具固定感測器表面積之化學感測器
    14.
    发明专利
    具固定感測器表面積之化學感測器 审中-公开
    具固定传感器表面积之化学传感器

    公开(公告)号:TW201518722A

    公开(公告)日:2015-05-16

    申请号:TW103130474

    申请日:2014-09-03

    Abstract: 本發明之一實施例係揭露一種化學感測器,該化學感測器包含一化學敏感場效電晶體,其包含一浮動閘極導體,該浮動閘極導體具有一上表面;一材料,其定義延伸至該浮動閘極導體之該上表面之一開口,該材料包含一第一介電質,其係位於一第二介電質下方;以及一導電元件,其係接觸該浮動閘極導體之該上表面,並沿著該開口之一側壁延伸一距離。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之一实施例系揭露一种化学传感器,该化学传感器包含一化学敏感场效应管,其包含一浮动闸极导体,该浮动闸极导体具有一上表面;一材料,其定义延伸至该浮动闸极导体之该上表面之一开口,该材料包含一第一介电质,其系位于一第二介电质下方;以及一导电组件,其系接触该浮动闸极导体之该上表面,并沿着该开口之一侧壁延伸一距离。

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