公开(公告)号：CN222146132U

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202420304540.8

申请日：2024-02-19

Applicant: 广东省新兴激光等离子体技术研究院

Inventor： 朱昆 ,  黄涛 ,  颜学庆 ,  黄维 ,  蔡实现 ,  吴经锋

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317

Abstract: 本实用新型公开了一种二极偏转磁铁，包括线圈和套装在所述线圈外围的磁轭，所述线圈由2n个马鞍状绕组组成，这些绕组在两相交圆或椭圆的独立区域内上下对称层叠布置，整体的横截面轮廓呈双月牙形，两月牙中绕组电流方向相反，电流密度分布均匀。本实用新型磁铁可提供大磁间隙和高度均匀的磁场，满足带状离子束的偏转需求，而且该磁铁结构简单，形成较大高度的磁间隙的同时可保持较窄的宽度，用于带状离子束传输时，相比于圆形或矩形磁空隙的传统二极偏转磁铁，可降低磁铁宽度，减少磁铁体积，提高其磁场利用率。

公开(公告)号：CN210378965U

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201921948659.4

申请日：2019-11-13

Applicant: 德兴市意发功率半导体有限公司

Inventor： 薛芳峰 ,  吴方军 ,  乔德定 ,  严建华 ,  喻建华 ,  余秋根

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01L21/67 ,  H01L21/265

Abstract: 本实用新型公开了一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，属于半导体工艺设备技术领域，其技术方案要点是，包括外弯管和内弯管，外弯管上端口的外沿铸有第一凸缘，第一凸缘的上端面同轴开设有嵌入槽，嵌入槽的侧壁径向开设有四个插槽；内弯管从外弯管的上端口插入至外弯管的内部，内弯管上端口的外沿铸有第二凸缘，第二凸缘的侧壁径向开设有四个滑槽，滑槽的上壁开设有与第二凸缘的上端面相贯通的开口，每个滑槽的内部均滑动设置有插块。该种耐冲击离子传输管具有很好的耐冲击性，即使长年累月受到高温、高速离子束的冲击，也不容易被击穿、出现漏点，确保离子注入机能够长期正常使用，同时维修起来也方便。

公开(公告)号：CN208208712U

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201820888588.2

申请日：2018-06-08

Applicant: 聚束科技(北京)有限公司

Inventor： 李帅 ,  何伟 ,  王瑞平

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧；复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；镜后偏转装置，位于所述磁透镜的下极靴孔内，用于改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至所述样品台上的待测样品。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN202307787U

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201120389682.1

申请日：2011-10-09

Applicant: 上海华虹NEC电子有限公司

Inventor： 薛红强 ,  郑刚 ,  施向东 ,  雷海波

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

Abstract: 本实用新型公开了一种用于非标准厚度硅片的离子注入机，包括大气机械手、对准装置和真空准备腔，所述大气机械手包括机械手臂、位于机械手臂前端的两机械指，所述大气机械手的机械指延长至硅片外，机械手臂的宽度不小于两机械指外侧面之间的距离；所述注入机的对准装置为机械定位结构；所述真空准备腔为两端开放的贯通腔体；所述机械定位结构包括两个对称设置的载片台，所述载片台呈C型，其内侧上部设有一光滑的弧形引导面，所述弧形引导面下方连接有一支承平面。本实用新型通过对现有的离子注入机的大气机械手、硅片对准装置和真空准备腔的改造，实现了760um以下至100um的非标准厚度硅片在现有离子注入机上的注入作业。

公开(公告)号：IL272196B2

公开(公告)日：2025-03-01

申请号：IL27219620

申请日：2020-01-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/14 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: Systems and methods are provided for compensating dispersion of a beam separator in a single-beam or multi-beam apparatus. Embodiments of the present disclosure provide a dispersion device comprising an electrostatic deflector and a magnetic deflector configured to induce a beam dispersion set to cancel the dispersion generated by the beam separator. The combination of the electrostatic deflector and the magnetic deflector can be used to keep the deflection angle due to the dispersion device unchanged when the induced beam dispersion is changed to compensate for a change in the dispersion generated by the beam separator. In some embodiments, the deflection angle due to the dispersion device can be controlled to be zero and there is no change in primary beam axis due to the dispersion device.

公开(公告)号：DE112017006846T5

公开(公告)日：2019-10-02

申请号：DE112017006846

申请日：2017-02-22

Applicant: HITACHI HIGH TECH CORP

Inventor： SATO RYUJU ,  AGEMURA TOSHIHIDE ,  NOMAGUCHI TSUNENORI

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28

Abstract: Eine Ladungspartikelstrahlvorrichtung umfasst eine Ladungspartikelstrahlquelle, die einen Primärladungspartikelstrahl emittiert, eine Objektivlinse, die den Primärladungspartikelstrahl auf eine Probe fokussiert, eine Durchgangselektrode, die aus einem Metallmaterial ausgebildet ist und zwischen der Ladungspartikelstrahlquelle und einem Spitzenende der Objektivlinse angeordnet ist, einen Detektor, der ein Sekundärladungspartikel detektiert, das von der Probe emittiert wird, und eine Elektrode für ein elektrostatisches Feld, die von der Durchgangselektrode elektrisch isoliert ist. Die Durchgangselektrode ist derart ausgebildet, dass der Primärladungspartikelstrahl durch das Innere der Durchgangselektrode hindurchtritt. Die Elektrode für ein elektrostatisches Feld ist so ausgebildet, dass sie einen äußeren Umfang der Durchgangselektrode bedeckt.

公开(公告)号：DE102017122013A1

公开(公告)日：2018-03-29

申请号：DE102017122013

申请日：2017-09-22

Applicant: TESCAN BRNO S R O

Inventor： POLSTER JAN ,  HAVELKA MILOS

IPC: H01J37/05

Abstract: Eine Objektivlinse (100), die für ein von wenigstens einem gebündelten Strahl geladener Teilchen Gebrauch machendes Gerät vorgesehen ist, umfasst einen zumindest teilweise in einer Objektivbohrung (8) untergebrachten Elektrodenteil (3) sowie einen zweiten Teil (4). Diese Teile bilden in ihrer Gesamtheit eine magnetische Einheit und sind gegenseitig elektrisch isoliert. Das Anlegen einer elektrischen Spannung an den Elektrodenteil (3) bewirkt die Bildung eines elektrischen Extraktionfeldes, das die Bahnen der Signalelektronen (7, 10) beeinflusst, wodurch eine Verbesserung der Detektionseigenschaften erreicht wird. In dem Fall einer derart aufgebauten Linse kommt es darüber hinaus zu einer deutlichen Unterdrückung der Möglichkeit einer mechanischen Beschädigung des Elektrodenteils (3), die allerdings mit keiner Verengung des Sichtfeldes verbunden ist. Zudem kommt es zu keiner Einschränkung des Raums innerhalb des Objektivs (100) durch die Extraktionselektrode und deshalb nach wie vor die Möglichkeit besteht, in diesem Raum gewöhnliches Zubehör für das Gerät, wie beispielsweise einen Detektor (9), anzuordnen.

公开(公告)号：DE102014019408B4

公开(公告)日：2017-02-09

申请号：DE102014019408

申请日：2014-12-22

Applicant: MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WSS E V

Inventor： TUSCHE CHRISTIAN ,  KIRSCHNER JÜRGEN

IPC: H01J49/44 ,  H01J37/05

Abstract: Abbildende Energiefiltervorrichtung (100), die zur Übertragung eines Ensembles von geladenen Teilchen (4) in einem vorbestimmten Energieintervall eingerichtet ist, umfassend – einen ersten Ablenksektor (10) und einen zweiten Ablenksektor (20), die jeweils eine Eintrittsebene (11, 21), eine Blende zur Begrenzung des Energieintervalls der zu übertragenden Teilchen (4) und eine Austrittsebene (12, 22) aufweisen und entlang eines Strahlwegs (3) aufeinanderfolgend angeordnet sind, und – eine Transferlinseneinrichtung (30), die zwischen der Austrittsebene (12) des ersten Ablenksektors (10) und der Eintrittsebene (21) des zweiten Ablenksektors (20) angeordnet ist, wobei die Transferlinseneinrichtung (30) eine Gruppe von Linsenelektroden umfasst, die für eine elektrostatische Formung des Strahlweges zwischen der Austrittsebene des ersten Ablenksektors (10) und der Eintrittsebene des zweiten Ablenksektors (20) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass – im ersten Ablenksektor (10) genau eine erste Blende (41) entweder in seiner Eintrittsebene (11) oder in seiner Austrittsebene (12) angeordnet ist, und – im zweiten Ablenksektor (20) genau eine zweite Blende (42) entweder in seiner Eintrittsebene (21) oder in seiner Austrittsebene (22) angeordnet ist.

公开(公告)号：DE102013005173A1

公开(公告)日：2014-10-09

申请号：DE102013005173

申请日：2013-03-25

Applicant: JOHANNES GUTENBERG UNIVERSITÄT MAINZ ,  MAX PLANCK GES ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E V

Inventor： TUSCHE CHRISTIAN ,  KRASYUK ALEXANDER ,  KIRSCHNER JÜRGEN ,  SCHÖNHENSE GERD

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/29 ,  H01J49/44

Abstract: Eine Messvorrichtung (100) zur Erfassung einer Impulsverteilung eines Ensembles (1) geladener Teilchen umfasst eine elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) mit einer optischen Achse (OA), wobei die elektronenoptische Abbildungseinrichtung (10) eine Objektivlinseneinrichtung (11) zur Erzeugung eines Impulsbildes (3) der x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen senkrecht zur optischen Achse (OA) aufweist, einen Energieanalysator zur energieaufgelösten Abbildung des Ensembles (1) und eine Detektoreinrichtung (30) zur Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1), wobei die x- und y-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch Koordinaten der Teilchen im Impulsbild erfassbar sind, und wobei der Energieanalysator eine Drifteinrichtung (20) umfasst, die angeordnet ist, von den Teilchen des Ensembles (1) mit einer Flugzeit durchlaufen zu werden, die von der z-Komponente der Impulsvektoren der Teilchen parallel zur optischen Achse (OA) abhängt, und die Detektoreinrichtung (30) zur zeitaufgelösten Aufnahme des Impulsbildes des Ensembles (1) eingerichtet ist, wobei die z-Komponenten der Impulsvektoren der Teilchen durch die Flugzeit in der Drifteinrichtung (20) erfassbar sind. Es wird auch ein Verfahren zur Erfassung einer Impulsverteilung eines Ensembles geladener Teilchen aus einer untersuchten Probe beschrieben.

公开(公告)号：RU2468464C9

公开(公告)日：2013-05-27

申请号：RU2011123281

申请日：2011-06-09

Applicant: UCHREZHDENIE ROSSIJSKOJ AKADEMII NAUK INST EHNERGETICHESKIKH KHIM FIZ RAN

Inventor： RAZNIKOV VALERIJ VLADISLAVOVICH ,  ZELENOV VLADISLAV VALER EVICH ,  SULIMENKOV IL JA VJACHESLAVOVICH ,  PIKHTELEV ALEKSANDR ROBERTOVICH ,  RAZNIKOVA MARINA OLEGOVNA ,  SAVENKOV GENNADIJ NIKOLAEVICH

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/00

Abstract: Изобретениеотноситсяк спектрометрииионнойподвижностив газахи масс-спектрометрии. Основойизобретенияявляетсяразделениеионовизвнешнегоисточникав спектрометреприращенияионнойподвижности (СПИП) цилиндрическисимметричнойгеометриис секционированнымвнешнимэлектродом, ксекциямкоторогоприложенынезависимоизменяемыенапряжениядисперсиии компенсирующиенапряжения. Этинапряжениятаковы, чтобыобеспечитьфокусировкуцелевыхионовв начальномучасткеканаладрейфаоколосерединыаналитическогопромежуткаСПИП, ихконтролируемыйсдвигк внутреннейповерхностивнешнегоэлектродав среднейчастиканаладрейфаи управляемоесмещениек центральномуэлектродув конечнойчастиканаладрейфа. Этимобеспечиваетсяпреимущественноепропусканиецелевыхионовс отстройкойотпримесныхионовиз-заихболеевероятнойгибелинаэлектродахСПИП. Выжившиеионыподдействиемэлектрическогополяи малойчастигазовогопотока, входящеговнутрькапилляра, формирующегосверхзвуковойгазовыйпоток, дрейфуютк этомукапилляруи внутрисверхзвуковогогазовогопотока, выходящегоизэтогокапилляра, поступаютв последующиймасс-анализатор. Возможноразделениесигналовотвсехионов, сфокусированныхвнутриСПИП, наосноверегистрациидвумерныхиличетырехмерныхраспределенийинтенсивностейпотоковзарегистрированныхионовприсканированиинапряжений, сдвигающихионык электродамСПИП. Изобретениепозволяетдополнительноек масс-спектрометрическомуразделениеионовальтернативноилив развитиеизвестныхметодовразделенияи структурно-химическогоанализа. 21 з.п. ф-лы, 5 ил.