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公开(公告)号：CN112567493B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201980053848.1
申请日：2019-07-31
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/153 , H01J37/05
Abstract: 公开了用于在多束装置中观察样品的系统和方法。一种带电粒子光学系统可以包括：偏转器，其被配置为形成带电粒子源的虚像；和转印透镜，其被配置为在图像平面上形成带电粒子源的实像。图像平面可以至少形成在光束分离器附近，该光束分离器被配置为分离由源生成的初级带电粒子和由初级带电粒子与样品的交互而生成的次级带电粒子。图像平面可以形成在光束分离器的偏转平面处。多束装置可以包括带电粒子色散补偿器以补偿光束分离器的色散。在转印透镜与带电粒子色散补偿器之间，图像平面可以被形成为与光束分离器相比更靠近转印透镜。
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公开(公告)号：CN111801764B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN201980016742.4
申请日：2019-03-01
Applicant: 塔斯米特株式会社
Abstract: 本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。
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公开(公告)号：CN118486573A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410632831.4
申请日：2024-05-21
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的一价离子过滤装置及离子注入机，过滤装置包括真空腔体，所述真空腔体上设有束流入口，所述束流入口与离子注入机中质量分析器的出口对接，所述真空腔体内部设有膜片透镜组件，所述膜片透镜组件包括过滤电极组件，用于抑制束流中一价离子通过。本发明具有结构简单、操作简便、避免一价离子的能量污染等优点。
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公开(公告)号：CN117995630B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410147120.8
申请日：2024-02-02
Applicant: 芯嵛半导体(上海)有限公司
Inventor： 陈炯
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开一种高分辨率电磁铁分析器、离子注入系统及离子束产生方法，属于半导体离子注入工艺技术领域，其中高分辨率电磁铁分析器包括有围绕带状离子束的行进路径的弓形磁轭结构，所述高分辨率电磁铁分析器的出口一端外设置有具有狭缝的分辨槽，用于使带状离子束传输通过分辨槽的狭缝从而从动量不同的污染物离子中分离出所需离子。基于本发明电磁铁分析器为核心模块的离子注入系统包括小型离子源和引出电极，离子束在电磁铁继续扩展，使得离子束的长轴达到目标长度，离子束在四极磁透镜磁铁得以准直，通过分辨槽而继续往目标处前行。本发明通过对结构及方法的多方面优化改进，能够更好地满足目前高品质先进半导体工艺的要求。
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公开(公告)号：CN118355412A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202280076200.8
申请日：2022-09-07
Applicant: 盛达欧米科有限公司
Inventor： 帕特里克·卡尔松
Abstract: 描述了一种带电粒子光谱仪(100)，该带电粒子光谱仪包括成像能量分析器(101)和静电透镜系统(102)，该静电透镜系统具有第一偏转器(16A/16C，16B/16D)和可选的第二偏转器(17A/17C，17B/17D)，这些偏转器可操作以引起带电粒子在进入成像能量分析器(101)中之前第一次并且如果可适用还第二次在坐标方向(x，y)上的偏转。该光谱仪还包括控制单元(20)，该控制单元被配置为控制静电透镜系统(102)的标称空间位置，以及使用透镜表来控制光谱仪(100)的角度模式下的扫描。还描述了一种用于控制控制单元(20)的计算机程序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118098911A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410285650.9
申请日：2024-03-13
Applicant: 复旦大学
IPC: H01J37/05 , H01J37/147
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束光学系统的束分离装置，包括：金属壳体；八个布置在所述金属壳体内并围绕一个共同圆心的金属电极，其中，相邻的三个金属电极连成一个整体并作为正极，与所述正极位置相对的另外三个金属电极连成一个整体并作为负极，其余两个金属电极作为中性极，所述正极与负极配置成在施加电压后在所述金属电极之间产生电场，所述金属电极还作为磁极，并配置成产生与所述电场方向垂直的磁场；励磁线圈，其用于产生所述磁场；屏蔽板，其安装在所述金属壳体的顶面和底面，中心加工有供带电粒子束穿过的圆孔。采用本发明所述粒子束分离器，可用于分离电子显微镜中的二次电子束，且不会对初级电子束的聚焦性能产生明显的负面影响。
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公开(公告)号：CN118098910A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410200767.2
申请日：2024-02-23
Applicant: 东南大学
IPC: H01J37/05
Abstract: 本发明公开了一种对等动能电压跨极性修正的多通道质量选择器，每个区域由互相平行的上下的平行板电极和平行设置的左右入口狭缝板和垂直板或垂直板和出口狭缝板组成，其中平行板电极与左右板垂直且贴合，平行板电极外接高压脉冲电源，合理地设定各个电压脉冲的时间逻辑，自下而上收集，在入口狭缝板靠近下平行板电极一端开设入口狭缝，在出口狭缝板靠近每个区域下平行板电极的一端开设出口狭缝，实现了获取多种不同质量的单一尺寸的团簇粒子束流，本发明对多种质量的同元素粒子的质量选择，解决了粒子产量低下的问题，提高了粒子平均利用效率；用等动能的加速方式实现了多通道的质量选择器设计，并对其电压跨极性的特性进行了修正。
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公开(公告)号：CN110310877B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201910212432.1
申请日：2019-03-20
Inventor： 乔恩·卡尔·韦斯 , 斯坦尼斯拉夫·彼得拉斯 , 博胡米拉·伦佐娃 , 格德·路德维希·本纳
IPC: H01J37/256 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/05 , G01N23/2251 , G01N23/20058
Abstract: 公开了一种用于自动对准扫描透射电子显微镜以便旋进电子衍射映射数据的方法。
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公开(公告)号：CN110945621B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN201880048462.7
申请日：2018-07-12
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 提供了用于补偿单束或多束设备中的分束器的色散的系统和方法。本公开的实施例提供了分散装置，分散装置包括被配置为诱导束色散的静电偏转器和磁性偏转器，束色散被设置以消除由分束器生成的色散。静电偏转器和磁性偏转器的组合可以用于在所诱导的束色散被改变以补偿由分束器生成的色散变化时，将由于分散装置引起的偏转角保持不变。在一些实施例中，由于分散装置而引起的偏转角可以被控制为零，并且没有由于分散装置而引起的初级束轴变化。
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公开(公告)号：CN115410884A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210924128.1
申请日：2022-08-02
Applicant: 昆山国显光电有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J37/317
Abstract: 本申请公开了一种磁分析器以及离子注入机，磁分析器包括离子束通道，离子束通道包括飞行区以及合围形成飞行区的第一内壁与顶壁，离子束通道包括第一隔板，第一隔板设置于第一内壁和飞行区之间；其中，第一隔板设置有多个第一通孔，第一隔板和第一内壁之间形成容纳空间。本申请不仅能够大幅降低污染颗粒被携带出磁分析器的几率，继而有效避免离子注入工艺失效，还能极大延长人工维护周期或备件更换周期，从而有效降低维护成本。
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