Abstract:
Es wird ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement (B) angegeben, bei welchem die Reflexion und Anregung weitgehend entkoppelt sind. Dazu umfasst ein Bauelement ein zwischen einem Elektrodenfinger (EF) und einem piezoelektrischen Substrat (PSU) angeordnetes Dielektrikum (DL), welches zumindest teilweise mit dem Elektrodenfinger überlappt.
Abstract:
Es wird ein Drehbewegungssensor mit mindestens einem elektroakustischen Resonator angegeben, in dem eine akustische Oberflächenwelle anregbar ist. Eine Drehbewegung des Resonators um eine Drehachse ruft die Änderung der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Welle hervor. Dies bewirkt die Änderung der Resonanzfrequenz des Resonators. Der Drehbewegungssensor umfasst vorzugsweise Schwingstrukturen (30), die in Wellenausbreitungsrichtung und in Transversalrichtung schwingfähig sind.
Abstract:
Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit zwei Substraten angegeben, zwischen denen ein Schichtsystem angeordnet ist, das eine Metallschicht und eine Schicht niedriger akustischen Impedanz Z a,2 umfasst, wobei die Metallschicht eine Schicht mit einer hohen akustischen Impedanz Z a,1 umfasst, und wobei gilt: Z a,1 / Z a,2 ≥ 4,5. Somit ist eine ausreichende akustische Reflexion für geführte akustische Volumenwellen gewährleistet. Ferner wird ein elektroakustisches Bauelement mir einem piezoelektrischen Substrat aus Lithiumtantalat angegeben, das einen Schnittwinkel φ rot YX aufweist, wobei gilt 7°
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine mit akustischen Volumenwellen arbeitende Schaltung mit mindestens zwei elektroakustischen Systemen, die jeweils in einem Zweig (Z1, Z2) angeordnet sind, wobei jedes elektroakustische System mindestens zwei im jeweiligen Zweig hintereinander geschaltete Resonatoren (R11, R12; R21, R22) aufweist, die mittels eines dazwischen angeordneten Koppelsystems (K1, K2) galvanisch voneinander getrennt und akustisch miteinander gekoppelt sind. Die elektroakustische Systeme sind akustisch über ihre Koppelsysteme (K1, K2) und/oder elektrisch miteinander gekoppelt.
Abstract:
Zur Frequenzabstimmung eines mit akustischen Wellen arbeiten-den Bauelements wird vorgeschlagen, in engem mechanischen Kontakt zu einer piezoelektrischen Anregungsschicht (PS, PS1) eine GDE-Schicht (GDE) vorzusehen, welche ihre Steifigkeit und damit die Schallausbreitungsgeschwindigkeit unter einer mechanischen Verspannung stark ändern kann, wobei der Grad der Materialausdehnung bzw. -stauchung mittels zweier Steuer-spannungs-Elektroden (ES2) und einer piezoelektrischen Ab-stimmschicht (PS, PS2) einstellbar ist.
Abstract:
Für ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement wird vorgeschlagen, die Elektrodenstruktur (ES) über einer mechanisch stabilen Anpassungsschicht (AS) anzuordnen, die zum Ab-bau des elektromechanischen Stresses dient. Weitere Verbesse-rungen der Leistungsverträglichkeit werden mit zusätzlichen Zwischenschichten (ZS) und seitlich oder ganzflächig über der Elektrodenstruktur aufgebrachten Passivierungsschichten (PS) erzielt.
Abstract:
The invention concerns a surface-wave filter in which the acoustic wavepath is reflected in order to reduce the substrate size necessary. The reflections are chosen so that interference due to temperature effects is excluded. The use of filters of this kind as partial filters in a combined filter enables cross-talk to be further reduced.
Abstract:
The present invention concerns a sensor arrangement (SAN) for measuring a pressure of an environment comprising an atmosphere. The sensor arrangement comprises a resonator (RES), a heating element (HE) that is thermally coupled to the resonator (RES), and means to measure the resonance frequency of the resonator (RES). The present invention further concerns methods to measure a pressure of an environment comprising an atmosphere using this sensor arrangement.
Abstract:
Verfahren zur Herstellung eines elektroakustichen Bauelements, umfassend die Verfahrenschritte das Bereitstellen eines Substrates für ein elektroakustisches Bauelement, das Aufbringen einer elektrisch leitfähigen Schicht auf das Substrat, das Strukturieren der elektrisch leitfähigen Schicht, das Aufbringen einer elektrisch nicht leitenden Schicht auf die strukturierte leitfähige Schicht, das Aufbringen einer Grundmetallisierung auf die elektrisch nicht leitende Schicht, das Aufdicken der Grundmetallisierung mittels eines galvanischen Verfahrens, so dass eine metallische Schicht entsteht, und das Oxidieren der metallischen Schicht, so dass eine dielektrische Schicht entsteht.
Abstract:
The invention relates to a transversal filter operating with surface waves, comprising a piezoelectric substrate and an acoustic track disposed on the substrate, a first transducer (1) and a second transducer (2) being disposed in said track. Each transducer (1, 2) has electrode fingers. A function (9) characterizing the weighting of the overlap lengths of electrode fingers having different polarity in the second transducer (2) comprises a half major lobe (23) and at least one minor lobe (24, 25). The amplitude of the lobes (23, 24, 25) decreases monotonously in a direction toward the first transducer.