/32972 ,  H01J37/3299 ,  H01L21/67253

Abstract: 본발명의기술적사상은플라즈마공정에서의플라즈마상태를정밀하게검출하는데이용할수 있는튜브형렌즈, 그튜브형렌즈를포함한 OES 장치, OES 장치를포함한플라즈마모니터링시스템및 그시스템을이용한반도체제조방법을제공한다. 그튜브형렌즈는원통형튜브; 광이입사하는상기튜브의입구쪽에배치되고, 중심영역으로상기광의투과가차단된제1 렌즈; 및상기광이출사하는상기튜브의출구쪽에배치된제2 렌즈;를포함한다.

Abstract translation: 本发明的技术特征提供了一种使用等离子监控系统和包括该OES设备，OES设备，包括等离子处理eseoui等离子体状态的筒状透镜的系统中，并且可用于精确地检测镜头管的半导体制造方法。 管状透镜包括圆柱形管; 它被设置在使光入射时，在第一透镜和光透射被阻挡在中央区域中的管的入口; 并且第二透镜设置在光出射的管的出口侧。

公开(公告)号：KR1020160138385A

公开(公告)日：2016-12-05

申请号：KR1020167022476

申请日：2015-01-29

Applicant: 비아비 솔루션즈 아이엔씨.

Inventor： 후루스카,커티스,알. ,  캐칭,벤자민,에프. ,  스미스,파울라

IPC: G01J3/02 ,  G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/28 ,  G01J3/12

CPC classification number: G01J3/0229 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1221 ,  G01J2003/1234 ,  G01J2003/2813 ,  G02B5/285

Abstract: 상류필터가하류필터에대한공간필터로서기능하도록서로로부터고정거리에스택되는 2개의측면적가변밴드패스필터들을포함하는광학필터가개시된다. 이것은하류필터에충돌하는경우상류필터에의해송신되는경사빔이측면적으로배치되기때문에발생한다. 측면적배치는상류필터및 하류필터로의경사빔의충돌위치들에서의송신패스밴드들이오버랩하지않는경우경사빔의억제를야기한다.

Abstract translation: 公开了一种滤光器，其包括彼此以固定距离堆叠的两个横向可变带通滤光器，使得上游滤光器用作下游滤光器的空间滤光器。 这是因为当上游滤波器发射的倾斜波束在撞击下游滤波器时横向偏移。 当倾斜光束的入射位置在上游和下游滤波器上的传输通带不重叠时，横向位移导致倾斜光束的抑制。

公开(公告)号：KR1020140114156A

公开(公告)日：2014-09-26

申请号：KR1020130028630

申请日：2013-03-18

Applicant: 에스엔유 프리시젼 주식회사

Inventor： 조태영 ,  황영민 ,  김성룡 ,  강상수 ,  박희재

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01N21/25

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/02029 ,  G01B9/02034 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/50 ,  G01J3/506 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2021/9513

Abstract: The present invention relates to a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information, wherein the three-dimensional shape measuring apparatus measuring the shape of a target using an interferometer comprises: an optical source emitting light; an optical divider reflecting the light emitted from the optical source or transmitting light reflected from the target; a lens part focusing the light, which is reflected by the optical divider, on the target; an optical detection part detecting the light reflected from the target; and an optical control part arranged on an optical path between the optical source and the optical divider, and deteriorating the interference of a light, which is generated from the lens part, by blocking the light emitted from the central area of the optical source. Therefore, the three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention is capable of measuring the shape of the target using the interferometer, and is capable of measuring the color information of the target additionally.

Abstract translation: 本发明涉及能够测量颜色信息的三维形状测量装置，其中使用干涉仪测量目标的形状的三维形状测量装置包括：发射光的光源; 反射从光源发射的光或透射从靶反射的光的光分路器; 将由光分路器反射的光聚焦在目标上的透镜部分; 光检测部，检测从所述目标反射的光; 以及配置在光源与光分路器之间的光路上的光学控制部件，并且通过阻挡从光源的中心区域发出的光而使从透镜部分产生的光的干涉恶化。 因此，根据本发明的三维形状测量装置能够使用干涉仪来测量目标的形状，并且能够另外测量目标的颜色信息。

公开(公告)号：KR1020100091378A

公开(公告)日：2010-08-19

申请号：KR1020090010547

申请日：2009-02-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 이헌정 ,  채승기 ,  한재원 ,  오창훈

IPC: H01L21/205 ,  H05H1/24

CPC classification number: G02B21/0028 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/443

Abstract: PURPOSE: An optical apparatus for plasma is provided to measure the spatial distribution of plasma emitted light by regulating the distance between a light receiving lens and a pin-hole. CONSTITUTION: A light receiving lens(110) receives optical emission spectrum from plasma. A first aperture is arranged between the light receiving lens and the plasma to block out-focused light. A second aperture is arranged between the light receiving lens and the phase forming region of the light receiving lens to block in-focused light. A pin-hole is arranged in the phase forming region of the light receiving lens to limit the depth of focus with respect to a target region.

Abstract translation: 目的：提供一种用于等离子体的光学装置，通过调节光接收透镜和针孔之间的距离来测量等离子体发射光的空间分布。 构成：光接收透镜（110）从等离子体接收光发射光谱。 在光接收透镜和等离子体之间布置第一孔以阻挡聚焦外的光。 在光接收透镜和光接收透镜的相位形成区域之间布置第二孔，以阻挡聚焦光。 在光接收透镜的相位形成区域中布置有针孔，以限制相对于目标区域的聚焦深度。

公开(公告)号：KR1020070049088A

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：KR1020060109313

申请日：2006-11-07

Applicant: 웨이퍼마스터스, 인코퍼레이티드

Inventor： 유우식

IPC: G01J3/44 ,  G02B5/18

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/32 ,  G01J3/36 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65

Abstract: 개선된 분광을 위한 시스템 및 기술. 약간의 실시예에서, 기계적인 및/또는 광 줌 메카니즘은 단색분광기 시스템에 제공될 수 있다. 예컨대, 이동가능한 검출기 시스템은 제 1 해상도를 얻기 위해서 검출기가 분산 구성요소에 대해 배치되게 한다. 그 다음 검출기 시스템은 제 2 해상도를 얻기 위해서 검출기가 분산 구성요소에 대해 배치되게 할 수 있다. 약간의 실시예에서, 제 1 샘플 영역의 분광은 복수의 여기 파장을 사용하여 실행될 수 있다. 다수의 검출기는 복수의 여기 파장 중에서 다른 여기 파장들과 연관된 광을 수신하기 위해 배치될 수 있다.

公开(公告)号：KR101844627B1

公开(公告)日：2018-04-02

申请号：KR1020147002086

申请日：2012-06-12

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 크리쉬난쉔커 ,  왕하이밍

IPC: G01N21/25 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/065 ,  G01B2210/56 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/42 ,  G01N21/00 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/0675

Abstract: 기판에대한다파장(multi-wavelegnth), 다방위각(multi-azimuth), 및다입사각(multi-angle-of-incidence)의판독을행하는분광기구로서, 조사빔을생성하는광대역광원, 조사빔을다방위각및 다입사각으로동시에기판으로지향시켜, 반사빔을생성하는대물광학계, 방위각과입사각의소망하는별개의조합을갖는반사빔의일부를선택적으로통과시키기위해내부에조사개구및 복수개의집광개구가형성되는개구판, 방위각과입사각의별개의조합을수신하여판독치를생성하는검출기, 및판독치를해석하는프로세서를포함하는분광기구가제공된다.

Abstract translation: 治疗波长（多wavelegnth）在所述基板上，和方位角（多方位），mitda入射角（多角度的入射），作为宽带光源，照射束，用于产生照射光束方位角的进行读出的分光装置 它通过入射在引导至所述基板，所述物镜光学系统，方位角和所期望的照射开口和多个光收集孔在其中的用于具有不同组合的反射光束的一部分的同时的角度，以选择性地传递给入射角以产生一反射光束，以形成 接收方位角和入射角的不同组合以产生读数的检测器，以及分析读数的处理器。

公开(公告)号：KR1020170044610A

公开(公告)日：2017-04-25

申请号：KR1020167028537

申请日：2014-09-15

Applicant: 시냅티브 메디컬 (바베이도스) 아이엔씨.

Inventor： 우드,미셸 ,  피론,카메론 ,  유와라지,멀어가타스 ,  세라,갈 ,  리치몬드,조슈아 ,  맥파덴,스테펜

IPC: A61B90/00 ,  A61B1/00 ,  A61B6/02 ,  A61B6/00 ,  A61B1/002 ,  A61B34/20 ,  A61B34/10

CPC classification number: A61B34/20 ,  A61B1/042 ,  A61B1/043 ,  A61B1/0646 ,  A61B1/313 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/02007 ,  A61B5/055 ,  A61B5/4029 ,  A61B5/4064 ,  A61B5/4504 ,  A61B5/4514 ,  A61B5/4519 ,  A61B5/4523 ,  A61B5/4533 ,  A61B5/4547 ,  A61B5/4552 ,  A61B5/7246 ,  A61B5/7271 ,  A61B6/032 ,  A61B6/505 ,  A61B17/00234 ,  A61B34/10 ,  A61B34/30 ,  A61B90/37 ,  A61B90/50 ,  A61B2034/107 ,  A61B2034/2051 ,  A61B2034/2055 ,  A61B2090/306 ,  A61B2090/3616 ,  A61B2090/364 ,  A61B2090/3735 ,  A61B2505/05 ,  A61B2576/026 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/42

Abstract: 시스템, 방법및 장치는의료시술중에조직구조의위치를수술중 확인하기위해제공된다. 의료시술을받은해부학적부위부근에서환자의골격구조의수술전 영상데이터가획득된다. 절차중, 조직이노출된후에편광민감-광간섭성단층촬영(PS-OCT)을사용하여골격구조부근에서, 조직의선택된영역을스캐닝함으로써수술중 영상데이터가획득된다. 골격구조부근에서구조적조직화를나타내는조직의영역은수술중(PS-OCT) 영상데이터로부터식별된다. 해부학적부위부근에서골격구조의수술전 영상데이터와수술중(PS-OCT) 영상데이터를기하학적으로연관시키고등록시킨다음구조적정보를나타내는조직의영역에대하여선험적공지의해부학적정보를사용하여행해진다.

Abstract translation: 该系统，方法和设备被提供用于在医疗程序期间手术中确认组织结构的位置。 在受到医学治疗的解剖部位附近获得患者骨骼结构的术前图像数据。 在手术过程中，通过在组织暴露后使用偏振敏感性相干断层扫描术（PS-OCT）扫描骨骼结构附近组织的选定区域来获得术中图像数据。 从术中（PS-OCT）成像数据中识别出在骨骼结构附近显示出结构组织的组织区域。 它与相关联，并且登记的图像数据被几何然后已知的组织的区域的先验表示该骨架结构的解剖位置的附近的结构信息的解剖信息的术前图像数据和（PS-OCT）的操作行进 。

公开(公告)号：KR101721455B1

公开(公告)日：2017-04-10

申请号：KR1020127006254

申请日：2010-08-10

Applicant: 코닌클리케 필립스 엔.브이.

Inventor： 브루터스루드 ,  무지스램코테오도루스요하네스 ,  슈마이츠하롤드아그네스빌헬무스

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  H04N9/04 ,  H04N9/097

CPC classification number: H04N9/045 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2803 ,  H04N9/097

Abstract: 멀티-스펙트럼카메라는광이통과하도록허용하는적어도하나의홀(203)을갖는차단소자(201)를포함한다. 분산소자(205)는상이한파장종속방향들로상기적어도하나의홀(203)로부터의광을확산시키고렌즈(207)는이미지평면(209)상에서상기분산소자(205)로부터의광을포커싱한다. 마이크로렌즈어레이(211)는렌즈(207)로부터광을수신하고이미지센서(213)는상기마이크로렌즈어레이(211)로부터광을수신하며상기이미지센서(213)의픽셀들에대한입사광 값들을포함하는픽셀값 신호를생성한다. 그후 프로세서는상기픽셀값 신호로부터멀티-스펙트럼이미지를생성한다. 상기접근법은단일순간센서측정으로하여금적어도하나의공간적차원및 하나의스펙트럼차원을포함하는멀티-스펙트럼이미지를제공할수 있게허용할수 있다. 상기멀티-스펙트럼이미지는상기센서출력의후-처리에의해생성될수 있으며, 물리적필터링또는부품들의이동은필요하지않다.

Abstract translation: 多光谱照相机包括具有至少一个允许光通过其中的孔（203）的阻挡元件（201）。 色散元件205以不同的波长相关方向漫射来自至少一个孔203的光，并且透镜207将来自色散元件205的光聚焦在像平面209上。 微透镜阵列211接收来自透镜207的光，并且图像传感器213接收来自微透镜阵列211的光并且包括用于图像传感器213的像素的入射光值 像素值信号。 处理器然后根据像素值信号生成多光谱图像。 该方法可以允许单个瞬时传感器测量来提供包括至少一个空间维度和一个光谱维度的多光谱图像。 多光谱图像可以通过对传感器输出进行后处理生成，不需要物理过滤或元件移动。

公开(公告)号：KR1020160150004A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：KR1020160066620

申请日：2016-05-30

Applicant: 제록스 코포레이션

Inventor： 보니노,폴에스. ,  헤로스키,로버트피. ,  르페브르,제이슨엠.

IPC: G01B11/06 ,  G01B9/00 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01B11/0616 ,  C23C16/52 ,  G01B11/0633 ,  G01B11/0683 ,  G01B11/0691 ,  G01B11/06 ,  G01B9/00 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229

Abstract: 분광광도계를이용한필름-두께분석제공방법은발광체가기재표면상에적층된필름에광속을방출하는단계, 선형센서가굴절률분포형렌즈및 선형가변필터를통해기재표면상에적층된필름에서반사되는빛을수용하는단계, 및처리기가선형센서로부터수용된필름의분광반사율에기초하여필름두께를결정하는단계를포함한다.

Abstract translation: 用分光光度计提供薄膜厚度分析的方法包括配置照射器以在沉积在基板表面上的薄膜上发射光束，配置线性传感器以经由梯度折射率透镜接收从基板表面上沉积的膜反射的光 以及线性可变滤波器，并且配置处理器以基于从线性传感器接收的胶片的光谱反射率确定胶片的厚度。