公开(公告)号：TWM464652U

公开(公告)日：2013-11-01

申请号：TW102208493

申请日：2013-05-07

Applicant: 鴻林堂科技股份有限公司

Inventor： 吳振聲 ,  WU, CHEN SHENG ,  郭俊賢 ,  KUO, CHUN HSIEN ,  李冠林 ,  LEE, KUAN LIN

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6447 ,  G01N21/645 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/08 ,  G02B6/003

公开(公告)号：WO2019147730A1

公开(公告)日：2019-08-01

申请号：PCT/US2019/014835

申请日：2019-01-23

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： BITTNER, Evan James ,  BROCKWAY, David John ,  CECALA, Christine ,  DECKER, Heather Bossard ,  HART, Shandon Dee ,  NULL, Eric Louis

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/93 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/958 ,  G01N21/8803 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/892 ,  G01N21/93 ,  G01N2021/8854 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/127

Abstract: An inspection apparatus including a light source, a sample holding stage, an image capture device, positioned to receive light from the light source after the light has interacted with a sample on the sample holding stage, and a damage metric. The damage metric includes two or more damage levels, and is a function of light in a test image. Further, the damage metric may correlate to visual observation so that an inspection apparatus may mimic how users of devices will perceive damage to the devices. The damage metric may be adjusted to account for different damage types, for example, abrasion and scratch damage.

公开(公告)号：WO2015189286A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/EP2015/062965

申请日：2015-06-10

Applicant: CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES ,  THARSYS ENERGY ,  UNIVERSITE PAUL SABATIER-TOULOUSE III ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： SACCOCCIO, Muriel ,  DROMART, Gilles ,  MAURICE, Sylvestre

IPC: G01N21/65 ,  G01J3/443 ,  G01N33/24 ,  G01N21/71 ,  G01N1/04

CPC classification number: G01N21/718 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N33/24 ,  G01N2201/02

Abstract: Un dispositif d'analyse spectroscopique de carottes de forage (C), notamment de carottes de forage d'exploration pétrolière, minière ou scientifique mettant en œuvre une méthode d'analyse spectroscopique induite par ablation laser (LIBS), comprend un ensemble de mesure (6), avec des moyens optiques d'illumination laser, reliés à une source laser (63), configurés pour diriger au moins un faisceau laser apte à générer en un point de la carotte le plasma requis pour l'utilisation de la méthode LIBS, des moyens optiques de collecte de la lumière du plasma. Une caméra d'imagerie permet de photographier précisément la zone d'analyse et de filmer l'analyse (65). Au moins un spectromètre (93) est relié aux moyens optiques de collecte. Des moyens de traitement de données sont prévus pour traiter les signaux fournis par le(s) spectromètre(s) et les images fournies par la caméra. Un support de carotte (7) supporte la carotte sur une table de mesure, et pour maintenir la carotte dans une position prédéterminée. Des moyens (61, 62) permettent d'opérer un déplacement relatif entre l'ensemble de mesure (6) et le support de carotte (7), selon au moins la direction axiale (A1) de la carotte, et pour positionner le faisceau laser, respectivement l'axe optique des moyens optiques de collecte, en des points prédéterminés de la carotte. Des moyens de réglage (511) facilitent le réglage de la distance entre le support de carotte et l'ensemble de mesure.

Abstract translation: 用于钻芯（C）的光谱分析装置，特别是用于石油，采矿或科学勘探的钻芯，实施由激光烧蚀（LIBS）诱导的光谱分析方法，包括测量组件（6），其具有光学激光照射装置 ，其被配置为引导至少一个激光束，所述至少一个激光束适于在所述芯上的点处产生为了使用所述LIBS方法所需的等离子体;以及光学收集装置，用于收集来自所述激光源 等离子体。 成像照相机可以精确地拍摄分析区域并拍摄分析（65）。 至少一个光谱仪（93）连接到光学收集装置。 提供数据处理装置来处理由光谱仪提供的信号和由相机提供的图像。 核心支撑（7）支撑测量台上的核心，并将核心保持在预定义的位置。 装置（61,62）能够在至少芯部的轴向（A1）上实现测量组件（6）和芯支撑件（7）之间的相对移动，并且定位激光束，并且 分别在芯上的预定点处的光学收集装置的光轴。 调节装置（511）有助于调节芯支撑件和测量组件之间的距离。

公开(公告)号：WO2015100350A1

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：PCT/US2014/072211

申请日：2014-12-23

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： BOBROV, Yakov

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01B11/24 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/06113 ,  H01L22/12

Abstract: A system for inspecting a backside surface of a wafer with multi-channel focus control includes a set of inspection sub-systems including a first inspection sub-system positioned and an additional inspection sub-system. The first and additional inspection sub-systems include an optical assembly, an actuation assembly, where the optical assembly is disposed on the actuation assembly, and a positional sensor configured to sense a position characteristic between a portion of the optical assembly and the backside surface of the wafer. The system also includes a controller configured to acquire one or more wafer profile maps of the backside surface of the wafer and adjust a first focus position of the first inspection sub-system or an additional focus position of the additional inspection sub-system based on the received one or more wafer profile maps.

Abstract translation: 用于通过多通道聚焦控制来检查晶片的背面的系统包括一组检查子系统，包括定位的第一检查子系统和附加的检查子系统。 第一和附加检查子系统包括光学组件，致动组件，其中光学组件设置在致动组件上，以及位置传感器，其被配置为感测光学组件的一部分与背面侧面之间的位置特性 晶圆。 该系统还包括控制器，该控制器被配置为获取晶片的背面的一个或多个晶片轮廓图，并且基于所述第一检测子系统的第一焦点位置或附加检查子系统的附加焦点位置 接收到一个或多个晶片轮廓图。

公开(公告)号：WO2015079199A1

公开(公告)日：2015-06-04

申请号：PCT/GB2014/000489

申请日：2014-11-27

Applicant: EM&I (MARITIME) LIMITED ,  CONSTANTINIS, Danny

Inventor： CONSTANTINIS, Danny

IPC: B63B9/00 ,  F16L41/04 ,  G01M3/00

CPC classification number: B60B9/00 ,  B63B9/00 ,  B63B2013/005 ,  B63B2043/006 ,  F16L41/04 ,  F16L41/16 ,  G01N21/954 ,  G01N2201/02

Abstract: A threaded connection body (20) is welded to the outer surface of the wall (10) of a pipe, seachest or other flooded cavity (4) within the hull of a ship or floating offshore installation. A sealed cutting apparatus (50) is mounted via a valve unit (30) on the connection body and a cutter extended through the open valve (34) to form an opening (18) in the wall (10). After retracting the cutter and closing the valve (34), the cutting apparatus is replaced by a sealed inspection unit (70) having a camera (71) which is extended through the valve and the opening to inspect the cavity (4). After retracting the camera and closing the valve, the inspection unit is replaced by a plug deployment unit (100) which is used to advance a plug (120) through the open valve and screw it into the connection body (20). The valve unit (30) can then be removed and replaced with a cap (90) so that the plug and the cap provide a double seal to the connection body.

Abstract translation: 螺纹连接主体（20）焊接到船舶或浮动海上设施的船体内的管，塞子或其他淹没空腔（4）的壁（10）的外表面。 密封切割装置（50）经由阀单元（30）安装在连接主体上，并且切割器通过打开的阀（34）延伸以在壁（10）中形成开口（18）。 在缩回切割器并关闭阀（34）之后，切割装置被具有照相机（71）的密封检查单元（70）代替，照相机（71）延伸穿过阀门和开口以检查空腔（4）。 在收回照相机并关闭阀门之后，检查单元由插头部署单元（100）代替，插头部署单元（100）用于使插头（120）通过打开的阀推进并将其拧入连接体（20）。 然后可以将阀单元（30）移除并用盖（90）替换，使得插头和盖为连接体提供双重密封。

公开(公告)号：WO2015006598A1

公开(公告)日：2015-01-15

申请号：PCT/US2014/046213

申请日：2014-07-10

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： GOLOVANEVSKY, Boris

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2201/02 ,  H01L21/68764 ,  Y10T29/49

Abstract: Metrology tool stage configurations and respective methods are provided, which comprise a pivoted connection arranged to receive a wafer and enable rotation thereof about a pivot; a radial axis arranged to move radially the rotatable pivot connection attached thereto; and optics having a stationary part configured to generate a collimated illumination beam. For example, the optics may be stationary and the radial axis may be centrally rotated to enable stage operation without requiring additional space for guiding systems. In another example, a part of the optics may be rotatable, when configured to receive illumination via a mechanical decoupled or empty region, receive power and control wirelessly and deliver data wirelessly. The disclosed configurations provide more compact and more robust stages which efficiently handle large wafers. Stage configurations may be horizontal or vertical, the latter further minimizing the tool's footprint.

Abstract translation: 提供了计量工具台结构和各自的方法，其包括布置成接收晶片并使其绕枢轴旋转的枢转连接; 径向轴线，其布置成径向地移动连接到其上的可旋转枢轴连接; 以及具有被配置为产生准直照明光束的固定部分的光学器件。 例如，光学器件可以是静止的，并且径向轴线可以被中心旋转以使得能够进行平台操作，而不需要用于引导系统的额外空间。 在另一示例中，当被配置为经由机械解耦或空区域接收照明时，光学部件的一部分可以是可旋转的，可以无线地接收功率和控制并且传送数据。 所公开的配置提供了更有效地处理大晶片的更紧凑和更坚固的阶段。 舞台配置可以是水平或垂直的，后者进一步最小化工具的占地面积。

公开(公告)号：WO2014056992A1

公开(公告)日：2014-04-17

申请号：PCT/EP2013/071077

申请日：2013-10-09

Applicant: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH

Inventor： HILBERT, Wiebke ,  LIPPERT, Helmut

IPC: G02B21/36 ,  G02B21/06 ,  G02B21/24 ,  G02B21/00 ,  G06T7/00

CPC classification number: G02B21/06 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/6486 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/06113 ,  G02B21/002 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/16 ,  G02B21/244 ,  G02B21/361 ,  G02B21/367

Abstract: Verfahren und Mikroskop zur SPIM Mikroskopie, wobei in einem ersten Schritt anhand einer zu untersuchenden Probe eine Kalibrierung erfolgt indem in unterschiedlichen Probenebenen die tatsächliche Lage des Lichblattes in Anhängigkeit von der Lage in der Probe erfasst und abgespeichert wird, und die abgespeicherte Lage des Lichtblattes in einem zweiten Schritt bei der Betrachtung und/oder Detektion des Probe anhand der im ersten Schritt abgespeicherten Werte zur Korrektur der Lage des Lichtblattes zur Fokusebene des Detektionsobjektives herangezogen wird, und/oder während der Verschiebung der Probe eine Justierung der Lage des Lichtblattes zur Fokusebene des Detektionsobjektives dergestalt erfolgt, dass das Lichtblatt eine Relativbewegung in mindestens einer Richtung zur Probe und/ oder das Detektionsobjektiv eine Relativbewegung zur Probe ausführt.

Abstract translation: 对SPIM显微镜，其特征在于，在第一步骤是基于测试样品的方法和显微镜，校准通过Lichblattes的在样品中的位置的依赖性的实际位置被检测并存储在不同的样品的水平，和光片的在所存储的位置 在观看和/或样品的检测的第二步骤用于参考存储在所述第一步骤中的数据，用于校正光片到检测目标的聚焦平面的位置，和/或在样品中，光片的与检测目标这样的焦点平面上的位置的调整的位移值 由该光片的相对运动，以样品中的至少一个方向上进行相对运动到样品和/或检测目标。

公开(公告)号：WO2014050328A1

公开(公告)日：2014-04-03

申请号：PCT/JP2013/071637

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 近藤　孝志 ,  神波　誠治 ,  原　鉄三 ,  鈴木　勝之

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01N21/01 ,  G01N21/03 ,  G01N21/3581 ,  G01N2021/0339 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/061 ,  G02B5/18 ,  G02B21/34 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3178 ,  Y10T29/49

Abstract: 　機械的強度が高く、取扱いに際しての湾曲や破損が生じ難い、空隙配置構造体を提供する。　電磁波の照射により、被測定物の特性を測定するのに用いられる空隙配置構造体であって、第１の主面２ａと、第１の主面２ａと対向する第２の主面２ｂとを有し、第１の主面２ａから第２の主面２ｂに向かって貫通している複数の空隙部２ｃが空隙配置プレート２に設けられており、該空隙配置プレート２の第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂの内少なくとも一方の主面に、少なくとも１つの空隙部２ｃを露出させる開口部もしくは切り欠き部を有するように支持基材３，４が積層されている、空隙配置構造体１。

Abstract translation: 提供了一种具有高机械强度并且在处理期间不可能弯曲或断裂的穿孔结构体。 当用电磁波照射待测物体时，使用穿孔结构体（1），以测量所述物体的特性，并且包括面向第一主体的第一主表面（2a）和第二主表面（2b） 表面（2a）。 多孔板（2）穿过多孔板（2）并从第一主表面（2a）向第二主表面（2b）通过。 包括暴露至少一个穿孔（2c）的开口或切口部分的支撑基板（3,4）层叠在多孔板（2）的第一主表面（2a）和/或第二主表面（2b）上， 。

公开(公告)号：WO2014024543A1

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：PCT/JP2013/064575

申请日：2013-05-27

Applicant: 東レエンジニアリング株式会社

Inventor： 佐々本　裕方 ,  小林　央 ,  野上　義生

IPC: G01N21/892

CPC classification number: G01N21/86 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/892 ,  G01N21/952 ,  G01N2021/8472 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/061 ,  G06T7/0004

Abstract: 　構造物の表面に複数並べて貼り付けられた繊維強化プラスチックテープの貼付状態について、自動で迅速かつ検査品質の再現性を保ちつつ、検査する装置を提供する。　具体的には、構造物の表面に複数並べて貼り付けられた繊維強化プラスチックテープの貼付状態を検査する装置であって、　観察用照明光を照射する照明部と、被検査領域からの反射光を観察する観察部と、 テープの貼付状態を検査する検査部とを備え、　照明部は、同時に点灯する複数の照射ユニットを含んで構成されており、 同時に点灯する複数の照射ユニットは、被検査領域の法線に対してお互いが対称となる方向から一対の観察用照明光を照射するように配置されており、　照明部には、照明部から照射される前記一対の観察用照明光の方向を前記法線周りに変更する照明方向変更部が備えられている。

Abstract translation: 本发明提供一种用于在保持检查质量可复制性的同时，在结构的表面上并行地并用的多根纤维增强塑料带的应用状态的自动快速检查装置。 更具体地，提供了一种用于检查在结构的表面上并排施加的多片纤维增强塑料带的施加状态的装置，所述装置设置有照射单元，其照射要被 用观察照明灯检查; 用于观察来自被检查区域的反射光的观察单元; 以及用于检查带的应用状态的检查单元。 照明单元被配置为包括同时点亮的多个照射单元。 同时点亮的多个照射单元被布置成使得被检查区域被照射相对于待检查区域的法线相互对称的两个方向的观察照明光。 向照明单元提供照射方向改变单元，该照明方向改变单元围绕法线改变来自照明单元的观察照明光照射被检查区域的两个方向。

公开(公告)号：WO2014014555A1

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：PCT/US2013/041051

申请日：2013-05-15

Applicant: U.S. COATINGS IP CO. LLC ,  COATINGS FOREIGN IP CO. LLC

Inventor： MOY, Anthony ,  YOKOYAMA, Ayumu ,  RODRIGUES, Allan, Blase, Joseph ,  SCHERMACHER, Ken, Stephen ,  ALSPACH, Jeff, B.

IPC: G01N21/25 ,  G01N33/32

CPC classification number: G01N21/251 ,  G01N1/2813 ,  G01N21/8422 ,  G01N33/32 ,  G01N2201/02

Abstract: The present disclosure is directed to a liquid measuring system for producing one or more property values of a liquid. The system can comprise: a thin film device and one or more measuring devices for measuring said one or more property values. This disclosure is particularly directed to a system comprise a thin film device for producing a thin film of the liquid on a spinning disk. The system is particularly useful for measuring color and appearance properties of the liquid. The system can be useful for producing coating compositions.

Abstract translation: 本公开涉及一种用于产生液体的一个或多个特性值的液体测量系统。 该系统可以包括：薄膜装置和用于测量所述一个或多个特性值的一个或多个测量装置。 本公开特别涉及一种包括用于在旋转盘上产生液体薄膜的薄膜装置的系统。 该系统对于测量液体的颜色和外观特性特别有用。 该系统可用于生产涂料组合物。