公开(公告)号：WO2008046393A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：PCT/DE2007/001825

申请日：2007-10-12

Applicant: EPCOS AG ,  RÖSLER, Ulrike ,  RIHA, Evelyn ,  RUILE, Werner

Inventor： RÖSLER, Ulrike ,  RIHA, Evelyn ,  RUILE, Werner

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/02551

Abstract: Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit einem Substrat aus einem Quarz-Einkristall angegeben. Der Kristallschnitt des Substrats ist derart gewählt, dass auch unter Verwendung von relativ leichten Elektroden mit niedriger Höhe eine hohe akustische Reflexion > 1% und ein niedriger Temperaturgang

Abstract translation: 它与由石英单晶，电声装置的基板指定。 衬底的晶体切割的是，即使使用相对轻微电极具有低海拔高的声反射> 1％和低温度系数<25 PPB / K2获得如此选择。 电极具有的铝的高含量。 相关于电极的波长高度优选为<3.5％。

公开(公告)号：WO2007124732A1

公开(公告)日：2007-11-08

申请号：PCT/DE2007/000765

申请日：2007-04-27

Applicant: EPCOS AG ,  RÖSLER, Ulrike ,  KONOPKA, Jaroslaw ,  RUILE, Werner

Inventor： RÖSLER, Ulrike ,  KONOPKA, Jaroslaw ,  RUILE, Werner

IPC: H01Q9/02

CPC classification number: H03H9/02031 ,  H03H9/02228

Abstract: Es wird ein mit geführten akustischen Wellen arbeitendes elektroakustisches Bauelement mit einem ersten Substrat (S1), einem zweiten Substrat (S2), einer Metallschicht (MS) und einer Zwischenschicht (ZS) angegeben. Das erste Substrat (S1) besteht aus einem Einkristall-LiTaO 3 . Die Metallschicht (MS) ist zwischen dem ersten Substrat (S1) und der Zwischenschicht (ZS) angeordnet. Die Zwischenschicht (ZS) ist zwischen der Metallschicht (MS) und dem zweiten Substrat (S2) angeordnet. Der Kristallschnitt des Einkristall-LiTaO 3 ist so gewählt, dass für den zweiten Eulerwinkel gilt: -100° ≤ µ ≤ -40° oder -160° ≤ µ ≤ -130°. Für den ersten Eulerwinkel λ gilt vorzugsweise λ = 0° und für den dritten Eulerwinkel θ gilt vorzugsweise -10° ≤ θ

Abstract translation: 它是包括第一基板（S1）的被引导的声波工作电部件，第二基板（S2），金属层（MS）和中间层（ZS）表示。 在第一基板（S1）由一个单一的晶体的LiTaO _{3 的。 金属层（MS）是在第一基板（S1）和中间层（ZS）布置之间。 中间层（ZS）设置在所述金属层（MS）和第二基板（S2）布置之间。 单晶的LiTaO 3 的晶体截面被选择为使得对于所述第二欧拉角适用：-100°=μ= -40°或-160°=μ= -130°。 对于第一个欧拉角？ 最好应用？ = 0°和用于第三欧拉角θ 优选适用-10°= <0°？ = 0°或0°<？ = 10°。}

公开(公告)号：WO2004109913A1

公开(公告)日：2004-12-16

申请号：PCT/EP2004/004177

申请日：2004-04-20

Applicant: EPCOS AG ,  RUILE, Werner ,  RÖSLER, Ulrike

Inventor： RUILE, Werner ,  RÖSLER, Ulrike

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/02228 ,  H01L23/481 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Die Erfindung betrifft ein elektroakustisches Bauelement, das ein zwischen zwei Substraten angeordnetes Schichtsystem umfaßt, das elektroakustische Strukturen zur Anregung einer geführten akustischen Volumenwelle aufweist, wobei über den elektroakustischen Strukturen keine Hohlräume vorgesehen sind. Das Schichtsystem umfaßt eine piezoelektrische Schicht, zumindest eine Metallschicht und eine Planarisierungsschicht, die zu dem direkt über ihr angeordneten Substrat hin eine planare Grenzfläche aufweist. Ein solches Bauelement kann kostengünstig durch Direct Wafer Bonding zweier Wafer erzeugt werden. Die elektroakustischen Bauelement-Strukturen sind elektrisch durch vertikale elektrische Verbindungen mit Außenkontakten des Bauelements verbunden.

Abstract translation: 本发明涉及一种包括设置在两个基底的层系统，其包括用于引导的声波的激励，其中没有空腔设置在所述电声结构电声结构之间的阀的电声装置。 所述层系统包括压电层，至少一个金属层和具有直接设置在其上方朝向衬底的平面界面的平坦化层。 这样的装置可以通过直接晶片接合两个晶片被廉价地制造。 电声器件结构是由该组件的外部触点垂直电连接电连接。

公开(公告)号：WO2003081773A1

公开(公告)日：2003-10-02

申请号：PCT/DE2003/000980

申请日：2003-03-25

Applicant: EPCOS AG ,  BAUER, Thomas ,  HASHIMOTO, Ken-ya ,  ROESLER, Ulrike ,  RUILE, Werner ,  MEISTER, Veit ,  KUHRAU, Heide ,  JAKOB, Michael

Inventor： BAUER, Thomas ,  HASHIMOTO, Ken-ya ,  ROESLER, Ulrike ,  RUILE, Werner ,  MEISTER, Veit ,  KUHRAU, Heide ,  JAKOB, Michael

IPC: H03H9/64

CPC classification number: H03H9/645 ,  H03H9/0042 ,  H03H9/02716 ,  H03H9/02748 ,  H03H9/02779 ,  H03H9/02795 ,  H03H9/14588 ,  H03H9/14591 ,  H03H9/6433 ,  H03H9/6453

Abstract: Es wird ein mit oberflächennahen akustischen Wellen arbeitendes Bauelement, insbesondere ein Filter mit neuer Struktur vorgeschlagen, bei dem in seriellen und parallelen Zweigen angeordnete Interdigitalwandler in unterschiedlichen Konfigurationen miteinander akustisch gekoppelt sind. Die Erfindung gibt ein verlustarmes Filter an mit gleichzeitig platzsparender Anordnung der Filterelemente.

Abstract translation: 因此建议用近表面声波的操作，尤其是用新的过滤器结构中，声学耦合到彼此，其中布置在不同的配置串联和并联支路叉指式换能器。 本发明提供了与过滤器元件的同时节省空间布置的低损耗滤波器。

公开(公告)号：WO1995012246A1

公开(公告)日：1995-05-04

申请号：PCT/DE1994001275

申请日：1994-10-28

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT ,  REINDL, Leonhard ,  RUILE, Werner ,  MACHUI, Jürgen

Inventor： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

IPC: H03H09/42

CPC classification number: H03H9/0285 ,  H03H9/42

Abstract: A reflection delay line for acoustic surface waves has an input/output converter (10) and several reflector structures (13, 14, 16, 17) with a high or low reflection level and the same attenuation rate of surface waves propagating through the structures.

Abstract translation: 反射延迟线表面声波与输入/输出换能器阵列（10）和多个反射具有高或低的水平，并为它们传递表面波相同阻尼有产反射器结构（13，14，16，17）。

公开(公告)号：WO1994021040A1

公开(公告)日：1994-09-15

申请号：PCT/DE1994000263

申请日：1994-03-11

Applicant: SIEMENS MATSUSHITA COMPONENTS GMBH & CO. KG ,  KURP, Stefan ,  HARTEL, Christoph ,  RUILE, Werner ,  REINDL, Leonhard ,  ZIBIS, Peter ,  MACHUI, Jürgen

Inventor： SIEMENS MATSUSHITA COMPONENTS GMBH & CO. KG

IPC: H03H09/02

CPC classification number: H03H9/02921

Abstract: A resistance (Rp) is connected in parallel to the interdigital converter (W) of a surface wave filter in order to protect it against electrostatic discharges.

公开(公告)号：WO2012076517A1

公开(公告)日：2012-06-14

申请号：PCT/EP2011/071900

申请日：2011-12-06

Applicant: EPCOS AG ,  RUILE, Werner ,  MAYER, Markus ,  RÖSLER, Ulrike ,  HAUSER, Markus ,  BLEYL, Ingo ,  RIHA, Gerd ,  EGGS, Christoph

Inventor： RUILE, Werner ,  MAYER, Markus ,  RÖSLER, Ulrike ,  HAUSER, Markus ,  BLEYL, Ingo ,  RIHA, Gerd ,  EGGS, Christoph

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/145

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02858 ,  H03H9/02881 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/14532 ,  H03H9/14552 ,  H03H9/1457

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen elektroakustischen Wandler, der in einer akustischen Spur (AS) und auf einem piezoelektrischen Substrat (11) angeordnet ist und der zwei auf dem Substrat (11) angeordnete Elektroden (1, 2) aufweist, die ineinander greifende Elektrodenfinger (3, 4) zur Anregung von akustischen Wellen aufweisen. Die Elektrodenfinger (3, 4) einer Elektrode (1, 2) sind miteinander verschaltet. Der Wandler weist ferner Mittel zur Erhöhung der Massenbelegung in einem zentralen Anregungsbereich (ZAB), der parallel zur akustischen Spur (AS) verläuft, auf, und die Massenbelegung in dem zentralen Anregungsbereich (ZAB) ist höher als in einem Randbereich (RB), der sich von beiden Seiten an den zentralen Anregungsbereich (ZAB) anschließt.

Abstract translation: 本发明涉及在声轨（AS）的电声换能器和在压电基板上（11）被布置和所述衬底（11）的电极（1,2），该叉指式电极指上设置在两个（3 包括，4）用于声波的激发。 电极的电极指（3,4）（1,2）相互连接。 所述换能器还包括用于在中央激发范围增加质量密度的装置（ZAB）平行延伸的声轨迹（AS），并且在中央激励范围中的质量密度（ZAB）比在边缘区域（RB）越大， 是（ZAB）在两侧连接到中央激励区域。

公开(公告)号：WO2011067281A1

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：PCT/EP2010/068628

申请日：2010-12-01

Applicant: EPCOS AG ,  BINNINGER, Charles ,  KNAUER, Ulrich ,  ZOTTL, Helmut ,  RUILE, Werner ,  JEWULA, Tomasz ,  NÜSSL, Rudolf

Inventor： BINNINGER, Charles ,  KNAUER, Ulrich ,  ZOTTL, Helmut ,  RUILE, Werner ,  JEWULA, Tomasz ,  NÜSSL, Rudolf

IPC: H05K3/38 ,  H05K3/04 ,  H05K1/09 ,  H03H9/02 ,  H01L23/498 ,  H05K1/02

CPC classification number: H01L41/0477 ,  H01L23/49844 ,  H01L23/49866 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/29 ,  H01L2924/0002 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/14538 ,  H05K1/0265 ,  H05K1/0306 ,  H05K1/09 ,  H05K3/048 ,  H05K3/388 ,  H05K2201/0338 ,  H01L2924/00

Abstract: Es wird eine Metallisierung insbesondere für mit akustischen Wellen arbeitende Bauelemente angegeben, welche eine hohe Leistungsfestigkeit und eine hohe elektrische Leitfähigkeit aufweist. Dazu umfasst die Metallisierung einen Sockel mit einer unteren Schicht (BL), welche Titan umfasst und einer oberen Schicht (UL), welche Kupfer umfasst. Eine auf dem Sockel angeordnete obere Lage (TL) der Metallisierung umfasst Aluminium.

Abstract translation: 它特别表示用于与声波器件，具有高强度性能和高导电性的金属化操作。 为了这个目的，所述金属化包括具有下层（BL），其包含钛和上层（UL），其包括铜的位置。 设置金属化的顶层（TL）上的基座包括铝。

公开(公告)号：WO2009019308A3

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：PCT/EP2008060417

申请日：2008-08-07

Applicant: EPCOS AG ,  PAHL WOLFGANG ,  KRUEGER HANS ,  RUILE WERNER

Inventor： PAHL WOLFGANG ,  KRUEGER HANS ,  RUILE WERNER

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/02834 ,  H03H9/02574 ,  Y10T29/42

Abstract: The invention relates to a component combining various measures for reducing the temperature gradient. The component can have a piezoelectric substrate and electrically conductive component structures can be located on the top side of the substrate. The underside of the substrate is mechanically fixed to a compensation layer, so that mechanical restraint takes place. The underside of the substrate and the top side of the compensation layer have one topography.

Abstract translation: 公开是结合各种措施以降低温度响应的装置。 该设备可以包括一个压电基片，并且从基板的导电部件的结构可以位于的顶部。 在基板的下侧与从而形成一机械张力的补偿层机械地连接牢固。 所述基板的与下侧上的补偿层的顶部有一个形貌。

公开(公告)号：WO2009019308A2

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：PCT/EP2008/060417

申请日：2008-08-07

Applicant: EPCOS AG ,  PAHL, Wolfgang ,  KRÜGER, Hans ,  RUILE, Werner

Inventor： PAHL, Wolfgang ,  KRÜGER, Hans ,  RUILE, Werner

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/02834 ,  H03H9/02574 ,  Y10T29/42

Abstract: Es wird ein Bauelement vorgeschlagen, welches verschiedene Maßnahmen zur Absenkung des Temperaturgangs kombiniert. Das Bauelement kann ein piezoelektrisches Substrat aufweisen, und aus der Oberseite des Substrates können sich elektrisch leitende Bauelementstrukturen befinden. Die Unterseite des Substrates ist mit einer Kompensationsschicht mechanisch fest verbunden so dass eine mechanische Verspannung entsteht. Die Unterseite des Substrates und die Oberseite der Kompensationsschicht weisen eine Topographie auf.

Abstract translation: 公开是结合各种措施以降低温度响应的装置。 该设备可以包括一个压电基片，并且从基板的导电部件的结构可以位于的顶部。 在基板的下侧与补偿层，使得机械应力机械连接牢固。 所述基板的与下侧上的补偿层的顶部有一个形貌。