公开(公告)号：SE9201606A

公开(公告)日：1993-02-02

申请号：SE9201606

申请日：1992-05-21

Applicant: UNION CAMP PATENT HOLDING

Inventor： JOSEPH JAMES C ,  PIKULIN MICHAEL A ,  FRIEND WILLIAM H

IPC: C01B13/10 ,  B01D53/62 ,  B30B9/20 ,  C01B13/11 ,  D21C9/153 ,  D21C9/18

CPC classification number: D21C9/153 ,  B01D53/62 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  Y02C10/04 ,  Y02P20/152 ,  Y02P70/24

公开(公告)号：JP2014526969A

公开(公告)日：2014-10-09

申请号：JP2014527341

申请日：2012-08-24

Applicant: エレクトロリティック、オゾン、インコーポレイテッドElectrolytic Ozone Inc.

Inventor： カール デイヴィッド ルッツ ,  ジェフリー ディー ブース ,  ドナルド ジェイ ブードロー ,  ニコラス アール ローダー ,  ザッリン オッセン ,  ウィリアム ロスター ,  リチャード エイ フェデリコ

IPC: C02F1/46 ,  C02F1/78

CPC classification number: C02F1/4672 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C02F1/008 ,  C02F1/46104 ,  C02F1/78 ,  C02F2201/782 ,  C02F2201/784 ,  C02F2303/04 ,  C02F2307/02 ,  C02F2307/04 ,  C02F2307/10 ,  C25B1/13 ,  C25B15/02

Abstract: スプレー装置であって、水を収容するための内部を備えたタンクと、オゾン化水をスプレー装置から外へ差し向けるノズルと、ノズルとタンクとの間に配置された電解槽とを有するスプレー装置が提供される。 電解槽は、水がタンクからノズルに流れているときに水をオゾン化するよう構成されている。 スプレー装置は、電位を電解槽に印加する電源を更に有する。 タンク、ノズル及び電解槽は全て、単一スプレーボトル又はディスペンサ（例えば、水石鹸入れのような）の一部である。
【選択図】図１Ｂ

公开(公告)号：JP5548106B2

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：JP2010253473

申请日：2010-11-12

Applicant: エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated

Inventor： イェンス フィトカウ， ,  ヨハネス サイヴァート， ,  クリスティーヌ ゴットシャルク，

IPC: C02F1/78 ,  B01F1/00 ,  C01B13/00 ,  C01B13/10 ,  G05D21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: G05D11/132 ,  B01F3/04496 ,  B01F5/0603 ,  B01F5/0606 ,  B01F2003/04886 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/78 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/40 ,  G05D11/139 ,  Y10S134/902 ,  Y10S261/42

公开(公告)号：JP5069800B2

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：JP2011001198

申请日：2011-01-06

Applicant: 東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： 初男 四元 ,  雄二郎 沖原 ,  要一郎 田畑 ,  政幸 石川 ,  徹哉 西津

IPC: C01B13/11 ,  B01J35/00 ,  B01J35/02 ,  H01T19/00 ,  H01T23/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  B01J35/004 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/80 ,  C01B2201/82 ,  C01B2201/90

公开(公告)号：JP2012043769A

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：JP2011024937

申请日：2011-02-08

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： JITSUMATSU WATARU

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/12 ,  B08B3/10 ,  C02F1/30

CPC classification number: H05H1/48 ,  A45D27/46 ,  A45D27/48 ,  B08B3/10 ,  B08B7/00 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/72 ,  C02F1/78 ,  C02F2305/02 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32091 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/466

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generating device capable of more stably producing radicals, a method for producing radicals, a washing and cleaning device using the plasma generating device, and a compact electrical appliance.SOLUTION: A plasma generating device 1 comprises: a first electrode 12 disposed in a gas housing part 5; and a second electrode 13 disposed so that at least a portion of a side opposite to the first electrode 12 is brought into contact with a liquid 17 inside a liquid housing part 4. Plasma is generated in a gas region inside the liquid 17 in the liquid housing part 4 by generating discharge between the first electrode 12 and the second electrode 13, and a hydroxyl radical is produced from water contained in the liquid 17 and oxygen contained in the gas.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够更稳定地产生自由基的等离子体产生装置，用于制造自由基的方法，使用等离子体产生装置的洗涤和清洁装置以及紧凑型电器。 解决方案：等离子体产生装置1包括：设置在气体容纳部分5中的第一电极12; 以及设置成使得与第一电极12相对的一侧的至少一部分与液体容纳部分4内部的液体17接触的第二电极13。在液体17内的液体中的气体区域中产生等离子体 通过在第一电极12和第二电极13之间产生放电而容纳部分4，并且由包含在液体17中的水和包含在气体中的氧产生羟基。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2011098886A

公开(公告)日：2011-05-19

申请号：JP2011001198

申请日：2011-01-06

Applicant: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp ,  東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： TABATA YOICHIRO ,  OKIHARA YUJIRO ,  ISHIKAWA MASAYUKI ,  NISHITSU TETSUYA ,  YOTSUMOTO HATSUO

IPC: C01B13/11 ,  B01J23/08 ,  B01J23/14 ,  B01J23/18 ,  B01J23/20 ,  B01J23/26 ,  B01J23/30 ,  B01J23/72 ,  B01J23/745 ,  B01J35/00 ,  B01J35/02 ,  H01T19/00 ,  H01T23/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  B01J35/004 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/80 ,  C01B2201/82 ,  C01B2201/90

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an ozone generator which can adequately improves ozone generation efficiency and generates a clean ozone gas. SOLUTION: The ozone generator comprises a photocatalytic material which is provided on a dielectric or an electrode in the discharge region with a band gap of 2.0-2.9 eV, wherein when an alternating-current voltage is applied from a power supply to produce a discharge in the discharge region, and the oxygen gas is supplied from the raw material gas supply means to the discharge region, then interaction of the discharge light having light wavelength in a range of 428-620 nm caused by the discharge with the photocatalytic material dissociates the oxygen gas passing through the discharge region into oxygen atoms and the oxygen gas and the oxygen atoms dissociated are subjected to a bonding process to generate ozone gas. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：获得能充分改善臭氧发生效率并产生清洁的臭氧气体的臭氧发生器。 解决方案：臭氧发生器包括光电催化材料，其设置在放电区域中的电介质或电极上，带隙为2.0-2.9eV，其中当从电源施加交流电压以产生 放电区域中的放电，从原料气体供给装置向放电区域供给氧气，然后通过光催化材料的放电引起的波长在428〜620nm范围内的光波长的相互作用 将通过放电区域的氧气解离成氧原子，并使氧气和解离的氧原子进行接合工艺以产生臭氧气体。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2011088821A

公开(公告)日：2011-05-06

申请号：JP2011001199

申请日：2011-01-06

Applicant: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp ,  東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： TABATA YOICHIRO ,  OKIHARA YUJIRO ,  ISHIKAWA MASAYUKI ,  NISHITSU TETSUYA ,  YOTSUMOTO HATSUO

IPC: C01B13/11 ,  B01J35/00 ,  B01J35/02 ,  H01T19/00 ,  H01T23/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  B01J35/004 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/70 ,  C01B2201/80 ,  C01B2201/82 ,  C01B2201/90

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an ozone generator system which can correctly improve ozone generating efficiency, and generate a clean ozone gas. SOLUTION: The ozone generator system comprises a catalytic material including a photocatalytic material with a band gap of 2.0 eV to 2.9 eV, the catalytic material is provided on the wall face of a dielectric or an electrode in the discharge region, the contact surface area between the catalytic material and discharge light is increased by 1.5 times or more to the area of the dielectric or the electrode, an AC voltage is applied from a power source to inject discharge power into the discharge region, an oxygen gas is supplied from a raw material gas supply means to the discharge region, by interaction between the discharge light having at least a light wavelength in a range of 428 nm to 620 nm irradiated from discharge and the catalytic material, an oxygen gas passing through the discharge region is dissociated into oxygen atoms, and also, the oxygen gas and the dissociated oxygen atoms are subjected to a bonding process to generate an ozone gas. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：获得可以正确提高臭氧发生效率并产生清洁的臭氧气体的臭氧发生器系统。 解决方案：臭氧发生器系统包括催化材料，其包括带隙为2.0eV至2.9eV的光催化材料，催化材料设置在放电区域中的电介质或电极的壁面上，触点 催化材料和放电光之间的表面积比电介质或电极的面积增加1.5倍以上，从电源施加交流电压，将放电电力注入放电区域，从 通过从放电照射的至少波长428nm〜620nm的光波长与催化剂材料之间的相互作用使放电区域的原料气体供给装置，通过放电区域的氧气离解 进入氧原子，并且氧气和解离的氧原子也进行接合工艺以产生臭氧气体。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2011062694A

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：JP2010253473

申请日：2010-11-12

Applicant: Mks Instruments Inc ,  エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated

Inventor： FITTKAU JENS ,  SEIWERT JOHANNES ,  GOTTSCHALK CHRISTINE

IPC: C02F1/78 ,  B01F1/00 ,  C01B13/00 ,  C01B13/10 ,  G05D21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: G05D11/132 ,  B01F3/04496 ,  B01F5/0603 ,  B01F5/0606 ,  B01F2003/04886 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/78 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/40 ,  G05D11/139 ,  Y10S134/902 ,  Y10S261/42

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method which provide ozonized water to one or more process tools.
SOLUTION: An ozonated-water generator 1000 receives deionized water for supplying the deionized water 20, supplies an oxygen gas 30 to the ozonated-water generator, and produces ozonated deionized water DIO3. Then, the ozonated deionized water DIO3 is supplied to one or more semiconductor process tools 40. The used or excess deionized water or ozonated deionized water DIO3 is wasted through a waste liquid line 50.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种向一个或多个处理工具提供臭氧化水的装置和方法。 臭氧水发生器1000接收去离子水供应去离子水20，向臭氧水发生器供给氧气30，并产生臭氧化去离子水DIO3。 然后，将臭氧化的去离子水DIO3供应到一个或多个半导体工艺工具40.使用过量的去离子水或臭氧化的去离子水DIO3通过废液管线50被浪费。（C）2011，JPO和INPIT

公开(公告)号：JP2004359537A

公开(公告)日：2004-12-24

申请号：JP2003341403

申请日：2003-09-30

Applicant: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp ,  東芝三菱電機産業システム株式会社

Inventor： TABATA YOICHIRO ,  NAKATANI HAJIME ,  KUZUMOTO MASAKI

IPC: B01J35/02 ,  C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/66

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ozone generator which has adequately raised ozone generation efficiency. SOLUTION: The ozone generator for generating ozone by applying a specified process to gaseous oxygen by discharge has a first raw material gas supply means for supplying the gaseous oxygen as a first raw material gas, and a second raw material gas supply means for supplying an oxide compound gas as a second raw material gas, wherein by excited light excited and generated by discharge in the presence of the gaseous oxygen and the oxide compound gas, the oxide compound gas is dissociated or the dissociation of the gaseous oxygen is accelerated by excitation of oxide compound gas to generate ozone. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

公开(公告)号：JP2004533983A

公开(公告)日：2004-11-11

申请号：JP2002564436

申请日：2002-01-30

Applicant: イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company

Inventor： エフ．モラン ジュニア エドワード ,  ヴィ．ピアスキー ロバート

IPC: B01J7/00 ,  C01B13/11 ,  H01T19/00 ,  H01T23/00

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/60

Abstract: 実質的に純粋な二酸化炭素を電極の間に通し、その際該電極は、それらを横切ってコロナ放電を生じさせるのに十分な電圧差をその間に有する工程を含む、オゾンの製造方法。