公开(公告)号：KR101721253B1

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：KR1020097000422

申请日：2008-06-05

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  테이크만헬무트 ,  요키노다카후미 ,  스즈키도모후미 ,  힐러디에트마르 ,  스탈케르울리치

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 분광모듈(1)은본체부(2)가판 형상이기때문에, 본체부(2)의박형화에의해소형화를도모할수 있다. 또한, 본체부(2)가판 형상이기때문에, 예를들어웨이퍼프로세스를이용하여분광모듈(1)을제조할수 있다. 즉, 다수의본체부(2)가되는유리웨이퍼에대해매트릭스형상으로렌즈부(3), 회절층(4), 반사층(6) 및광검출소자(7)를마련하고, 당해유리웨이퍼를다이싱하는것에의해분광모듈(1)을다수제조할수 있다. 이와같이하여, 분광모듈(1)을용이하게대량생산하는것이가능하게된다.

公开(公告)号：KR1020170016035A

公开(公告)日：2017-02-10

申请号：KR1020177003020

申请日：2008-06-05

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  테이크만헬무트 ,  요키노다카후미 ,  스즈키도모후미 ,  힐러디에트마르 ,  스탈케르울리치

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/18 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 분광모듈(1)은본체부(2)가판 형상이기때문에, 본체부(2)의박형화에의해소형화를도모할수 있다. 또한, 본체부(2)가판 형상이기때문에, 예를들어웨이퍼프로세스를이용하여분광모듈(1)을제조할수 있다. 즉, 다수의본체부(2)가되는유리웨이퍼에대해매트릭스형상으로렌즈부(3), 회절층(4), 반사층(6) 및광검출소자(7)를마련하고, 당해유리웨이퍼를다이싱하는것에의해분광모듈(1)을다수제조할수 있다. 이와같이하여, 분광모듈(1)을용이하게대량생산하는것이가능하게된다.

Abstract translation: 由于分光模块1设置有板状主体部分2，所以使主体部分2变薄，使得光谱模块1可以被小型化。 此外，由于主体部分2形成为板状，例如，使用晶片工艺来制造光谱模块1.换句话说，透镜部分3，衍射层4，反射层6和光 检测元件7以矩阵形式设置在可以制成多个主体部分2的玻璃晶片上。然后，对玻璃晶片进行切割，从而可以制造许多光谱模块1.这样，它 可以容易地大规模生产光谱模块1。

公开(公告)号：KR1020160139266A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：KR1020150073847

申请日：2015-05-27

Applicant: 에스케이하이닉스 주식회사

Inventor： 양윤희

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14607 ,  G01J1/0209 ,  G01J1/0488 ,  G01J1/06 ,  G01J1/44 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627

Abstract: 본기술은성능이향상된이미지센서를제공하기위한것으로, 복수의단위픽셀들각각에대응하도록형성된광전변환소자를포함하고, 상기복수의단위픽셀들이 2차원배열된픽셀어레이를포함하는기판; 상기기판상에형성된투광부재; 상기투광부재내에형성되고다층구조를갖는그리드구조물; 및상기투광부재상의집광부재를포함하고, 상기그리드구조물은상기픽셀어레이내위치에따른상기복수의단위픽셀들각각의 CRA(Chief Ray Angle)에대응하도록틸트된것일수 있다.

Abstract translation: 图像传感器包括：基板，包括用于多个单位像素的光电转换元件，二维排列成像素阵列; 在所述基板上的透光构件; 在透光构件中具有多个层的栅格结构; 以及在所述光透射部件上的光收集部件，其中，根据所述像素阵列中的所述多个单位像素的位置，所述栅格结构针对所述多个单位像素的各自的主光线角度倾斜。

公开(公告)号：KR1020160138385A

公开(公告)日：2016-12-05

申请号：KR1020167022476

申请日：2015-01-29

Applicant: 비아비 솔루션즈 아이엔씨.

Inventor： 후루스카,커티스,알. ,  캐칭,벤자민,에프. ,  스미스,파울라

IPC: G01J3/02 ,  G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/28 ,  G01J3/12

CPC classification number: G01J3/0229 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1221 ,  G01J2003/1234 ,  G01J2003/2813 ,  G02B5/285

Abstract: 상류필터가하류필터에대한공간필터로서기능하도록서로로부터고정거리에스택되는 2개의측면적가변밴드패스필터들을포함하는광학필터가개시된다. 이것은하류필터에충돌하는경우상류필터에의해송신되는경사빔이측면적으로배치되기때문에발생한다. 측면적배치는상류필터및 하류필터로의경사빔의충돌위치들에서의송신패스밴드들이오버랩하지않는경우경사빔의억제를야기한다.

Abstract translation: 公开了一种滤光器，其包括彼此以固定距离堆叠的两个横向可变带通滤光器，使得上游滤光器用作下游滤光器的空间滤光器。 这是因为当上游滤波器发射的倾斜波束在撞击下游滤波器时横向偏移。 当倾斜光束的入射位置在上游和下游滤波器上的传输通带不重叠时，横向位移导致倾斜光束的抑制。

公开(公告)号：KR101642514B1

公开(公告)日：2016-07-25

申请号：KR1020097001214

申请日：2008-06-05

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  요키노다카후미 ,  스즈키도모후미 ,  테이크만헬무트 ,  힐러디에트마르 ,  스탈케르울리치

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 분광모듈(1)에서는분광부(3)로진행하는광 L1이통과하는광통과구멍(6a), 및광검출소자(4)의광검출부(4a)로진행하는광 L2가통과하는광통과구멍(6b)을가지는광흡수층(6)이패터닝에의해일체성형된다. 이때문에, 광통과구멍(6a)과광통과구멍(6b)의상대적인위치관계에어긋남이생기는것을방지할수 있다. 또한, 광흡수층(6)에의해미광의발생이억제되고또 미광이흡수되기때문에, 광검출소자(4)의광검출부(4a)에미광이입사하는것을억제할수 있다. 따라서, 분광모듈(1)에의하면신뢰성을향상시키는것이가능하게된다.

公开(公告)号：KR1020160023158A

公开(公告)日：2016-03-03

申请号：KR1020140109047

申请日：2014-08-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김일환 ,  남성현 ,  김도윤

IPC: H01L27/146

CPC classification number: H01L27/14685 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/14 ,  G01J3/18 ,  G01J3/513 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14629

Abstract: 이미지센서는서로다른컬러의광을투과시키는다수의컬러필터들과, 상기다수의컬러필터들을구획하며상기컬러필터보다굴절률이작은물질로이루어진반사성격벽을포함하는컬러필터어레이층; 상기다수의컬러필터각각에입사되도록, 입사광을복수개의컬러광으로분리하는색분리소자; 상기다수의컬러필터들을투과한광을각각센싱하는다수의광검출소자들이어레이된 센서기판;을포함한다.

Abstract translation: 一种图像传感器包括：滤色器阵列层，其包括透射不同颜色的光的多个滤色器; 以及限定滤色器并具有比滤色器的折射率低的折射率的反射分隔壁; 将入射光分为多种颜色的分色装置，使得多种颜色分别入射到多个滤色器上; 以及传感器基板，其上分别感测透过所述多个滤色器的光的多个光检测装置布置成阵列形状。

公开(公告)号：KR101486282B1

公开(公告)日：2015-01-27

申请号：KR1020140001682

申请日：2014-01-07

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박성종 ,  이동훈 ,  박철웅 ,  박승남

IPC: G01J3/50

CPC classification number: G01J3/504 ,  G01J3/0254 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/04 ,  G01J2003/045

Abstract: 본 발명은 측각 분광복사계 및 그 측정 방법을 제공한다. 측각 분광복사계는 광원축을 따라 자전 운동하는 광원; 상기 광원축에 수직한 공전축에 대하여 상기 광원을 중심으로 일정한 반경을 가지고 공전 운동하고 상기 광원을 바라보는 방향에 형성된 입구를 포함하는 제1 적분구; 상기 제1 적분구를 통하여 수신된 광의 광량을 공전축의 회전량에 따라 변조하는 광량 변조부; 및 상기 광량 변조부의 출력광을 파장별로 측정하는 검출부를 포함한다.

Abstract translation: 提供了一种角度测量分光辐射计及其测量方法。 角度测量光谱仪包括：沿光源轴线进行旋转运动的光源; 第一积分单元，其基于光源以与所述光源轴垂直的旋转轴为基准的一定半径的旋转运动，并且包括沿面向所述光源的方向形成的入口; 光量调制单元，用于根据旋转轴的旋转量来调制通过第一积分单元接收的光量; 以及检测单元，用于测量每个波长的光量调制单元的输出光。

公开(公告)号：KR1020120083271A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：KR1020127002388

申请日：2010-08-31

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미 ,  요키노다카후미

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/0262 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2823

Abstract: 이 분광 모듈에서는, 회절층(6) 보다도 두꺼워지도록 회절층(6)의 둘레(6a)를 따라서 칼라(collar)부(7)가 일체로 형성되고 있고, 게다가, 렌즈부(3)의 곡면(3a)에서 칼라부(7)와 접촉하는 부분이 조면으로 이루어져 있다. 이것에 의해, 곡면(3a)과의 접착성이 높아진 칼라부(7)에 의해서, 회절층(6)이 포위되게 된다. 이 때문에, 회절층(6)을 박형화해도, 회절층(6)이 렌즈부(3)의 볼록한 모양의 곡면(3a)으로부터 박리하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이 분광 모듈에서는, 칼라부(7)에서 렌즈부(3)의 곡면(3a)과 대향하는 후면(7a)이 평탄면으로 이루어져 있다. 이것에 의해, 광이 칼라부(7) 내로 입사해도, 그 광은 칼라부(7)의 평탄면인 후면(7a)에 도달한다. 이 때문에, 미광으로서 광 검출 소자의 광 검출부에 직접 결상되는 광을 저감할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100119839A

公开(公告)日：2010-11-11

申请号：KR1020097001350

申请日：2008-06-09

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18

Abstract: 분광 모듈을 후면(4b)의 평행 방향 및 수직 방향으로 본체부(4)의 이동을 패키지(3)의 내벽면(27, 29, 28)에 의해 규제한 상태로, 패키지(3)에 의해 직접 지지하는 것에 의해, 소형화를 도모한 경우에도 분광 모듈(2)을 확실하게 지지하는 동시에, 패키지(3)의 입사구(22a), 분광 모듈(2)의 분광부(6) 및 광검출 소자(7)끼리의 위치 정밀도를 충분히 확보한다. 또, 패키지(3)에 리드(23)가 매입된 리드 도출부(26)로 도출 및 지지하는 것에 의해, 와이어 본딩에 의해 리드(23)와 광검출 소자(7)를 전기적으로 접속할 때에, 패키지(3)의 리드 도출부(26) 자체에 기대의 역할을 하게 하여 분광 모듈(2)의 파손이나 어긋남 등을 방지한다.

公开(公告)号：KR1020100091378A

公开(公告)日：2010-08-19

申请号：KR1020090010547

申请日：2009-02-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 이헌정 ,  채승기 ,  한재원 ,  오창훈

IPC: H01L21/205 ,  H05H1/24

CPC classification number: G02B21/0028 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/443

Abstract: PURPOSE: An optical apparatus for plasma is provided to measure the spatial distribution of plasma emitted light by regulating the distance between a light receiving lens and a pin-hole. CONSTITUTION: A light receiving lens(110) receives optical emission spectrum from plasma. A first aperture is arranged between the light receiving lens and the plasma to block out-focused light. A second aperture is arranged between the light receiving lens and the phase forming region of the light receiving lens to block in-focused light. A pin-hole is arranged in the phase forming region of the light receiving lens to limit the depth of focus with respect to a target region.

Abstract translation: 目的：提供一种用于等离子体的光学装置，通过调节光接收透镜和针孔之间的距离来测量等离子体发射光的空间分布。 构成：光接收透镜（110）从等离子体接收光发射光谱。 在光接收透镜和等离子体之间布置第一孔以阻挡聚焦外的光。 在光接收透镜和光接收透镜的相位形成区域之间布置第二孔，以阻挡聚焦光。 在光接收透镜的相位形成区域中布置有针孔，以限制相对于目标区域的聚焦深度。