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公开(公告)号：WO2009068690A1
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：PCT/EP2008/066557
申请日：2008-12-01
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan , LÖFFLER, Frank
Inventor： STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan , LÖFFLER, Frank
CPC classification number: G01L9/0054 , H01L29/78
Abstract: Es ist ein Drucksensor-Chip zur Messung eines Drucks beschrieben, mit dem ein druckabhängiges Ausgangssignal erzielbar ist, das eine hohe Langzeitstabilität aufweist, mit einem Membranträger (1) aus Silizium, einer Messmembran (3) aus Silizium, auf die im Messbetrieb ein zu messender Druck (p) einwirkt, auf einer Oberseite der Messmembran (3) angeordneten Sensorelementen (7), die dazu dienen eine vom einwirkenden Druck (p) anhängige Auslenkung der Messmembran (3) in ein elektrisches Ausgangssignal umzuwandeln, einer auf der Oberseite der Messmembran (3) angeordneten Passivierungsschicht (13), die die Sensorelemente (7) überdeckt, und einer auf der Passivierungsschicht (13) aufgebrachten, die Sensorelemente (7) überdeckenden elektrischen Abschirmung (15) aus Molybdänsilizid.
Abstract translation: 它描述了一种压力传感器芯片，用于测量压力与压力相关的输出信号，可获得具有高的长期稳定性，具有（1）由硅制成的，一测量膜片（3）由硅制成的膜支持体，将被测量到的测量操作 压力（p）施加，一个从所施加的压力（p）提供给测量膜片（3）的待决偏转转换成电输出信号，一个（在设置于测量膜片的上侧测量膜的上侧（3）的传感器元件（7），其用于 布置3）的钝化层（13），其覆盖所述传感器元件（7），和一个（在钝化层13上）被施加，所述传感器元件（7），其覆盖由钼硅化物的电屏蔽（15）。
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公开(公告)号：WO2008107427A1
公开(公告)日：2008-09-12
申请号：PCT/EP2008/052583
申请日：2008-03-04
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , GETMAN, Igor , STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan
Inventor： GETMAN, Igor , STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan
IPC: G01L9/06
CPC classification number: G01L9/0055 , G01L9/0042
Abstract: Es ist ein piezoresistiven Drucksensor in BESOI Technologie beschrieben, der insb. für die Messung geringer Drücke geeignet ist und einen geringen Linearitätsfehler aufweist, der aus einem eine erste und eine zweite Siliziumschicht (1, 3) und eine dazwischen angeordnete Oxidschicht (5) aufweisenden BESOI Wafer gefertigt ist, der eine aus der ersten Siliziumschicht (1) des BESOI Wafers gebildete Aktivschicht (7) aufweist, in der piezoresistive Elemente (9) eindotiert sind, und der einen aus der zweiten Siliziumschicht (3) des BESOI Wafers gebildeten Membranträger (11) aufweist, der eine Ausnehmung (13) in der zweiten Siliziumschicht (3) aussenseitlich umgibt, über die ein eine Membran (15) bildender Bereich der Aktivschicht (7) und der damit verbundenen Oxidschicht (5) frei gelegt ist, bei dem in einem äusseren Rand des durch die Ausnehmung (13) frei gelegten Bereichs (21) der Oxidschicht (5) eine den Bereich (21) umgebende Nut (19) vorgesehen ist.
Abstract translation: 它是上述在BESOI技术压阻压力传感器中，电除尘器。减用于测量压力是合适的，并且具有低程度的线性误差，其包括第一和第二硅层（1,3）和插入的氧化物层（5）BESOI的 晶片制成，具有有源层形成在第一硅层（1）的BESOI晶片（7）被掺杂在压阻元件（9）中的一个，并且所述第二硅层中的一个（3）的BESOI晶片形成膜支撑（11 ），其围绕所述第二硅层中的凹部（13）（3）aussenseitlich在其上的膜（15）形成活性层（7）和（5）没有被覆盖相关联的氧化物层，的区域，其中在一个 通过围绕沟槽（19）的氧化物层（5）的区域（21）的凹部（13）露出的部分（21）的外边缘设置。
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公开(公告)号：WO2010046149A1
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/EP2009/060411
申请日：2009-08-12
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan , PÄßLER, Frank
Inventor： STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan , PÄßLER, Frank
CPC classification number: G01L9/0042 , G01L19/0618
Abstract: Ein Drucksensor 20 umfasst einen Grundkörper, eine Messmembran 7, und einen Wandler, wobei die Messmembran 7 ein Halbleitermaterial aufweist, wobei die Messmembran 7 unter Einschluss einer Druckkammer 6 an dem Grundkörper befestigt ist, wobei die Messmembran mit mindestens einem Druck beaufschlagbar ist und druckabhängig elastisch verformbar ist, wobei der Wandler ein von der Verformung der Messmembran abhängiges elektrisches Signal bereitstellt, wobei der Grundkörper ein Membranbett aufweist, an welchem die Messmembran im Falle einer Überlast anliegt, um die Messmembran abzustützen wobei das Membranbett eine Glasschicht 2 aufweist, deren Oberfläche 3 der Messmembran zugewandt ist, und eine Wand der Druckkammer bildet, und wobei die Oberfläche der Glasschicht mit einer Kontur 3 versehen ist, die geeignet ist, die Messmembran im Falle einer Überlast abzustützen.
Abstract translation: 压力传感器20包括一基体，一测量膜片7，和一个转换器，其中，所述测量膜片7包括半导体材料，其中，所述测量膜片7固定，包括一个压力室6到基体，其中，所述测量膜片与至少一个可加压和压力相关的弹性 是可变形的，其特征在于，所述换能器提供了一个依赖于测量膜片电信号的变形，其中，所述基体包括在其上被施加在过载的情况下测量膜支持测量膜片，其特征在于所述隔膜床包括玻璃层2的膜床，的表面3的 测量膜的面，并且形成压力腔室的壁，并且其中所述玻璃层的表面设置有轮廓3，其适合于在过载的情况下支撑所述测量膜片。
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公开(公告)号：WO2009077433A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/EP2008/067369
申请日：2008-12-12
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , DANNHAUER, Wolfgang , PHILIPPS, Michael , SCHWABE, Friedrich , STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan
Inventor： DANNHAUER, Wolfgang , PHILIPPS, Michael , SCHWABE, Friedrich , STOLZE, Dieter , THAM, Anh Tuan
CPC classification number: G01L19/0609 , G01L9/0073 , G01L13/026
Abstract: Eine Differenzdruckmesszelle (1) zum Erfassen der Druckdifferenz zwischen einem ersten Druck und einem zweiten Druck, umfasst: eine elastische Messanordnung mit mindestens einer Messmembran (4, 203, 205), die Silizium aufweist; mindestens einem Trägerkörper (2, 5, 204), der mit der elastischen Messanordnung druckdicht verbunden ist; einen ersten hydraulischen Pfad, um einen ersten Druck auf einen ersten Oberflächenabschnitt der elastischen Messanordnung zu übertragen; einen zweiten hydraulischen Pfad, um einen zweiten Druck auf einen zweiten Oberflächenabschnitt der elastischen Messanordnung zu übertragen, wobei der erste Druck dem zweiten Druck entgegenwirkt, und die elastische Auslenkung der Messanordnung ein Maß für die Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Druck ist, wobei die Differenzdruckmesszelle ferner mindestens eine hydraulische Drossel (9, 10, 211) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine hydraulische Drossel poröses Silizium umfasst.
Abstract translation: 用于检测第一压力和第二压力之间的压力差，其包含所述的差动压力测量单元（1）：具有至少一个测量膜片（4，203，205），其包括硅弹性测量装置; 至少一个承载体（2，5，204），所述压力密闭的方式与连接在弹性测量装置; 发送第一液压路径上的弹性测量装置的第一表面部分的第一压力; 用于发射的第二压力到弹性测量装置，其中，所述第一压力阻止所述第二压力，并且测量装置的弹性弯曲的第二表面部分的第二液压路径是在第一和第二压力，其中，所述间的差异的量度 进一步，压力差测量小区中的至少一个液压节流（9，10，211），其特征在于，所述至少一个液压限制器包括多孔硅。
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公开(公告)号：WO2012055605A3
公开(公告)日：2012-11-29
申请号：PCT/EP2011064666
申请日：2011-08-25
Applicant: ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG , THAM ANH TUAN , TEIPEN RAFAEL , STOLZE DIETER
Inventor： THAM ANH TUAN , TEIPEN RAFAEL , STOLZE DIETER
CPC classification number: G01L13/025 , G01L13/026 , G01L19/04
Abstract: A pressure transducer comprises: a housing 10 having a transducer chamber 12 which has first and second stop surfaces 14, 16 opposite one another; and a transducer core 30, wherein a first channel 18 leads at least to the first stop surface 14, wherein at least one second channel 20 leads to the transducer chamber, wherein a first pressure and a second pressure can be introduced into the transducer chamber through the channels, wherein the transducer core 30 is clamped between a first elastic body 22 and a second elastic body 24, wherein the elastic bodies 22, 24 are each arranged between a surface 32, 34 of the transducer core and the two stop surfaces 14, 16, wherein at least the first elastic body 22 has an opening which is aligned with the at least one channel 18, via which a first pressure can be applied to the transducer core 30.
Abstract translation: 一种压力传感器，包括：壳体10，其具有换能器室12，换能器室12具有彼此相对的第一和第二邻接表面14,16; 和换能器芯部30，至少在第一抵靠面14，18打开的第一信道，其中，在转换器腔室具有至少一个第二通道通20，其中可通过所述通道被引入在所述换能器腔室中的第一和第二压力，一个之间的换能器芯30 第一弹性体22和第二弹性体被夹紧24，其中，所述弹性体22，24分别其中至少所述第一弹性体22具有表面32，该变压器芯34和两个止动面14之间的开口，16被布置， 其与至少一个通道18对齐，换能器芯30可以通过第一压力作用于该至少一个通道18。
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Patent Agency Ranking6.发明申请
公开(公告)号：WO2011138148A3
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：PCT/EP2011/055946
申请日：2011-04-14
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , THAM, Anh, Tuan , STOLZE, Dieter , TEIPEN, Rafael
Inventor： THAM, Anh, Tuan , STOLZE, Dieter , TEIPEN, Rafael
IPC: B81C1/00
Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen eines Gegenlagers mit einem Membranbett umfasst die folgenden Schritte: Bereitstellen eines Gegenlagerkörpers, welcher Silizium aufweist und Abtragen des Siliziummaterials mittels Laserablation von einer Oberfläche des Gegenlagerkörpers. Bevorzugt erfolgt noch eine Oxidation der mit Laserablation bearbeiteten Oberfläche; und Ätzen der bearbeiteten und oxidierten Oberfläche. Der resultierende Drucksensor 1 umfasst zwei Gegenlager 2a, 2b mit einem Membranbett 6a, 6b, welches eine Kontur zum Abstützen einer Messmembran 3 aufweist, wobei die Kontur im wesentlichen der Biegelinie einer Messmembran 3 entspricht.
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公开(公告)号：WO2007077168A1
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：PCT/EP2006/070169
申请日：2006-12-22
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , THAM, Anh, Tuan , BURCZYK, Dietfried , STOLZE, Dieter
Inventor： THAM, Anh, Tuan , BURCZYK, Dietfried , STOLZE, Dieter
IPC: G01L9/06
CPC classification number: G01L9/0055
Abstract: Ein Drucksensor umfasst einen Sensorkörper 1; eine Messmembran 4, die von dem Sensorkörper gehalten wird, mit einem Druck beaufschlagbar und druckabhängig verformbar ist; mindestens zwei Widerstandselemente 11, 12 die eine Al x Ga 1-x N-Schicht 6 aufweisen, wobei mindestens ein erstes Widerstandselement der mindestens zwei Widerstandselemente auf der Messmembran angeordnet ist und einen verformungsabhängigen Widerstandswert aufweist. Mit einer Messschaltung zum Erfassen eines Signals, welches von den Widerstandswerten der mindestens zwei Widerstandselemente in der Ebene der Al x Ga 1-x N-Schicht abhängt, kann der Drucksensor betrieben werden. Vorzugsweise sind vier Widerstandselemente (11, 12) in einer Vollbrücke vorgesehen.
Abstract translation: 一种压力传感器，包括传感器主体1; 一测量膜片4，其由传感器主体支撑可根据并用压力而变形压力依赖担任; 至少两个电阻元件11，12中，Al X GA 1-x具有 N层6，其中，至少所述至少两个电阻元件的第一电阻元件被布置在测量膜和一个 具有应变相关电阻值。 有用于检测信号，它是1-X 取决于所述至少两个电阻元件的电阻值以x GA N层，可以操作所述压力传感器将Al 的平面中的测量电路 ， 优选地，四个电阻元件（11，12）以全桥。
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公开(公告)号：WO2012055605A2
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：PCT/EP2011/064666
申请日：2011-08-25
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , THAM, Anh Tuan , TEIPEN, Rafael , STOLZE, Dieter
Inventor： THAM, Anh Tuan , TEIPEN, Rafael , STOLZE, Dieter
CPC classification number: G01L13/025 , G01L13/026 , G01L19/04
Abstract: Ein Druckmesswandler, umfasst: ein Gehäuse 10 mit einer Wandlerkammer 12, welche erste und zweite Anschlagflächen 14, 16 aufweist, die einander gegenüberliegen; und einen Wandlerkern 30, wobei zumindest in der ersten Anschlagfläche 14 ein erster Kanal 18 mündet, wobei in der Wandlerkammer zumindest ein zweiter Kanal 20 mündet, wobei durch die Kanäle ein erster und zweiter Druck in die Wandlerkammer einleitbar sind, wobei der Wandlerkern 30 zwischen einem ersten elastischen Körper 22 und einem zweiten elastischen Körper 24 eingespannt ist, wobei die elastischen Körper 22, 24 jeweils zwischen einer Oberfläche 32, 34 des Wandlerkerns und der beiden Anschlagflächen 14, 16 angeordnet ist, wobei zumindest der erste elastische Körper 22 eine Öffnung aufweist, welche mit dem zumindest einem Kanal 18 fluchtet, über welchen der Wandlerkern 30 mit einem ersten Druck beaufschlagbar ist.
Abstract translation: 一种压力传感器，包括：具有一个换能器室12中，其中第一和第二止动面14，16，其是彼此相对的壳体10; 和换能器芯部30，至少在第一抵靠面14，18打开的第一信道，其中，在转换器腔室具有至少一个第二通道通20，其中可通过所述通道被引入在所述换能器腔室中的第一和第二压力，一个之间的换能器芯30 第一弹性体22和第二弹性体被夹紧24，其中，所述弹性体22，24分别其中至少所述第一弹性体22具有表面32，该变压器芯34和两个止动面14之间的开口，16被布置， 其与通过该变压器芯可以经受一个第一压力第三十零所述至少一个通道18对齐
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公开(公告)号：WO2011051089A1
公开(公告)日：2011-05-05
申请号：PCT/EP2010/064983
申请日：2010-10-07
Applicant: ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , KOBER, Timo , PHILIPPS, Michael , STOLZE, Dieter , THAM, Anh, Tuan , WERTHSCHÜTZKY, Roland
Inventor： KOBER, Timo , PHILIPPS, Michael , STOLZE, Dieter , THAM, Anh, Tuan , WERTHSCHÜTZKY, Roland
CPC classification number: G01L9/0042 , C03B23/0026 , G01L19/0618
Abstract: Der erfindungsgemäße Drucksensor umfasst mindestens einen Grundkörper, mindestens eine Messmembran (30), und einen Wandler, wobei die Messmembran ein Halbleitermaterial aufweist, wobei die Messmembran unter Einschluss einer Druckkammer an dem Grundkörper befestigt ist, wobei die Messmembran mit mindestens einem Druck beaufschlagbar ist und druckabhängig elastisch verformbar ist, wobei der Wandler ein von der Verformung der Messmembran abhängiges elektrisches Signal bereitstellt, wobei der Grundkörper ein Membranbett aufweist, an welchem die Messmembran im Falle einer Überlast anliegt, um die Messmembran abzustützen, wobei das Membranbett (21) eine Glasschicht (20) aufweist, deren Oberfläche der Messmembran zugewandt ist, und eine Wand der Druckkammer bildet, wobei die Oberfläche der Glasschicht eine Kontur aufweist, die geeignet ist, die Messmembran (30) im Falle einer Überlast abzustützen, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontur des Membranbetts (21) erhältlich ist durch Durchbiegen eines nicht unterstützten Bereichs einer Glasplatte, welche die Glasschicht bildet, bei erhöhter Temperatur aufgrund der Schwerkraft des nicht unterstützten Bereichs der Glasplatte und anschließendem Abkühlen der Glasplatte.
Abstract translation: 根据本发明的压力传感器包括至少一个基体，至少一个测量膜片（30），和一个转换器，其中，所述测量膜片具有半导体材料，其中，所述测量膜片安装，包括在基体的压力室，其中，所述测量膜片与至少一个可加压和压力依赖性 是可弹性变形，其中所述换能器提供了一个依赖于测量膜片电信号的变形，其中，所述基体包括在其上被施加在过载的情况下测量膜支持测量膜片膜床，其中所述隔膜床（21）的玻璃层（20 ），其表面面向所述测量膜片，并形成压力室的一个壁，所述玻璃层的表面具有这样的轮廓，其适合于在过载的情况下支撑所述测量膜片（30），其特征在于所述膜床的轮廓（ 21）是可获得的 通过由于玻璃板的不支持的部分的重力弯曲玻璃板形成玻璃层，在升高的温度的不支持的部分，然后冷却玻璃板。
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公开(公告)号：WO2008151972A3
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：PCT/EP2008056900
申请日：2008-06-04
Applicant: ENDRESS & HAUSER GMBH & CO KG , STOLZE DIETER , THAM ANH TUAN , SCHWABE FRIEDRICH
Inventor： STOLZE DIETER , THAM ANH TUAN , SCHWABE FRIEDRICH
CPC classification number: G01L9/0055 , G01L9/0073 , G01L9/0075 , G01L13/025
Abstract: The invention relates to a differential pressure sensor, comprising a first measuring diaphragm (5a), arranged on a first support (3a), on the exterior of which facing the support (3a) a first pressure (p1) acts, on the interior of which facing away from the first support (3a) at least one electrode (E1, E1') and at least one piezoresistive sensor element (R) for detecting a differential pressure-dependent deflection of the first measuring diaphragm (5a) are arranged, a second measuring diaphragm (5b), arranged on a second support (3b), which extends in parallel to the first measuring diaphragm (5a), on the exterior of which facing the support (3b) a second pressure (p2) acts, on the interior of which facing away from the second support (3b) at least one second electrode (E2, E2') is arranged which together with a dedicated first electrode (E1, E1') arranged on the first measuring diaphragm (5a) forms a capacitative sensor element, the first and the second measuring diaphragm (5a, 5b) being arranged in parallel and being firmly interconnected via a mechanical connection (P) that connects an outer edge (21) of the interior of the first measuring diaphragm (5a) to an outer edge (21) of the interior of the second measuring diaphragm (5b) and a spacer (7) of the same height connected to the diaphragm centers of the two measuring diaphragms (5a, 5b).
Abstract translation: 面对所述第一测量膜（5a）的一第一托架（3a）的上布置有一个压差传感器到所述支撑件（3a）的外侧被施加的第一压力（P1），其上从至少一个第一电极的内侧（E1背向所述第一载波（3a）的 ，E1“）和所述至少一个压阻传感器元件（R），用于检测由所述第一测量膜（5a）的压差偏转产生的布置中，一个（第二3b）的载体上设置（图5b）的面向它们的（载流子的第二测量膜3b）的 外面的行为，第二压力在其上（图3b）从所述内部的至少一个第二电极（E2，E2“）的面向远离所述第二载波被布置（P2），其与一个在所述第一电极的所述第一测量膜片（5a）中相关联的布置在一起（E1， E1“）形成电容式传感器元件，其中第一和第二测量膜片（5A，5B）（通过一个外边缘（21），所述第一测量膜片5a的内部的） （7）（5b）的连接的机械连接（P）中，用两个测量膜片的中心（5A，5B）相关联的隔离物的膜的第二测量膜的内侧的外边缘（21）是固定在一起的相同的高度。
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