公开(公告)号：KR1020070059822A

公开(公告)日：2007-06-12

申请号：KR1020060027202

申请日：2006-03-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박강호 ,  김은경 ,  이성규

IPC: H01L21/66

Abstract: An optical probe using constructive interference of incident light, an optical data storage having the same, and a method for fabricating the same are provided to maximize transmittance of an aperture through the constructive interference. An aperture oxide layer(130) is formed in a bent shape by using an effect of bird's beak to reduce an optical loss region. A metallic thin film(150) is formed on the aperture oxide layer, and has a scattered structure for scattering incident light. An optical probe is adapted so that light transmittance is increased by the scattered structure. The scatter structure is adapted so that the incident light is constructive-interfered with the scatter light.

Abstract translation: 提供了使用入射光的结构性干涉的光学探针，具有该光学数据存储器的光学数据存储器及其制造方法，以通过相长的干涉来最大化孔径的透射率。 通过利用鸟喙的作用将孔径氧化物层（130）形成为弯曲形状，以减少光学损耗区域。 在孔径氧化层上形成金属薄膜（150），并具有用于散射入射光的散射结构。 光探针适于通过散射结构增加透光率。 散射结构适于使得入射光被建设性地干扰散射光。

公开(公告)号：KR1020060065466A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：KR1020050063721

申请日：2005-07-14

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이성규 ,  박강호 ,  김은경

IPC: G01N13/16

CPC classification number: G01N1/2806 ,  G01N29/245 ,  G01Q60/363

Abstract: 본 발명은 구동 헤드 및 그를 구비하는 개인용 원자현미경에 관한 것으로, 휨 감지부가 구비되며 탐침을 이동시키는 캔티레버, 캔티레버를 상,하로 이동시키는 구동 헤드 및 시료를 x 축 및 y 축 방향으로 이동시키는 스캐너를 포함한다. 캔티레버는 휨 감지부를 구비하는 간단한 구조로 이루어지고, 구동 헤드 및 스캐너는 양방향 변위가 가능하고 유연 힌지의 탄성에 의해 큰 변위폭을 갖는다. 본 발명의 개인용 원자현미경은 높은 선형성을 갖기 때문에 히스테리시스나 크립 현상이 거의 발생되지 않는다. 그러므로 보정을 위한 별도의 센서 시스템이 필요하지 않으며, 한번의 초기 보정을 통해 원하는 이미지를 얻을 수 있다.
원자현미경, 캔티레버, 구동 헤드, 유연 힌지, 스캐너

公开(公告)号：KR1020060064495A

公开(公告)日：2006-06-13

申请号：KR1020050074439

申请日：2005-08-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정우석 ,  유용구 ,  이성규 ,  류호준 ,  백문철 ,  김은경 ,  박강호

IPC: G11B23/00 ,  G11B19/20 ,  G11B17/022 ,  G11B17/02 ,  G11B11/105

CPC classification number: G11B23/0035 ,  G11B11/105 ,  G11B17/021 ,  G11B17/022 ,  G11B19/2045

Abstract: 정보저장용 초소형 광/자기 디스크를 제공한다. 본 발명은 일체형 금속 허브 및 디스크 원판을 포함한다. 상기 일체형 금속 허브는 원판 형태의 상판 금속 허브와, 상기 상판 금속 허브의 아래에 일체형으로 결합되고 상기 상판 금속 허브보다 직경이 작은 원판 형태로 구성된 하판 금속 허브와, 상기 상판 금속 허브와 하판 금속 허브의 중앙 부분에 상기 상판 금속 허브와 하판 금속 허브를 관통하는 중심홀을 갖는다. 상기 디스크 원판은 상기 중심홀에 대응되는 중앙 부분에 상기 일체형 금속 허브가 직접 결합되는 관통홀과, 상기 관통홀의 주위에 상측으로 상기 상판 금속 허브가 안착할 수 있는 리세스부를 갖는다. 이에 따라, 본 발명의 초소형 광/자기 디스크는 중심부의 두께가 두껍지 않아 초소형 정보 저장기의 초박형화에도 유리하고, 제조 공정도 단순하여 가격 및 품질 경쟁력을 높일 수 있다.

公开(公告)号：KR100499029B1

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020020064662

申请日：2002-10-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송기봉 ,  김은경 ,  이성규 ,  박강호 ,  김준호

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/1387 ,  G01Q60/22 ,  G01Q80/00 ,  G11B7/22 ,  H01L21/30608 ,  H01L21/31116

Abstract: 본 발명은 광 정보 저장장치의 헤드에 적용 가능한 캔티레버형 근접장 탐침 구조 및 그 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명은 윗부분과 아랫부분에 유전체 박막이 마스크 층으로 형성되고 위쪽 마스크 층에 유전체 원형 박막이 형성되어 홀더(Holder) 역할을 하는 실리콘 기판에 산화막을 형성하고, 이때 상기 유전체 원형 박막에 의해 발생하는 산화막의 성장률 차이에 기인하는 새부리(bird's beak) 효과에 의해 탐침의 끝부분이 포물선 구조가 되는 초기 탐침을 형성한 후, 이 초기 탐침에서 상기 유전체 원형 박막을 제거한 다음 실리콘 기판의 바닥면을 제거하여 고투과율을 가지는 근접장 에퍼처가 형성된 탐침을 완성하도록 되어 있으며,
이에 따라서, 차세대 고밀도 광 정보 저장장치의 헤드에 적용하면 광 손실 영역을 최대한 짧게 할 수 있으며, 광 정보의 기록 및 재생에 필요한 탐침의 광 투과율을 기존의 광섬유 탐침의 투과율보다 수천 배 이상 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

公开(公告)号：KR1020050065902A

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：KR1020030097064

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김준호 ,  박강호 ,  송기봉 ,  김은경 ,  이성규

IPC: G03F7/00 ,  B82B3/00 ,  B82B1/00

CPC classification number: C25D11/022 ,  G01Q80/00

Abstract: 본 발명은 화학(chemistry)에서의 분자전자(molecular electronics) 분야, 생물학(biology)에서의 분자역학(molecular dynamics) 분야에서 연구되고 있는 나노(nano) 스케일의 포어(pore) 형성 방법에 관한 것으로, 원자현미경(AFM)을 이용한 아노딕 나노 산화(anodic nano-oxidation) 방법으로 마스크 박막에 선택적으로 산화 패턴을 형성한 후 산화 패턴을 선택적으로 식각하여 나노 스케일의 포어를 형성한다. 본 발명을 이용하면 간단한 공정으로 용이하게 나노 포어 어레이를 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR100441894B1

公开(公告)日：2004-07-27

申请号：KR1020020004628

申请日：2002-01-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박강호 ,  송기봉 ,  이성규 ,  김정용

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/122 ,  G11B7/0937 ,  G11B7/124 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/14

Abstract: 근접장 광기록(Near Field Recording : NFR) 방식의 고밀도 광 정보 기록/재생을 위한 마이크로 집적 탐침형(probe type) 헤드 및 이를 이용한 광기록 장치를 개시한다. 본 발명은 실리콘 공정을 이용한 수십 nm 크기의 개구(aperture)가 형성된 탐침에 광도파로(wave guide)와 마이크로 렌즈 및 거울을 통한 광 집속 그리고 반사된 광의 검출을 통한 정보의 기록/재생이 가능한 헤드의 개념을 도입한다. 이러한 헤드를 디스크 구동 구조에서 구동함으로써 현재의 ODD(Optical Disc Drive) 또는 HDD(Hard Disc Drive)의 트래킹 기술이 사용 가능한 형태로 기록 크기 50 ~ 100 nm의 고밀도 및 고속의 근접장 광 정보 기록/재생이 가능하다.

Abstract translation: 提供了一种微集成探针型头和使用其的光记录系统，用于以近场记录（NFR）方式记录/读出高密度光信息。 提供的微集成探头型头和使用其的光记录系统使用通过波导，微透镜和微镜将光束聚焦到探头来记录/再现信息的头的概念，以及 通过检测反射光束。 在这种情况下，通过硅工艺形成探针以具有数十纳米大小的孔径。 通过在磁盘驱动结构中驱动磁头，以可能使用光盘驱动器的传统跟踪技术的方式高速记录/再现具有50至100nm记录尺寸的高密度近场光信息 （ODD）或硬盘驱动器（HDD）。

公开(公告)号：KR100399052B1

公开(公告)日：2003-09-26

申请号：KR1020000080893

申请日：2000-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박강호 ,  김정용

IPC: G11B9/12

CPC classification number: G11B9/14 ,  B82Y10/00 ,  G11B7/0937 ,  G11B7/12 ,  G11B7/1387 ,  G11B9/1409 ,  G11B11/007 ,  G11B2005/0021

Abstract: In the apparatus for recording and reproducing high-density information using a multi-functional probe, media is locally heated not only by near-field optics come out of an aperture and but also by current induced from an end of an conducting cantilever, to record information and thereby increase a recording speed. The apparatus and method for recording and reproducing the high-density information using the multi-functional probe includes a conducting cantilever, in which a cantilever stage and a near-field optical aperture probe are formed in one body, the media is locally heated not only by the near-field optics from a near-field optical aperture probe but also by the current induced from the probe to the media or induced from the probe itself, and then the information is recorded; and an optical detector for reproducing the recorded information with a reflectivity of light come out of the near-field optical aperture probe or a transmission onto the media.

Abstract translation: 在使用多功能探针记录和再现高密度信息的设备中，介质不仅通过近场光学器件从孔径出来并且还通过从导体悬臂的末端引起的电流被局部加热，以记录 信息并由此提高记录速度。 使用多功能探头记录和再现高密度信息的设备和方法包括导电悬臂，其中悬臂台和近场光学孔径探测器形成为一体，介质不仅被局部加热 通过来自近场光学孔径探测器的近场光学器件，还可以通过由探测器感应到介质或由探测器本身诱发的电流，然后记录信息; 以及光学检测器，用于利用从近场光学孔径探测器出射的光的反射率或在介质上的透射来再现记录的信息。

公开(公告)号：KR1020030064140A

公开(公告)日：2003-07-31

申请号：KR1020020004628

申请日：2002-01-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박강호 ,  송기봉 ,  이성규 ,  김정용

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/122 ,  G11B7/0937 ,  G11B7/124 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/14

Abstract: PURPOSE: A micro integrated near-field optical recording head and an optical recording system using the near-field recording head are provided to improve the structure of an aperture probe and an optical construction required for inspecting/detecting lights. CONSTITUTION: A micro integrated near-field optical recording head includes a micro optical unit, a cantilever(120), an aperture probe(110), and a gap controller. The micro optical unit has a light guide, a micro-lens(130) and a micro-mirror(140). The cantilever is placed under the micro optical unit. The aperture probe is formed under the cantilever. The gap controller maintains a uniform gap between the aperture probe and media so that a beam inputted through the micro optical unit passes through the aperture probe to become near-field beam having resolution of less than 10nm to record information on the media.

Abstract translation: 目的：提供微型集成近场光学记录头和使用近场记录头的光学记录系统，以改善孔径探针的结构和检查/检测光所需的光学结构。 构成：微集成近场光记录头包括微光学单元，悬臂（120），孔径探针（110）和间隙控制器。 微型光学单元具有导光体，微透镜（130）和微反射镜（140）。 将悬臂放置在微型光学单元下方。 孔径探针形成在悬臂下。 间隙控制器在孔径探针和介质之间保持均匀的间隙，使得通过微光学单元输入的光束通过孔径探针，成为具有小于10nm的分辨率的近场光束，以在介质上记录信息。

公开(公告)号：KR1020030044141A

公开(公告)日：2003-06-09

申请号：KR1020010074731

申请日：2001-11-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 송기봉 ,  김정용 ,  박강호

IPC: G11B11/26

CPC classification number: G11B7/1387 ,  B82Y10/00 ,  B82Y20/00 ,  G11B7/22 ,  Y10S29/016 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49165

Abstract: PURPOSE: An optical information recording/reproducing head and a method for fabricating the head are provided to effectively excite near field to an aperture of the end of a probe to improve throughput of the optical information recording/reproducing head. CONSTITUTION: An optical information recording/reproducing head includes a silicon substrate(21) used as a holder, a silicon layer(23), and a metal thin film(27). One end of the silicon layer is fixed to the silicon substrate. A plurality of apertures(25) are formed in the silicon layer. The metal thin film is formed on the silicon layer under the apertures and has a probe shape. The apertures are filled with a nonlinear material(28). The nonlinear material includes As2S3. The metal thin film is made out of aluminum.

Abstract translation: 目的：提供一种光学信息记录/再现头和用于制造头部的方法，以有效地激发靠近探针端部的孔径的场，以提高光学信息记录/再现头的生产能力。 构成：光信息记录/再现头包括用作保持器的硅衬底（21），硅层（23）和金属薄膜（27）。 硅层的一端固定在硅衬底上。 在硅层中形成多个孔（25）。 金属薄膜形成在孔下方的硅层上并具有探针形状。 孔被非线性材料（28）填充。 非线性材料包括As2S3。 金属薄膜由铝制成。

公开(公告)号：KR100365727B1

公开(公告)日：2002-12-26

申请号：KR1019990056218

申请日：1999-12-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 하정숙 ,  박강호

IPC: G03F1/68 ,  G03F1/00 ,  B82B3/00

Abstract: 본발명은종래리쏘그래피공정의제약을극복할수 있는탄소나노튜브를이용한나노세선형성방법에관한것으로, 탄소나노튜브를이온빔에대한마스크로이용하여수 ㎚내지수십㎚의선폭을갖는금속세선을제조한다. 예로서, 실리콘산화막위에 Ti막및 Au막을균일하게증착하고, Au 금속층위에탄소나노튜브를분산시킨후 Ar이온을표면에수직하게충돌시켜탄소나노튜브로덮이지않은금속층은식각하고, 표면에는탄소나노튜브로덮인금속세선만을잔류시킨다음, 원자력현미경을이용하여금속나노세선을덮고있는탄소나노튜브를제거함으로써금속나노세선을형성하는방법을제공한다. 탄소나노튜브는직경이수 ㎚내지수십㎚ 정도이므로, 이때형성된금속세선의폭은탄소나노튜브의폭에따라수 ㎚내지수십㎚ 정도가된다.