Patent search ap:("한국전자통신연구원") AND inv:"권오균" Page 18

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发明公开
광화학 증착 및 급속열처리 장치용 웨이퍼 지지대 失效

公开(公告)号：KR1019910020801A

公开(公告)日：1991-12-20

申请号：KR1019900007229

申请日：1990-05-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이영수 , 김윤태 , 전치훈 , 김보우 , 권오균

IPC: H01L21/205

Abstract: 내용 없음

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