公开(公告)号：WO2008113707A1

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：PCT/EP2008/052825

申请日：2008-03-10

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG ,  STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan

Inventor： STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0054 ,  G01L9/0042

Abstract: Es ist ein möglichst vielseitig einsetzbarer Drucksensor-Chip zur Messung von Differenzdrücken beschrieben, der bei hohen Temperaturen einsetzbar ist, mit einem Träger (1) aus Silizium, einer auf dem Träger (1) angeordneten Oxidschicht (3), einer auf der Oxidschicht (3) angeordneten Siliziumschicht (5), einer auf der Siliziumschicht (5) angeordneten Isolierschicht (7), und einer in dem Träger (1) vorgesehenen Ausnehmung (9), die einen eine Differenzdruckmessmembran (11) bildenden Bereich des daran angrenzenden Verbundes aus Oxidschicht (3), Siliziumschicht (5) und Isolierschicht (7) freilegt, deren von einem darauf einwirkenden Differenzdruck abhängige Auslenkung durch mindestens ein piezoresistives Element (13) erfasst wird, dass auf der von der Ausnehmung (9) abgewandten Seite der Isolierschicht (7) der Differenzdruckmessmembran (11) angeordnet ist.

Abstract translation: 中，公开了一种通用地使用压力传感器芯片，用于测量压差，这是在高温下使用，其包括载体（1）硅，一种在载体上的（1），其设置氧化物层（3），（氧化物层3上 ），其设置硅层（5），布置成一个（在硅层5）的绝缘层（7）上，和一个（在所提供的载体1）的凹部（9）包括一个压差测量膜片（11）形成在相邻复合物的区域（从氧化物层 3），硅层（5）和绝缘层（7）自曝，从属在其上的压力差偏差的作用的是由至少一个压阻元件（13），该上侧远程检测（从绝缘层的凹部9）侧（7）的 设置差压测量膜片（11）。

公开(公告)号：WO2011138148A2

公开(公告)日：2011-11-10

申请号：PCT/EP2011055946

申请日：2011-04-14

Applicant: ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG ,  THAM ANH TUAN ,  STOLZE DIETER ,  TEIPEN RAFAEL

Inventor： THAM ANH TUAN ,  STOLZE DIETER ,  TEIPEN RAFAEL

IPC: B81C1/00

CPC classification number: G01L19/0618 ,  B81C1/00103 ,  B81C2201/0143 ,  G01L7/082 ,  Y10T428/24479

Abstract: A method for the production of a counterbearing with a membrane bed comprises the following steps: providing a counterbearing body comprising silicon and removing the silicon material by means of laser ablation from a surface of the counterbearing body. Preferably, the surface processed by laser ablation is additionally oxidized; and the processed and oxidized surface is etched. The resulting pressure sensor 1 comprises two counterbearings 2a, 2b with a membrane bed 6a, 6b, which has a contour for supporting a measurement membrane 3, wherein the contour substantially corresponds to the bending line of a measurement membrane 3.

Abstract translation: 提供一推力轴承体，其包括硅，并且通过所述轴承体的表面的激光烧蚀的方式去除硅材料：使推力与隔膜床，包括以下步骤轴承的方法。 优选地发生，即使激光烧蚀加工表面的氧化; 以及蚀刻所述处理并氧化表面。 所产生的压力传感器1包括两个计数器轴承2a和2b具有隔膜床6a，图6b，其具有用于支撑测量膜片3，其中，所述轮廓基本上相应于一个测量膜片的弯曲线的轮廓。3

公开(公告)号：WO2009060069A3

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：PCT/EP2008065137

申请日：2008-11-07

Applicant: ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG ,  GETMAN IGOR ,  STOLZE DIETER ,  THAM ANH TUAN

Inventor： GETMAN IGOR ,  STOLZE DIETER ,  THAM ANH TUAN

IPC: G01L9/00 ,  G01L13/02

CPC classification number: G01L19/147

Abstract: The invention relates to a pressure measuring device comprising a base (13, 13'), an intermediate piece (15, 15') that is arranged on the base (13, 13') and connected thereto, comprising a semiconductor, and a semiconductor pressure sensor (17) that is arranged on the intermediate piece (15, 15') and connected thereto, comprising a carrier (19) and a measuring membrane (21). Said pressure measuring device can protect the sensitive measuring membrane (21) against mechanical strains in a reliable manner. The inside of the intermediate piece (15;15') comprises an annular-shaped peripheral recess (33 ) that surrounds a first cylindrical section (35) and a second cylindrical section (37) of the intermediate piece (15, 15') that is adjacent to first base-side thereof. The second cylindrical section (37) has a larger outer diameter than the first cylindrical section (35), and the recess is open towards the side of the intermediate piece (15, 15') that is oriented towards the base (13, 13'). The second cylindrical section (37) has a front surface that is oriented towards the base (13, 13'), that rests on an exposed front surface of the base (13, 13'), that forms a connection surface by means of which the intermediate piece (15, 15') can be mechanically connected in a rigid manner to the base (13, 13').

Abstract translation: 存在具有基体（13，13“）的压力测量装置，一个在所述基座（13,13”），其设置为“连接到中间片（15，15由半导体制成）的插座（13，13）”，和一个 在中间件（15，15“），被布置于中间片（15，15”连接到半导体压力传感器（17）包括支撑（19）和一测量膜片（21）），描述了（敏感公平隔膜21的可靠的保护 ）从机械张力提供，其中（在该中间片15“是一个（内部的中间片15，15）”延伸被提供（33）15环形周向凹部，其包括第一圆筒形部分（35）和与其相邻的基端侧） 中间件的第二圆柱部分（37）（15，15“），所述第二圆筒形部分（37）具有较大的外径比第一圆柱部分（35），和一个（13，13的基”面对） 在Zwi的侧 在基座（13，13“）的露出端面面向覆盖端面，其上形成的连接表面“是开放的，并且第二圆柱形部分（37）具有一个所述基体（13，13规则部分（15，15）”包括） 中间件（15，15 '）与所述基部（13，13'）被机械地刚性地连接。

公开(公告)号：WO2009060069A2

公开(公告)日：2009-05-14

申请号：PCT/EP2008/065137

申请日：2008-11-07

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG ,  GETMAN, Igor ,  STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan

Inventor： GETMAN, Igor ,  STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L19/147

Abstract: Es ist eine Druck-Messeinrichtung mit einem Sockel (13, 13'), einem auf dem Sockel (13, 13') angeordneten mit dem Sockel (13, 13') verbundenen Zwischenstück (15, 15') aus einem Halbleiter, und einem auf dem Zwischenstück (15, 15') angeordneten mit dem Zwischenstück (15, 15') verbundenen Halbleiter-Drucksensor (17) mit einem Träger (19) und einer Messmembran (21), beschrieben, die einen zuverlässigen Schutz der empfindlichen Messemembran (21) vor mechanischen Verspannungen bietet, bei dem im Zwischenstück (15;15') eine im Inneren des Zwischenstücks (15, 15') verlaufende ringfömig umlaufende Ausnehmung (33) vorgesehen ist, die einen ersten zylindrischen Abschnitt (35) und einen sockelseitig daran angrenzenden zweiten zylindrischen Abschnitt (37) des Zwischenstücks (15, 15') umschließt, wobei der zweite zylindrische Abschnitt (37) einen größeren Außendurchmesser aufweist als der erste zylindrische Abschnitt (35), und die zu einer dem Sockel (13, 13') zugewandten Seite des Zwischenstücks (15, 15') hin offen ist, und der zweite zylindrische Abschnitt (37) eine dem Sockel (13, 13') zugewandte auf einer freiliegenden Stirnfläche des Sockels (13, 13') aufliegende Stirnfläche aufweist, die eine Verbindungsfläche bildet über die das Zwischenstück (15, 15') mit dem Sockel (13, 13') mechanisch fest verbunden ist.

Abstract translation: 存在具有基体（13，13“）的压力测量装置，一个在所述基座（13,13”），其设置为“连接到中间片（15，15由半导体制成）的插座（13，13）”，和一个 在中间件（15，15“），被布置于中间片（15，15”连接到半导体压力传感器（17）包括支撑（19）和一测量膜片（21）），描述了（敏感公平隔膜21的可靠的保护 ）从机械张力提供，其中（在该中间片15“是一个（内部的中间片15，15）”延伸被提供（33）15环形周向凹部，其包括第一圆筒形部分（35）和与其相邻的基端侧） 中间件的第二圆柱部分（37）（15，15“），所述第二圆筒形部分（37）具有较大的外径比第一圆柱部分（35），和一个（13，13的基”面对） 在Zwi的侧 在基座（13，13“）的露出端面面向覆盖端面，其上形成的连接表面“是开放的，并且第二圆柱形部分（37）具有一个所述基体（13，13规则部分（15，15）”包括） 中间件（15，15 '）与所述基部（13，13'）被机械地刚性地连接。

公开(公告)号：WO2008151972A2

公开(公告)日：2008-12-18

申请号：PCT/EP2008/056900

申请日：2008-06-04

Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG ,  STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan ,  SCHWABE, Friedrich

Inventor： STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan ,  SCHWABE, Friedrich

IPC: G01L9/00 ,  G01L13/02

CPC classification number: G01L9/0055 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/0075 ,  G01L13/025

Abstract: Es ist ein ein hohes Maß an Messsicherheit bietender Differenzdrucksensor beschrieben, mit einer auf einem ersten Träger (3a) angeordneten ersten Messmembran (5a), auf deren dem Träger (3a) zugewandten Außenseite im Messbetrieb ein erster Druck (p1) einwirkt, auf deren vom ersten Träger (3a) abgewandten Innenseite mindestens eine erste Elektrode (E1, E1') und mindestens ein piezoresistives Sensorelement (R) zur Erfassung einer vom Differenzdruck abhängigen Auslenkung der ersten Messmembran (5a) angeordnet sind, einer auf einem zweiten Träger (3b) angeordneten zweiten Messmembran (5b), die parallel zur ersten Messmembran (5a) verläuft, auf deren dem Träger (3b) zugewandten Außenseite im Messbetrieb ein zweiter Druck (p2) einwirkt, auf deren vom zweiten Träger (3b) abgewandten Innenseite mindestens eine zweite Elektrode (E2, E2') angeordnet ist, die zusammen mit einer zugeordneten auf der ersten Messmembran (5a) angeordneten ersten Elektrode (E1, E1') ein kapazitives Sensorelement zur Erfassung eines zwischen dem ersten und dem zweiten Druck (p1, p2) bestehenden Differenzdrucks bildet, bei dem die erste und die zweite Messmembran (5a, 5b) über eine einen äußeren Rand (21) der Innenseite der ersten Messmembran (5a) mit einem äußeren Rand (21) der Innenseite der zweiten Messmembran (5b) verbindende mechanische Verbindung (P) und einen mit den Membranmitten der beiden Messmembranen (5a, 5b) verbundenen Abstandshalter (7) gleicher Bauhöhe parallel zueinander angeordnet sind und miteinander fest verbunden sind.

Abstract translation: 有所述的高程度的测量精度的投标者差压传感器，第一测量膜片（图5a），在其面对在测量操作的外侧支撑件（3a）中，第一压力（P1）作用在其上的第一载波（3A）上设置有一个 从至少一个第一电极（E1，E1“）和用于检测所述至少一个压阻传感器元件（R）的内部的第一测定膜（5a）的压差偏转布置产生，一个布置在第二载波上（3b）的背对所述第一载波（3a）的 第二测量膜（图5b）布置成平行于所述第一测量膜（5A）延伸，朝向所述支撑面向（3b）的测量操作外部施加来自从所述第二载体（3B）至少（第二电极背向内部的第二压力（P2） E2，E2“）被布置，其具有相关联的布置一起（在第一测量膜片5a）的第一电极（E1，E1”）的电容Sensorele 换货用于经由所述第一测量膜（5a）的内部的外边缘（21）与所述第一和第二压力之间检测一个（P1，P2）现有差压成型，其中，所述第一和第二测量膜片（5A，5B） 第二测量膜的内侧的外边缘（21），（5b）的连接的机械连接（P）和一个与所述两个测量膜片的膜片中心（5A，5B），间隔件（7），其连接设置高度彼此平行的相同并牢固地连接到彼此。