沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法

    公开(公告)号:CN118130375A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410220231.7

    申请日:2024-02-28

    Abstract: 本发明属于等离子体光谱诊断测试领域,具体涉及沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法。将光谱监测装置进行组装与调试;开启机械泵,对PECVD腔室进行抽真空处理;通过气路向PECVD腔室内供入沉积气体SiH4/He,并开启射频电源,电子获得能量,与沉积气体发生碰撞产生活性粒子,沉积到硅基样片表面完镀膜;关闭射频电源;硅基样片在等离子体作用下已经在PECVD腔室完成镀膜沉积后,将其转移至成分监测腔室,以进行薄膜成分分析;空心阴极发射电子轰击已沉积的硅基样片,使用光纤探头监测硅基样品表面发光区域;将监测到的进入光谱仪分光后由探测器成像,由工控机读出数据。实现光谱监测方法对等离子增强化学气相沉积工艺中非晶氢化硅薄膜组分的监测。

    一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法

    公开(公告)号:CN117423600B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202311743393.0

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法,涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域,装置包括:包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机;所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置,所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域;两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧,第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置,所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置,第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置;该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度,具有原位、同时性、无侵扰的特点。

    基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置

    公开(公告)号:CN117451238B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311743364.4

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置,涉及电推进技术领域,方法包括:将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络,得到羽流发散角修正系数;根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络,将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络,得到未修正推力;将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络,得到天地修正系数,并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力;该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化,具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。

    一种材料放气率测试系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN112304804B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202011169846.X

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门,第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱,一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响;另一方面可以实现样品和本底同时测量,将原有的测量过程缩短了一半时间,提高了测量效率。

    可自校高准确度电阻比率参考臂
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117665392A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311548152.0

    申请日:2023-11-20

    Abstract: 本发明涉及一种可自校高准确度电阻比率参考臂,包括调节臂、固定臂、第一换向开关、第二换向开关和指零仪,调节臂和固定臂分别包括若干组配对的第一主电阻对和第二主电阻对,可调电阻和第一调节电阻串联并与调节臂的首端的第一主电阻对并联,第二调节电阻与固定臂的尾端的第二主电阻对并联;调节臂与固定臂首尾串联,第一换向开关和第二换向开关的正接线点和负接线点分别调节臂的首端和固定臂的尾端连接。本发明,采用高精密电阻配对组合并加入低权重调节的结构形式,降低了整个桥臂电阻温度系数,减小了环境温度对比率臂电阻的影响,保证了参考比率臂电阻值的准确度和稳定性,具有高可靠性、高稳定性和高准确度及可自校的特点。

    高真空泵抽速测试装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN117212121B

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311127210.2

    申请日:2023-09-04

    Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法,包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路;进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门;测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵,第一测试罩上还连接有第二真空计;校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组,第二测试罩上还连接有第三真空计;第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接,第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计;第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度,减小测量不确定度,降低测试成本,避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。

    电流比例标准装置、电流比例校准系统及校准方法

    公开(公告)号:CN117590306A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202311524899.2

    申请日:2023-11-15

    Abstract: 本发明涉及电流比例标准装置、电流比例校准系统及校准方法,电流比例标准装置具有三个不同工作频段,从而可在宽频范围内实现电流比例校准,电流比例校准系统包括传递电流比例标准和最高电流比例标准,可实现对电流比例标准装置的各电流比例的校准,在对电流比例标准装置校准时,先获得电流比例1/1时的误差,也即绝对标准,然后通过互校、加法、乘法和除法等方法经过传递电流比例标准和最高电流比例标准溯源,形成了完备的交流电流比例量值溯源体系,溯源效率高、质量高。

Patent Agency Ranking