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公开(公告)号：WO2018117580A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：PCT/KR2017/014979
申请日：2017-12-19
Applicant: (주)세온
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/40
Abstract: 본 발명은 칩의 본딩을 위한 본딩 장치에 장착되는 히터 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 어셈블리는, 하면에 발열 박막층이 형성되는 발열체와, 에어의 유입이 가능한 이격 공간이 형성되도록 발열체의 하부에 장착되는 인슐레이터와, 인슐레이터가 고정 설치되는 베이스부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101795707B1
公开(公告)日：2017-12-04
申请号：KR1020160057225
申请日：2016-05-10
Applicant: (주)세온
IPC: H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/324 , H01L21/02172 , H01L21/67098 , H01L21/67248 , H01L21/683
Abstract: 본발명은서셉터, 이를포함하는증착장치및 서셉터의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른서셉터는가열될피처리체를지지하는제 1 주면및 상기제 1 주면에반대되는제 2 주면을포함하고, 상기피처리체로열을전달하는열 확산블록; 상기열 확산블록를가열시키기위해, 상기열 확산블록의상기제 1 주면상에적층되는제 1 박막발열층; 상기열 확산블록의열 팽창계수와상기제 1 박막발열층의열 팽창계수의사이값인열 팽창계수를가지며, 상기열 확산블록의상기제 1 주면과상기제 1 박막발열층사이에배치되어상기열 확산블록와상기제 1 박막발열층을전기적으로절연시키는제 1 후막절연층을포함하며, 상기제 1 후막절연층은상기열 확산블록의상기제 1 주면상에코팅되고상기제 1 박막발열층은상기제 1 후막절연층상에증착되어상기열 확산블록, 상기제 1 후막절연층및 상기제 1 박막발열층이일체화된다.
Abstract translation: 基座，包括该基座的沉积装置以及制造该基座的方法技术领域本发明涉及基座， 根据本发明的一个方面，提供了一种基座，包括：散热块，其包括用于支撑待加热物体的第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面， 第一薄膜加热层，层压在散热块的第一主表面上以加热散热块; 设置在第一薄膜发热层，其特征在于具有热扩散块中的第一薄膜发热层的热膨胀系数的热膨胀系数的热膨胀系数之间的值的散热块的第一主表面之间， 以及使散热块与第一薄膜加热层电绝缘的第一厚膜绝缘层，其中第一厚膜绝缘层涂覆在散热块的第一主表面上，并且第一薄膜加热层 散热块，第一厚膜绝缘层和第一薄膜加热层集成在第一厚膜绝缘层上。
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公开(公告)号：KR1020170045461A
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：KR1020150145020
申请日：2015-10-16
Applicant: (주)세온
Abstract: 본발명은열 변환용트레이및 조리용오븐에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른트레이는마이크로웨이브에의해조리대상물을조리하는전자레인지의조리실내에장착되어상기조리대상물을담는용기일수 있다. 상기트레이는기판플레이트및 상기기판플레이트의일 주면상에코팅되고상기조리실내부로방출된마이크로웨이브를흡수하여적외선으로변환시키는금속산화물발열층을포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及热转换托盘和烹饪烤箱。 根据本发明的一个实施例中托盘被安装在微波炉的烹饪室由微波容器可以保持天的烹饪物体的数量做饭烹调目标。 托盘可以是金属氧化物的发热层吸收发射到烹饪室中的微波被涂覆在基底板和用于将红外线基底板的一个表面上。
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公开(公告)号：KR1020160140281A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150076738
申请日：2015-05-29
Applicant: (주)세온
Abstract: 본발명은박막형성을위한액적발생장치, 이를포함하는박막형성장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른액적발생장치는, 소스용액을수용하는제1 용기및 소스용액으로부터분무될액적들을형성하기위한에너지소스를포함하는액적생성부, 제1 용기에연통되어소스용액의일부를수용하는제2 용기및 제2 용기에수용된소스용액의일부의레벨을측정하는센서부를포함하는레벨센싱부및 센세부에서측정된결과에기초하여에너지소스에인가되는전기에너지를조절하여분무될액적들의양이일정하게유지되도록제1 용기에수용된소스용액의레벨을미리설정된레벨로유지시키는레벨제어부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160023250A
公开(公告)日：2016-03-03
申请号：KR1020140109293
申请日：2014-08-21
Applicant: (주)세온
IPC: C23C16/448
CPC classification number: C23C16/448 , C23C16/4486
Abstract: 본발명은박막형성을위한전구체공급장치, 이를포함하는박막형성장치, 및이를이용하는박막형성방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른전구체공급장치는, 액상원료를저장하는원료저장부; 상기원료저장부에결합되어, 액적형태로상기액상원료를토출하는액적공급부; 및기화공간을한정하는챔버월; 상기챔버월의제 1 측부에형성되고, 상기액적공급부로부터상기기화공간으로액적들이통과하는액적인렛(inlet); 상기기화공간에결합되어상기기화공간내의상기액적들을기화시켜, 상기기화공간내에기상전구체를형성하는가열부; 상기기화공간내부로운반가스를인입하기위해상기챔버월의제 2 측부에형성된운반가스인렛; 상기챔버월의제 3 측부에형성되고상기반응챔버로상기운반가스에혼합된상기기상전구체를출력하는전구체아웃렛(outlet)을포함하는전구체기화부를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成薄膜的前体供应装置，具有前体供应装置的薄膜形成装置和使用其的薄膜形成方法。 根据本发明实施例的前体供应装置包括：原料储存单元，储存液体原料; 液滴供给单元，连接到所述原料储存单元并排出所述液体原料; 限制蒸发空间的室壁; 液滴入口形成在室壁的第一侧向单元中，液滴从液滴供应单元通过该液滴入口流到蒸发空间; 通过蒸发蒸发空间内的液滴，连接到蒸发空间并在蒸发空间内形成气体前体的加热单元; 转移气体入口，其形成在所述室壁的第二侧向单元中，以将转移气体输入到所述蒸发空间的内部; 以及形成在室壁的第三侧向单元中的前体蒸发单元，并且包括将与转移气体混合的气态前体排放到反应室的前体出口。 本发明的目的是提供能够使原料的浪费最小化的前体供给装置，以便容易且经济地形成薄膜，并且在各种区域和各种形状的待处理物体上形成具有均匀性质的薄膜 。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101472377B1
公开(公告)日：2014-12-15
申请号：KR1020130112688
申请日：2013-09-23
IPC: C23C26/00 , C23C16/44 , H01L21/205
Abstract: 본 발명은 「(a) 유연 기판이 일측면으로 들어가 코팅공정 후 타측면으로 나오도록 구성된 코팅챔버를 준비하는 단계; (b) 유연 기판을 상기 코팅챔버 내부로 이송하고, 상기 유연 기판의 상·하면이 공간에 노출되도록 하는 단계; (c) 상기 유연 기판을 고정하되, 공정 진행 방향 기준으로 상기 유연 기판의 전방과 후방 가장자리를 고정하는 단계; 및 (d) 투명전도막 프리커서를 상기 유연 기판의 상·하면과 평행을 이루면서 공정 진행 방향과는 수직을 이루는 방향으로 흘려주어 상기 유연 기판에 증착시키는 단계;를 포함하여 구성된 유연 기판 투명전도막 양면 코팅 방법」을 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种涂覆柔性基板的透明导电膜的两面的方法，包括：制备涂覆室的步骤（a），其形成为允许柔性基板进入一侧并从另一侧出来 涂装后; 将柔性基板转移到涂布室的内部并将柔性基板的上侧和下侧暴露于空间的步骤（b） 固定柔性基板的步骤（c），以及基于加工方向固定柔性基板的前后边缘; 以及通过在与柔性基板的上侧和下侧平行的方向上使垂直于处理方向的方向流过透明导电膜前体而在柔性基板上沉积透明导电膜前体的步骤（d）。
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7.发明公开염기성 페이스트를 이용한 알칼리 금속 패터닝 방법, 알칼리 금속 치환에 의한 구리 패터닝 방법 및 구리선을 내포한 투명전도막 제조방법 有权使用碱性磷酸盐的碱性金属图案方法，由铜箔制造方法包裹的碱金属和透明膜的替代物的铜图案
公开(公告)号：KR1020140021314A
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：KR1020120087578
申请日：2012-08-10
CPC classification number: H01B13/0026 , G06F3/041 , G06F2203/04103 , H01B5/14
Abstract: The present invention relates to a metal wiring technique for enabling a large-sized process and reducing process costs compared to an existing technique by using basic paste. The present invention is to provide an alkali metal patterning method using basic paste that includes a step (a) of manufacturing basic paste by mixing a thickener with a basic solution including alkali metal; and a step (b) of adsorbing the alkali metal to a substrate by patterning the basic paste to the substrate made of a basic reaction resin.
Abstract translation: 本发明涉及一种金属配线技术，与现有技术相比，通过使用基本糊料，能够实现大型工艺并降低工艺成本。 本发明提供一种使用碱性糊料的碱金属图案形成方法，其包括通过将增稠剂与碱金属的碱性溶液混合来制造碱性糊料的工序（a） 以及通过将碱性浆料图案化为由碱性反应树脂制成的基材将碱金属吸附到基材上的步骤（b）。
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公开(公告)号：KR101348118B1
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：KR1020120087580
申请日：2012-08-10
CPC classification number: H01B13/0026 , G06F3/041 , G06F2203/04103 , H01B5/14
Abstract: The present invention relates to a metal wiring method for a substrate which is coated with a transparent conductive layer, capable of selectively forming a metal wire on the substrate which is exposed by cutting the transparent conductive layer which is coated on the upper part of the substrate in a laser scribing method. The present invention provides the method wiring method for the substrate which is coated with the transparent conductive layer including (a) a step of preparing the substrate which is coated with the transparent conductive layer, (b) a step of exposing the substrate by cutting the transparent conductive layer as necessary through a laser scribing, and (c) a step of forming the metal wire on the exposed substrate. [Reference numerals] (AA) Polymer protection film; (BB) Laser etching; (CC) Copper line; (DD) Remove polymer
Abstract translation: 本发明涉及一种涂覆有透明导电层的基板的金属布线方法，该透明导电层能够通过切割涂覆在基板的上部的透明导电层而在基板上选择性地形成金属线 以激光划线方式。 本发明提供了涂覆有透明导电层的基板的方法布线方法，包括（a）制备涂有透明导电层的基板的步骤，（b）通过切割 通过激光划线必要的透明导电层，以及（c）在暴露的基板上形成金属线的步骤。 （附图标记）（AA）聚合物保护膜; （BB）激光蚀刻; （CC）铜线; （DD）除去聚合物
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公开(公告)号：KR1020120122103A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110040093
申请日：2011-04-28
Applicant: (주)세온
IPC: H01L21/205 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/40
CPC classification number: H01L21/28506 , C23C16/455 , H01L21/02554 , H01L21/02573
Abstract: PURPOSE: A method for depositing a thin film of a transparent conductive substrate and a hard board is provided to reduce manufacturing time by forming a thin film on both sides of the hard board and a flexible substrate in one process chamber. CONSTITUTION: A film is supplied from a first roll and is wound around a second roll. A raw material feeding and exhausting nozzle is installed in a direction of 90 degrees of the same plane as the first roll and the second roll. Raw materials are supplied in the direction of 90 degrees of the plane in a progressive direction of the substrate. A line connected to the center of the feeding and exhausting nozzle coincides with the location of a surface with the substrate. Both sides of the transparent hard board and the flexible substrate are coated with ceramic by uniformly supplying raw gas. [Reference numerals] (AA) Supplying mist; (BB) Cooling unit; (CC) Coating unit; (DD) Preheating unit; (EE) Product roll; (FF) Exhaust; (GG) Substrate roll; (HH) Progressive direction of a substrate
Abstract translation: 目的：提供一种用于沉积透明导电基板和硬板的薄膜的方法，以通过在一个处理室中在硬板的两侧和柔性基板上形成薄膜来减少制造时间。 构成：从第一卷提供薄膜，并卷绕在第二卷上。 原料供给排气喷嘴与第一辊和第二辊相同的平面的90度的方向安装。 原材料沿着基板的逐行方向在平面的90度的方向上供给。 连接到进料和排气喷嘴中心的管线与表面与基材的位置重合。 通过均匀地供给原料气体，透明硬质板和柔性基板的两面涂覆有陶瓷。 （附图标记）（AA）供应雾; （BB）冷却单元; （CC）涂装单元; （DD）预热单元; （EE）产品卷; （FF）排气; （GG）基材卷; （HH）衬底的逐行方向
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公开(公告)号：KR101764214B1
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：KR1020150155407
申请日：2015-11-05
Applicant: (주)세온
Abstract: 본발명은발열구조체및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른발열구조체는기재, 상기기재상에형성되며, 불소가도핑된주석산화물을포함하는발열박막및 상기발열박막상에형성된확산장벽층을포함할수 있다.
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