多角度测量物体偏振特性的装置及该装置实现多角度物体偏振特性的测量方法

    公开(公告)号:CN103196561B

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201310110940.1

    申请日:2013-04-01

    Abstract: 多角度测量物体偏振特性的装置及该装置实现多角度物体偏振特性的测量方法,属于红外技术领域、空间遥感领域和图像处理领域;本发明的目的是为了解决现有测量物体偏振特性的装置测量方向单一的问题,通过计算机控制步进电机控制器来带动电控旋转台旋转,从而带动偏振热像仪作圆周运动,在偏振热像仪作圆周运动的过程中,计算机连续采集偏振热像仪测量获得测试样品辐射在三个偏振方向上的强度信息,计算机对每次获得测试样品辐射在三个偏振方向上的强度信息进行数据处理,得到测试样品的斯托克斯矢量、线偏振度和偏振方向角等信息;本发明主要用途是识别目标的判断观测目标的姿态。

    一种空间频率调制的静态全偏振成像探测系统及方法

    公开(公告)号:CN104535188A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410853809.9

    申请日:2014-12-31

    Abstract: 本发明一种空间频率调制的静态全偏振成像探测方法,包括如下步骤,(1)对来自目标不同位置的入射光进行准直扩束;(2)将准直扩束后的入射光在空间频率上对其进行空间调制,把入射光Stokes矢量的四个分量调制到不同的空间频率上,使其在空间频率上相互分离;(3)将调制后的入射光成像并发生干涉,形成干涉条纹调制的图像;(4)将获取的图像进行滤波和傅里叶变换,最终实现同时获取目标的二维空间图像和包括四个Stokes矢量的全部偏振信息,完成对目标的成像探测。本发明所述系统,包括与目标光源同轴依次布置的前置光学系统,偏振调制系统,像镜和信号面阵探测器,以及与信号面阵探测器相连接的数据采集处理系统。

    光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法

    公开(公告)号:CN104296874A

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201410341209.4

    申请日:2014-07-17

    Inventor: 木村淳治

    Abstract: 一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法,能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向,在方向精度方面,能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W),在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时,在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位,旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向,求出偏振轴的偏离量,通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整,以消除偏离量。

    一种光束在聚焦点处的偏振态空间分布测量方法及装置

    公开(公告)号:CN104236715A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410494537.8

    申请日:2014-09-24

    Inventor: 张运海 杨皓旻

    Abstract: 本案公开了一种光束在聚焦点处的偏振态空间分布测量方法,包括:1)将入射光束通过扫描振镜反射到物镜,然后透过物镜会聚至物镜焦点处;2)将标准检测样品放置在物镜的焦平面上,让通过物镜会聚的光照射在标准检测样品上,标准检测样品上设置有长轴沿x,y和z三维方向放置的三个金纳米棒;其中,扫描振镜通过移动改变入射光束的反射路径,使得反射光遍历标准检测样品的所有位置;3)标准检测样品反向散射回的光线穿回所述物镜,再由光探测器接收,以形成标准检测样品的光学图像,所述光学图像分别代表焦点处光束在x、y、z三个方向的偏振态分量,由所述三个分量的相对强度分布确定物镜的聚焦点处的偏振态空间分布。

    同步偏振调制干涉成像光谱偏振探测装置及方法

    公开(公告)号:CN103063303B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210563403.8

    申请日:2012-12-21

    Abstract: 本发明公开了一种同步偏振调制干涉成像光谱偏振探测装置及方法,该装置包括在同一光轴顺次放置的前置偏振成像系统、像面干涉成像光谱仪和信号处理系统。入射光通过偏振元件阵列,形成携带四组不同偏振态信息的光束,并在微透镜阵列后焦面的空间上分开;分开的各点光线经过准直物镜后射入到横向剪切分束器,被横向一分为二,引入光程差信息;两支出射光经过后置成像物镜,在探测器靶面上得到携带有干涉信息和偏振态信息的目标图像,并转化为电信号进入信号处理系统,进行傅里叶变换,得到目标各点的二维空间光强信息、光谱信息和全Stokes偏振信息。具有高光谱分辨率,高信噪比,全Stokes偏振信息同时探测的优点,可以用于窄带或宽带光谱探测。

    一种二维琼斯矩阵参量的全息测量方法及实施装置

    公开(公告)号:CN104198040A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410494927.5

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 本发明公开了一种二维琼斯矩阵参量的全息测量方法及实施装置,对两束互不相干的激光进行衍射分光,将分光后的两束零级衍射光转变成振动方向正交的线偏振光照射到偏振敏感样品上,透过样品后成为包含样品偏振信息的物光波;同时对两光源的一级衍射光进行滤波,各自保留两束一级衍射光并将其分别转变成振动方向与零级衍射光偏振方向成+45度和-45度的线偏振光,这四束线偏振光作为参考光与物光波干涉,形成包含物光波的振幅、相位和偏振信息的四通道琼斯矩阵全息图,进行数据处理得到偏振敏感样品二维琼斯矩阵全部四个矩阵元的复振幅分布。本发明测量效率高,只需要一步测量就能提取出待测样品琼斯矩阵全部四个参数的复振幅空间分布。

    针对目标红外自发辐射偏振特性进行仿真的方法

    公开(公告)号:CN104165697A

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201410441396.3

    申请日:2014-09-01

    Abstract: 本发明公开了一种针对目标红外自发辐射偏振特性进行仿真的方法,其实现步骤为:(1)获取目标材料数据;(2)计算发射率;(3)偏振态相干化;(4)定量表征偏振特性;(5)获取对比目标偏振度;(6)识别目标。本发明通过计算目标材料的发射率获得目标的偏振度,克服了基于红外图像的红外辐射偏振特性仿真方法没有对物体自发辐射的偏振特性进行本质描述和依赖偏振数据库的不足,提高了目标偏振特性计算的准确度,并能够辅助红外偏振技术实现偏振数据库之外的目标识别。

    用于高数值孔径光刻系统的偏振监视调制盘设计

    公开(公告)号:CN102326059B

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201080008167.2

    申请日:2010-02-19

    CPC classification number: G06F17/50 G01J4/04 G03F1/44 G03F7/70466 G03F7/70566

    Abstract: 本发明涉及诸如晶片的半导体基板的制造,并涉及用于监视在使用用于高数值孔径光刻扫描装置的特别设计的偏振监视调制盘进行投影印刷时入射在光掩模上的偏振的状态的方法。调制盘跨过狭缝测量25个位置并被设计用于大于0.85的数值孔径。监视器提供大的偏振依赖性信号,该信号对偏振更敏感。还提供使用两个调制盘的双曝光方法,其中第一调制盘(44)包含偏振监视器(22,24)、透光区基准区域(42)和低剂量对准标记(40)。第二调制盘(46)包含标准对准标记(38)和标签。对于单曝光方法,使用三PSF低剂量对准标记(40)。调制盘还提供电磁偏置,其中依赖于边缘的蚀刻深度而使每个边缘偏置。

    一种线偏振光偏振矢量方位的测量方法及其装置

    公开(公告)号:CN102589703B

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201210023242.3

    申请日:2012-02-02

    Abstract: 本发明提供一种线偏振光偏振矢量方位的测量方法及其装置,其测量装置包括偏振器件、基准棱镜、自准直经纬仪、带动偏振器件水平转动的一维转台和沿透光轴依次设置于偏振器件出射光路上的聚光镜和光电探测器,采用电控系统指示偏振器件是否转动到消光位置;偏振器件是由三块材料参数完全相同的方解石晶体胶合而成的一体件,其中,位于中间的方解石晶体记为A,位于两侧的方解石晶体分别记为B、C;则A具有上、下通光面,B、C均为楔形且B具有下通光面、C具有上通光面;B、C分别与A形成的斜向胶合面相互平行。本发明的测量装置的检测精度可以控制在10″以内;同时具有原理简单、操作方便等优点。

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