Abstract:
본 발명은 콘덴서형 음향 센서에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 음향 센서는, 기판의 상부가 식각되어 형성된 음향 챔버; 상기 기판 상에 형성되며 상기 음향 챔버가 노출되도록 중앙 영역이 식각된 절연막; 상기 절연막 상에 형성된 진동판; 상기 절연막 상에서 상기 진동판을 지지하는 자가 유지 지지대; 및 상기 진동판 상에 형성된 고정 전극을 포함한다. 상술한 바와 같은 본 발명에 따르면 지지대 및 진동판의 좌우 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하여 음압 응답 특성을 향상시킬 수 있고, 기판의 후면 공정을 생략할 수 있어 공정이 간단해지고 수율이 향상되는 이점이 있다. 음향 센서, 자가 유지 지지대
Abstract:
본 발명은 음원 발생장치와 음장변화 측정장치로부터 얻은 음향신호사이의 상관관계를 통하여 일정공간의 음장을 측정하고, 초기 설정된 음장과 변화된 음장의 차이를 이용해서 일정 공간에서의 침입 물체의 유무를 판단하는 보안 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 보안 시스템은 음원을 발생하는 음원 발생장치, 음원에 의해 형성된 음장을 측정하는 음장변화 측정장치를 포함하고, 초기 설정된 음장과 측정한 음장을 비교하여 침입발생여부를 감지한다. 음장, 보안, 감시
Abstract:
본 발명에 따른 강제 음향 쌍극자는, 제1, 2 음원에 각각 입력되는 입력 신호의 위상과 음압을 조절하여 음향 로브 방향을 자유롭게 조향할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 강제 음향 쌍극자를 다수개 배열하여 강제 음향 다중 극자 어레이를 구성하고, 각 강제 음향 쌍극자의 제1, 2 음원에 각각 입력되는 입력 신호의 위상과 음압을 조절하여 음향 로브 방향을 특정 방향으로 조향하면, 타인에게 청각적 방해를 주지 않으면서 원하는 범위에서만 음향을 들을 수 있다. 강제 음향 다중 극자, 강제 음향 쌍극자, Forced Acoustic Multipole, FAM
Abstract:
본 발명은 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System) 마이크로폰 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 상부 공정만을 통해 멤스 마이크로폰을 제작함으로써, 기판의 상하부 공정을 모두 이용하던 종래에 비하여 제조 공정을 단순화할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따르면 간단하고 용이한 제조 공정에 의해 제조 공정에서 발생되는 불량을 최소화하여 제조수율을 증대시킬 수 있으며, 멤스 마이크로폰의 내구성을 높여 외부환경에 대한 시스템의 안정성을 높일 수 있다. 멤스 마이크로폰, 후방음향챔버, 후방음향챔버 벤트홀, 하부전극
Abstract:
PURPOSE: An acoustic sensor and manufacturing method thereof are provided to remove a process of processing the rear surface of a substrate, thereby simplifying manufacturing processes. CONSTITUTION: An acoustic sensor comprises a substrate(200), an acoustic chamber(202), an insulation film(210), an acoustic chamber open pattern(212), a vibration plate(220), a self maintaining support stand(225), a fixing electrode(230), an etching window(234), and an etching hole(235). The insulation film is formed on the substrate. The vibration plate supported by the self maintaining support stand is formed on the insulation film. The self maintaining support stand suppresses the horizontal movement of the vibration plate and the self maintaining support stand. The vibration plate is integrated with the self maintaining support stand. A conductive layer included in the vibration plate forms a pair of upper/lower electrodes with the fixing electrode. The fixing electrode has a shape which surrounds the vibration plate.
Abstract:
PURPOSE: A polymer actuator with graphene and a manufacturing method thereof are provided to prevent backward movement of ions, thereby increasing the actuating power of the polymer actuator. CONSTITUTION: A polymer actuator comprises an ion conductive polymer film(10), a metal electrode(20), and graphene. A metal electrode is formed on both sides of the ion conductive polymer film. Graphene is dispersed in the ion conductive polymer film. The metal electrode includes platinum or gold and the thickness range of 5 to 10 micro meters. Graphene is dispersed within the ion conductive polymer film.
Abstract:
PURPOSE: An acoustic multi-pole array and a packaging and controlling method of thereof are provided to freely change the direction of outputting sound by controlling the phase and pressure of sound source. CONSTITUTION: A first sound element(P1) is packed to have dipole sound characteristics. A second sound element(P2) is packed to have monopolar sound characteristics. The first and second elements are comprised of a voice coil speaker, a piezoelectric speaker, and an ultrasonic wave transducer. The first and second sound element are arranged in parallel with each other to form an acoustic multi-pole array(300a).
Abstract:
PURPOSE: A MEMS microphone and a manufacturing method thereof are provided to enhance the stability of a system about the external environment by enhancing the durability of the MEMS microphone. CONSTITUTION: A rear sound chamber(210a) is formed inside a substrate(210). A bottom electrode(230) is formed on the top of substrate. The bottom electrode comprises a first and a second rear sound chamber vent hole(240b) for forming the rear sound chamber. A vibration plate(270) is formed by leaving the bottom electrode and predetermined vacuum space in interval. The vibration plate comprises a side hole(270b) for removing a sacrificial layer for forming the vacuum space. The rear sound chamber has the cross section of the well shape. A bottom insulating layer(220) is formed between the bottom electrode and substrate.