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公开(公告)号：KR101140750B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020100034305
申请日：2010-04-14
Applicant: (주)세온
IPC: H01L31/18 , H01L21/205 , C23C16/52
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 곡면과 같은 복잡한 형상의 투명 모재 기판위에 FTO 투명전도막을 형성하는 코팅 시스템에 관한 것으로, 특히, 전처리 챔버, 증착챔버, 후처리 챔버가 선형적으로 연결되어 있고, 상기 증착 챔버의 일측면부에 구비되는 곡면화 노즐로부터 FTO 프리커서가 분사되고 곡면의 형상을 갖는 서셉터를 통하여 FTO 박막의 증착이 이루어지는 동시에 반대 측면부에서 석션을 함으로서 FTO 프리커서 플로우가 기판과 평행하게 흐르게 함으로서 가열된 기판에 FTO가 균일 도포되게 하는 곡면 FTO 코팅 시스템에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020110136114A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：KR1020100055913
申请日：2010-06-14
Applicant: (주)세온
Inventor： 송철규
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/1884 , H01B1/08 , H01L31/022466 , H01L51/442 , H01L2251/306 , Y02E10/542 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing the FTO(F-Doped Tin Oxide) of a double membrane structure is provided to produce a high haze optical property by forming a poly-crystal FTO film on the lower part and a nanorod FTO layer on the poly-crystal FTO film. CONSTITUTION: A substrate is heated at a temperature of 400-500°C. A flat FTO(2) is manufactured by spraying the precursor containing Sn(Stannum) on a heated substrate. The flat FTO film is heated at a temperature over 500-550°C. A FTO nanorod layer(3) is formed by spraying the precursor with the Sn on a heated FTO. A poly-crystal FTO film is formed in the lower part. A nanorod FTO layer is formed on a polycrystal FTO film.
Abstract translation: 目的：提供一种制造双膜结构的FTO（F掺杂氧化锡）的方法，通过在下部形成多晶FTO膜和在多晶硅膜上形成纳米棒FTO层以产生高雾度光学性能， 水晶FTO电影。 构成：将衬底在400-500℃的温度下加热。 通过在加热的基底上喷涂含有Sn（锡）的前体来制造扁平FTO（2）。 平面FTO膜在500-550℃以上的温度下加热。 通过在加热的FTO上用Sn喷涂前体形成FTO纳米棒层（3）。 在下部形成多晶FTO膜。 在多晶FTO膜上形成纳米棒FTO层。
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公开(公告)号：KR101573902B1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：KR1020130061243
申请日：2013-05-29
Applicant: (주)세온
IPC: H01B13/00
CPC classification number: H01L31/1884 , H01L31/022466 , Y02E10/50
Abstract: 불소가도핑된고투과율의산화주석박막제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른불소가도핑된고투과율의산화주석박막제조방법은 SnClㆍ5HO, SnCl및 SnCl·2HO 중어느하나와 NHF, HF 및 acetyl fluoride 중어느하나를용매에혼합하여 F/Sn의몰비가 0.4~1.4인프리커서(precursor) 용액을제조하는단계; 및기판상에상기제조된상기프리커서용액을분사하여상기기판상에불소가도핑된산화주석박막(FTO)을형성하는단계를포함하고, 상기프리커서용액을제조하는단계는물에 5~20%의에탄올을포함하는용매를이용하여상기프리커서용액을제조함으로써, 가시광선영역뿐만아니라자외선영역과적외선영역에서의투과율을높이고, 헤이즈(haze)를향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150033780A
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：KR1020130112685
申请日：2013-09-23
Abstract: 본발명은「유연기판(투명전도막이코팅된것일수 있음) 상에형성된금속배선구조로서, 상기유연기판을필요한부분만큼깎아내어(투명전도막이코팅된경우투명전도막만을필요한부분만큼깎아내거나투명전도막과상기유연기판을필요한부분만큼깍아내어) 형성된라인형태의음각부; 상기음각부상에임의의간격과패턴으로형성되되상기유연기판의일정깊이까지파인다수개의홈; 및상기음각부및 상기다수개의홈에충전된금속;을포함하여구성되어, 상기금속이배선을이루되상기다수개의홈에충전된부분이핀형구조를이루고있는것을특징으로하는유연기판상 금속배선구조」및 「(a) 유연기판(투명전도막이코팅된것일수 있음)을준비하는단계; (b) 레이저스크라이빙(laser scribing)을통해상기유연기판을필요한부분만큼깎아내어(투명전도막이코팅된경우투명전도막만을필요한부분만큼깎아내거나투명전도막과상기유연기판을필요한부분만큼깍아내어) 라인형태의음각부를형성시키는단계; (c) 상기음각부상에임의의간격과패턴으로레이저를조사(照射)하여상기유연기판의일정깊이까지파인다수개의홈을형성시키는단계; 및 (d) 상기음각부및 상기다수개의홈에금속을충전시키는단계;를포함하는유연기판상 금속배선방법」을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及形成在柔性基板（可涂覆有透明导电膜）上的金属布线结构。 柔性结构上的金属布线结构包括：将作为柔性基板形成的线状的凹部雕刻成所需的部分（因为透明导电膜和柔性膜被雕刻成所需部分的多少 或仅在透明导电膜被涂覆时，仅将透明导电膜雕刻成所需部分）; 在一定的图案上以一定的间隔形成在凹部上并在柔性基板上凹陷一定深度的多个槽; 和填充在凹部和凹槽中的金属。 因此，金属形成布线并且填充在凹槽中的部分是销状结构。 此外，提供了一种柔性基板上的金属布线方法，其包括以下步骤：（a）制备柔性基板（可以涂覆有透明导电膜）; （b）通过激光划线将柔性基板形成为所需要的部分，形成线状的凹部（由于透明导电膜和柔性膜被雕刻成所需部分或只有透明导电膜为 当涂覆有透明导电膜时雕刻成所需部分）; （c）通过以一定的间隔以一定的间隔将激光照射到凹部来形成在柔性基板上凹陷一定深度的多个凹槽; 和（d）在所述凹部和所述槽中填充金属。
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公开(公告)号：KR1020110135612A
公开(公告)日：2011-12-19
申请号：KR1020100055440
申请日：2010-06-11
Applicant: (주)세온
Abstract: PURPOSE: A processing of FTO film on physically stabilized ultra-flexible thin substrate is provided to stabilize nucleation at coating process and conduct uniform grain growth by restraining vibration, drying, dusting, broking and elongation generated in super soft/ultra-light substrate. CONSTITUTION: A processing of FTO film on physically stabilized ultra-flexible thin substrate comprises a step of stabilizing by one method selected from physical fixing, electromagnetic fixing, chemical fixing and fluid mechanical fixing. The physical fixing is operated by pushing, weighting, physical connecting, etc. The electromagnetic fixing is operated by magnetic force, electromagnetic force, etc. The chemical fixing is operated by adhesive, binder, paste, etc. The fluid mechanical fixing is operated by reducing pressure, vacuum, etc. In the next step, the conducting film for a super soft substrate is formed. The super soft substrate is one among ceramics, glass, polymer, cotton flannel composite material. The super soft glass substrate is one among ultra-thin-sheet glass, and glass ribbon. The super soft polymer substrate is one among polyimide[PI], Teflon resin[PTFE], poly norborene resin[PNB], composite resin containing clay.
Abstract translation: 目的：提供物理稳定的超柔性薄基板上的FTO膜的加工，以在涂覆过程中稳定成核，并通过抑制在超柔软/超轻基材中产生的振动，干燥，除尘，断裂和伸长来均匀的晶粒生长。 构成：物理稳定的超柔性薄基板上的FTO膜的处理包括通过选自物理固定，电磁固定，化学固定和流体机械固定的一种方法进行稳定的步骤。 物理固定通过推，加重，物理连接等操作。电磁固定由磁力，电磁力等操作。化学固定由粘合剂，粘合剂，糊剂等进行操作。流体机械固定由 减压，真空等。在下一步骤中，形成超软基板用导电膜。 超柔软基材是陶瓷，玻璃，聚合物，棉绒复合材料之一。 超级软玻璃基板是超薄板玻璃和玻璃带之一。 超柔性聚合物基材是聚酰亚胺[PI]，特氟隆树脂[PTFE]，聚降冰片树脂[PNB]，含有粘土的复合树脂之一。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110114921A
公开(公告)日：2011-10-20
申请号：KR1020100034305
申请日：2010-04-14
Applicant: (주)세온
IPC: H01L31/18 , H01L21/205 , C23C16/52
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , C23C16/52 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 곡면과 같은 복잡한 형상의 투명 모재 기판위에 FTO 투명전도막을 형성하는 코팅 시스템에 관한 것으로, 특히, 전처리 챔버, 증착챔버, 후처리 챔버가 선형적으로 연결되어 있고, 상기 증착 챔버의 일측면부에 구비되는 곡면화 노즐로부터 FTO 프리커서가 분사되고 곡면의 형상을 갖는 서셉터를 통하여 FTO 박막의 증착이 이루어지는 동시에 반대 측면부에서 석션을 함으로서 FTO 프리커서 플로우가 기판과 평행하게 흐르게 함으로서 가열된 기판에 FTO가 균일 도포되게 하는 곡면 FTO 코팅 시스템에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020110113292A
公开(公告)日：2011-10-17
申请号：KR1020100032602
申请日：2010-04-09
Applicant: (주)세온
IPC: H05B3/84
CPC classification number: H05B3/84 , H01L21/02282 , H05B3/10 , H05B2203/017
Abstract: 본 발명은 FTO 투명전도막과 글라스 유리기판 사이에 상기 FTO 투명전도막보다도 저전기저항성의 금속 메쉬를 그리드 형태로 형성시켜 대면적 투명 발열히터를 제작하는 방법으로, FTO 투명전도막층은 스프레이 파이로졸법에 의해 형성된다.
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公开(公告)号：KR1020140021138A
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：KR1020120086692
申请日：2012-08-08
IPC: B23K26/36 , H01B13/00 , H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: The present invention relates to a patterning method to form a leading wire having a line width no wider than 30μm from a transparent conducting oxide coated on a substrate using a laser beam. Provided in the present invention is a fine patterning method for a transparent conducting oxide using laser scribing which includes: (a) a phase for preparing a substrate coated with a transparent conducing oxide; (b) a phase for rounding off the transparent conducing oxide, leaving with a flank around the transparent conducing wire portion using a broad-width laser beam; and (c) a phase for rounding off the flank with a narrow-width laser beam. [Reference numerals] (AA) FTO film(top); (BB) FTO film; (CC) Cross section; (DD) Substrate(PI, glass, plastic, ceramic, metal); (EE) FTO laser etching; (FF) FTO etched part(scribbing)
Abstract translation: 本发明涉及一种使用激光束从涂覆在基板上的透明导电氧化物形成线宽不大于30μm的引线的图案化方法。 在本发明中提供了一种使用激光划线的透明导电氧化物的精细图案化方法，其包括：（a）用于制备涂覆有透明导电氧化物的基底的相; （b）用于使透明导电氧化物四舍五入的相位，使用宽幅激光束在透明导电线部分周围留下一个侧面; 和（c）用窄宽度激光束使侧面倒圆的相位。 （附图标记）（AA）FTO膜（顶部）; （BB）FTO电影; （CC）截面; （DD）基材（PI，玻璃，塑料，陶瓷，金属）; （EE）FTO激光蚀刻; （FF）FTO蚀刻部分（划线）
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公开(公告)号：KR101337967B1
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020110068782
申请日：2011-07-12
Applicant: (주)세온
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본 발명은 굽힘 가공성을 가지는 저저항 고투과율 FTO 투명전도막 제조 방법으로, 불소가 도핑된 산화주석 투명전도막을 상압 CVD 및 스프레이 파이로졸법에 의하여 투명기판위에 증착하는 단계; 상기 불소가 도핑된 산화주석 박막을 air 분위기하에서 후 열처리하여 곡면가공 또는 굽힘성형하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020130008191A
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110068783
申请日：2011-07-12
Applicant: (주)세온
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a FTO(Fluorine Doped Tin Oxide) transparent conductive film with nonlinear continuous transfer device is provided to improve the uniformity of a thin film on a curved substrate by transferring a glass substrate to a pre-heating chamber, deposition chamber, and a annealing heat chamber by stages. CONSTITUTION: A pre-heating unit(2), a deposition unit(1), and an annealing heat chamber(3) are connected to a nonlinear transfer apparatus. The nozzle unit is attached to a complex shaped substrate at a right angle. An exhaust unit is installed at the side of a nozzle. The substrate is heated and surface-processed, and moved to the deposition unit. A FTO free cursor is sprayed through the nozzle of the deposition unit. The FTO free cursor reaches the substrate through the FTO free cursor. An even curved surface FTO film is formed. A curved substrate with FTO is rapidly cooled in an annealing heat unit. [Reference numerals] (2) Pre-heating unit; (3) Annealing part; (4) Air knife(Air curtain); (5) Tension device; (6) Mist supply; (7) Exhaust
Abstract translation: 目的：提供一种制造具有非线性连续转印装置的FTO（氟掺杂氧化锡）透明导电膜的方法，以通过将玻璃基板转移到预热室，沉积室来提高弯曲基板上的薄膜的均匀性 ，和退火加热室。 构成：预热单元（2），沉积单元（1）和退火加热室（3）连接到非线性传送装置。 喷嘴单元以直角连接到复杂形状的基板。 排气单元安装在喷嘴的侧面。 将衬底加热并进行表面处理，并移动到沉积单元。 FTO自由光标通过沉积单元的喷嘴喷射。 FTO自由光标通过FTO自由光标到达基板。 形成均匀的曲面FTO膜。 具有FTO的弯曲基板在退火加热单元中快速冷却。 （附图标记）（2）预热单元; （3）退火部件; （4）气刀（气帘）; （5）张力装置; （6）雾化供应; （7）排气
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