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公开(公告)号：JP2013505459A
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：JP2012530405
申请日：2010-09-21
Applicant: ヴォロテック・リミテッド
Inventor： シュローモ・ヴォロヴィチク
CPC classification number: G01J4/04 , G01C17/34 , G01C21/02 , G01J2004/005
Abstract: 本装置は、偏光フィルターセルのアレイであって、各セルが第一の偏光方向を有する第一の偏光フィルター及び第一の偏光方向とは異なる第二の偏光方向を有する第二の偏光フィルターを備えた、アレイと；偏光フィルターのアレイ上に光を向ける光学システムと；それぞれ第一及び第二の偏光フィルターを介して受光した光からデータを生成する第一及び第二の光センサーとを備える。 また、本方法は、偏光フィルターセルのアレイ上に光を向けるステップであって、各セルが第一の偏光方向を有する第一の偏光フィルター及び第一の偏光方向とは異なる第二の偏光方向を有する第二の偏光フィルターを有する第二の偏光フィルターを有する、ステップと；それぞれ第一及び第二の光センサーによって第一及び第二の偏光フィルターを介して受光した光からデータを生成するステップと；データに基づいて偏光パターンを導出するステップとを備える。
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142.发明专利
公开(公告)号：JP4928897B2
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：JP2006283812
申请日：2006-10-18
Applicant: 株式会社東芝
Inventor： 博 野村
IPC: G03F1/44 , G01J4/04 , H01L21/027
CPC classification number: G01J4/04 , G03F1/44 , G03F7/70216 , G03F7/70566 , G03F7/7085
Abstract: A polarization evaluation mask for evaluating the state of polarization of an illumination light in exposure equipment comprises a transparent substrate; a light interceptor formed in said transparent substrate and having a plurality of fine apertures; a plurality of polarizers formed to cover said plurality of fine apertures and having orientation angles of the transmissive polarization differing in increments of certain angle; and a plurality of quarter-wave plates arranged upstream of said illumination light than said polarizers and formed as superimposed on said polarizers to cover said fine apertures, and having orientation angles of the fast axis differing in increments of certain angle. Each of said plurality of fine apertures has a different combination of said orientation angle of said polarizer and said orientation angle of said quarter-wave plate.
Abstract translation: 用于评估曝光设备中的照明光的偏振状态的偏振评估掩模包括透明基板; 在所述透明基板中形成的具有多个细孔的光拦截器; 多个偏振器被形成为覆盖所述多个细孔并具有以某个角度增量的透射偏振的取向角; 以及布置在所述照明光的上游的多个四分之一波片，并且形成为叠加在所述偏振器上以覆盖所述细孔，并且具有以某个角度为增量的快轴的取向角。 所述多个细孔中的每一个具有所述偏振片的所述取向角和所述四分之一波片的所述取向角的不同组合。
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公开(公告)号：JP2012018165A
公开(公告)日：2012-01-26
申请号：JP2011151357
申请日：2011-07-08
Applicant: Ofs Fitel Llc , オーエフエス ファイテル,エルエルシー
Inventor： VITALY MIKHAILOV , WESTBROOK PAUL S
IPC: G01J4/04
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a self-calibration procedure for polarimeter, eliminating the need for input signals to be used as known.SOLUTION: Self-calibration data is taken by moving a polarization controller between several random and unknown states of polarization (SOPs) and recording the detector output values (D, ..., D) for each state of polarization. These values are then used to create an "approximate" calibration matrix. In one exemplary embodiment, the SOP of the incoming signal is adjusted three times (by adjusting a separate polarization controller element, for example), to create a set of four detector output values for each of the four polarization states of the incoming signal - an initial calibration matrix. The first row of this initial calibration matrix is then adjusted to fit the power measurements using a least squares fit. In the third and final step, the remaining elements of the calibration matrix are adjusted to satisfy a given constraint (for example, DOP=100% for all SOPs).
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供旋光仪的自校准程序，消除了对已知输入信号的需要。
解决方案：通过在多个随机和未知极化状态（SOP）之间移动偏振控制器并记录检测器输出值（D
0 ）来进行自校准数据。 ..，D 3 ）。 然后将这些值用于创建“近似”校准矩阵。 在一个示例性实施例中，输入信号的SOP被调整三次（例如通过调整单独的偏振控制器元件），以为输入信号的四个极化状态中的每一个产生一组四个检测器输出值 - 初始校准矩阵。 然后调整该初始校准矩阵的第一行以使用最小二乘拟合拟合功率测量。 在第三和最后一步中，调整校准矩阵的剩余元素以满足给定的约束（例如，对于所有SOP，DOP = 100％）。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT -
公开(公告)号：JP2010122211A
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：JP2009251998
申请日：2009-11-02
Applicant: Hitachi Ltd , 株式会社日立製作所
Inventor： WUNDERLICH JOERG , JUNGWIRTH TOMAS , IRVINE ANDREW , SINOVA JAIRO
CPC classification number: H01L29/66984 , G01J4/04
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spin-polarised charge carrier device. SOLUTION: The device includes a channel 15 for charge carriers composed of a non-ferromagnetic semiconductor material in which charge carriers exhibit spin-orbit coupling, a region 10 of a semiconducting material of a conductive type opposite to the channel, configured so as to form a junction 21 with the channel for injecting spin-polarised charge carriers into an end of the channel and at least one lead 18 1 , 18 2 connected to the channel for measuring a transverse voltage across the channel. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供自旋极化电荷载体装置。 解决方案：该装置包括用于由其中电荷载体表现出自旋轨道耦合的非铁磁半导体材料构成的电荷载流子的通道15，与通道相反的导电类型的半导体材料的区域10 以形成具有用于将自旋极化电荷载流子注入到通道的端部的通道的接点21以及连接到通道的至少一个引线18“SB”，18
2 用于测量通道上的横向电压。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT -
公开(公告)号：JP4249608B2
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：JP2003505578
申请日：2002-06-17
Applicant: ハインズ インスツルメンツ インコーポレイテッド
Inventor： セオドア シー オークバーグ、 , バオリャン ワン、
CPC classification number: G03F7/7085 , G01J4/04 , G01N21/19 , G01N21/23 , G01N21/33 , G03F7/70966
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Patent Agency Ranking146.发明专利High-speed polarization device, high-speed birefringence measuring device using the same and stereoscopic image display device 有权高速偏振装置，使用其的高速双向测量装置和立体图像显示装置
公开(公告)号：JP2008015019A
公开(公告)日：2008-01-24
申请号：JP2006183348
申请日：2006-07-03
Applicant: Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
Inventor： MORITA MASATO
CPC classification number: G01J4/04 , G02B27/26 , G02B27/286 , H04N3/08 , H04N13/0434 , H04N13/0459
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-speed polarization device capable of switching a polarization state at high speed, a polarization measuring device capable of performing measurement work of the polarization state at a high speed, and to provide a display device capable of changing by switching contents of display images at a high speed. SOLUTION: The high-speed polarization device 150 for continuously generating different light of the polarization state comprises a plurality of polarization light radiation units 15, each having a polarizer 13 setting a light source 11 and a polarization direction of light from the light source 11 in a specific direction, respectively; a rotating reflective body 17 for outputting the reflected light in a prescribed direction by receiving emission light from the plurality of the polarization light irradiation units 15 by being rotated; and an analyzer 19 for setting the polarization direction of the reflected light on the way of an optical path of the reflected light from the rotating reflective body 17 in a fixed direction. The polarization light radiation unit 15 comprises a first compensator 27, arranged on a circular arc with the center at the rotating reflective body 17 and compensating for the changes in the polarization state due to the rotating reflective body 17. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
Abstract translation: 解决的问题：为了提供能够高速切换极化状态的高速极化装置，能够高速进行极化状态的测量工作的偏振光测定装置，提供显示装置 能够通过高速切换显示图像的内容来改变。 解决方案：用于连续产生偏振状态的不同光的高速偏振装置150包括多个偏振光照射单元15，每个偏振光辐射单元15具有设置光源11的偏振器13和来自光的光的偏振方向 来源11分别在特定方向; 旋转反射体17，用于通过旋转来接收来自多个偏振光照射单元15的发射光，在规定的方向上输出反射光; 以及分析器19，用于设定来自旋转反射体17的反射光在固定方向上的路径上的反射光的偏振方向。 偏振光辐射单元15包括第一补偿器27，其布置在圆弧上，其中心位于旋转反射体17处，并补偿由于旋转反射体17引起的偏振状态的变化。版权所有：（C ）2008，JPO＆INPIT
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147.发明专利
公开(公告)号：JP2007179003A
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：JP2006283812
申请日：2006-10-18
Applicant: Toshiba Corp , 株式会社東芝
Inventor： NOMURA HIROSHI
IPC: G01J4/04 , G03F1/44 , H01L21/027
CPC classification number: G01J4/04 , G03F1/44 , G03F7/70216 , G03F7/70566 , G03F7/7085
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarization evaluation mask and a polarization evaluation method that allows a user to easily evaluate a polarization state in illumination light in an exposure apparatus by user's own efforts. SOLUTION: Three mark regions are formed within an exposure region to be irradiated with illumination light 1 of an exposure apparatus, wherein a fine aperture pattern 40 and two kinds of optical elements 50, 60 are disposed on a light shielding film 300 in the mark region. The fine aperture pattern 40 includes 16 fine apertures arranged in a square grid of 4(rows)×4(columns) at an interval D of 3.0 mm. The optical element 50 consists of four thin polarizers having orientation angles of transmissive polarized light with a 45° difference from one another. The optical element 60 consists of four quarter-wave plates having orientation angles of fast axes with a 45° difference from one another. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种允许用户通过用户自己的努力容易地评估曝光装置中的照明光的偏振状态的偏振评估掩模和偏振评估方法。 解决方案：在曝光区域内形成三个标记区域，以照射曝光装置的照明光1，其中，微孔图案40和两种光学元件50,60设置在遮光膜300上 标记区域。 细孔图案40包括以3.0mm的间隔D排列成4（行）×4（列）的方格栅格的16个细孔。 光学元件50由具有彼此具有45°差的透射偏振光的取向角的四个薄偏振器组成。 光学元件60由具有彼此具有45°差的快轴的取向角的四个四分之一波片组成。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP2007514164A
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：JP2006543871
申请日：2004-11-29
Applicant: コーニング インコーポレイテッド
Inventor： ダブリュ シャープス，ロバート
IPC: G01N21/23 , G01J4/00 , G01J4/04 , G01N21/958 , G02F1/00
CPC classification number: G01N21/958 , G01J4/04 , G01N21/23
Abstract: 光学材料（例えばガラス板）の複屈折（例えば、応力誘起複屈折、固有複屈折）を測定及び解析することによる光学材料の品質を判定するためのシステム及び方法が説明される。 方法は、複屈折センサが第１の光学状態に設定され、次いで一定の速度でガラス板上を一方向に移動させられ、この間に第１のパワー透過率測定が高データレートでなされる、スキャン手法である。 この移動の終点において、複屈折センサは第２の光学状態に設定され、次いでガラス板上を同じ速度で戻され、この間に第２のパワー透過率測定がなされる。 この手順が、複屈折センサがもつ光学状態の数と同じ回数反復される。 次いで、ガラス板の品質を判定するために、コンピュータがパワー透過率測定値のプロファイルを用いて複屈折値を計算する。
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公开(公告)号：JP2006308550A
公开(公告)日：2006-11-09
申请号：JP2005362047
申请日：2005-12-15
Applicant: Hokkaido Univ , Omron Corp , オムロン株式会社 , 国立大学法人 北海道大学
Inventor： OKABE HIROSHI , MATOBA KENICHI , OKA KAZUHIKO
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To remove effectively a measurement error of a parameter, showing spectropolarization characteristics of a sample which are generated through variously varying, depending on the state of the sample in retardation of a retarder, in a channeled spectroscopic polarimetry. SOLUTION: With focus on the retardation of the retarder being kept constant by stabilization of the incident direction of a light that passes through the retarder, the retarder is arranged on the light source side with respect to the sample; and the influence of the variations or the like of the beam direction due to the sample related to the measurement error is removed effectively. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：为了有效地去除参数的测量误差，显示通过不同变化产生的取决于延迟器的延迟中的样品的状态的通道分光偏振测定中的分光偏振特性。 解决方案：通过稳定通过延迟器的光的入射方向，将焦距延迟器的延迟保持恒定，延迟器相对于样品布置在光源侧; 并且有效地去除了与测量误差有关的样本的波束方向的变化等的影响。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT
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