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公开(公告)号：KR100986781B1
公开(公告)日：2010-10-14
申请号：KR1020080084556
申请日：2008-08-28
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Inventor： 권성훈
Abstract: 나노구조를 제조하는 방법이 제공된다. 본 개시에 따르면, 적어도 한 쌍의 구조층과 희생층을 갖는 다층 스택(multilayer stack)이 기판 상에 형성되고, 나노구조를 형성하기 위하여 다층 스택이 패터닝되며, 패터닝된 다층 스택으로부터 나노구조를 릴리즈(release) 한다.
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公开(公告)号：KR100981685B1
公开(公告)日：2010-09-10
申请号：KR1020080018150
申请日：2008-02-28
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L31/054
CPC classification number: H01L31/0524 , G02B3/0056 , H01L31/048 , H01L31/0543 , Y02E10/52
Abstract: 본 발명은 태양전지 장치 및 그 제조 방법에 관한 발명으로서 보다 구체적으로는 마이크로렌즈를 이용한 고효율, 저가, 대면적의 태양전지 장치 및 그 제조 방법에 관한 발명이다.
본 발명의 일측면은 복수의 렌즈들(lens)이 일면에 배열된 플레이트(plate); 및 상기 복수의 렌즈들에 의하여 집광된 빛을 수광하는 복수의 태양전지들(solar cell)을 포함하는 태양전지 장치(apparatus)를 제공하는 것이다.
태양전지, 렌즈Abstract translation: 提供一种太阳能电池装置及其制造方法。 更具体地，提供了使用微透镜的高效率，廉价和大面积的太阳能电池装置及其制造方法。 太阳能电池装置包括在一个表面上布置多个透镜的板，以及接收由透镜集中的光的多个太阳能电池。
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公开(公告)号：KR1020100025366A
公开(公告)日：2010-03-09
申请号：KR1020080084082
申请日：2008-08-27
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: H01L21/02603 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A method of fabricating a nanowire with plural compositions is provided to contact between plural elements with one wire in the inside of an integrated circuit, and to perform multiple functions with one wire. CONSTITUTION: A method of fabricating a nanowire comprises the following steps: supplying plural resins(32,34,36) into a micro fluidic channel; exposing plural resins to a light while flowing through the micro fluidic channel; and manufacturing the nanowire polymerized from resins with two-photon absorption(TPA). The plural resins have different compositions. The different compositions comprise p-type silicon and N type silicon. The step of supplying plural resins comprises a step of supplying a urethane acrylic acid monomer or a urethane acrylate acid oligomer with a photo-initiator into the micro fluidic channel.
Abstract translation: 目的：提供一种制造具有多种组成的纳米线的方法，用于在集成电路内部的一条导线之间的多个元件之间接触，并且通过一条导线执行多种功能。 构成：制造纳米线的方法包括以下步骤：将多种树脂（32,34,36）供应到微流体通道中; 在流过微流体通道的同时将多种树脂暴露于光; 并制造由具有双光子吸收（TPA）的树脂聚合的纳米线。 多种树脂具有不同的组成。 不同的组成包括p型硅和N型硅。 提供多种树脂的步骤包括将氨基甲酸酯丙烯酸单体或聚氨酯丙烯酸酯低聚物与光引发剂一起供入到微流体通道中的步骤。
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公开(公告)号：KR100915337B1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：KR1020070107577
申请日：2007-10-25
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/027 , H01L33/00 , A00
Abstract: 패턴이 형성된 기판 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 패턴이 형성된 기판 제조방법은 기판 상의 산화물 비드 패턴을 형성하고자 하는 위치에 선택적인 결합력을 갖는 제1결합제 패턴을 형성하고, 기판과의 결합력보다 제1결합제와의 결합력이 더 큰 제2결합제를 산화물 비드에 코팅한다. 그리고 제2결합제가 코팅된 산화물 비드를 기판 상에 도포하여, 제2결합제가 코팅된 산화물 비드를 제1결합제 패턴 상에 형성하고, 기판을 열처리한다. 본 발명에 따른 다른 패턴이 형성된 기판 제조방법은 산화물 비드가 분산된 용액을 준비하고, 기판 상에 패턴을 형성한 다음, 기판 상에 마이크로 채널이 형성되도록 임시 구조물을 기판의 상방에 설치한다. 그리고 산화물 비드가 분산된 용액을 마이크로 채널에 주입하여 기판 상에 산화물 비드를 고정시키고, 기판을 열처리한다. 본 발명에 의하면, 저렴한 산화물 비드를 원하는 형태로 기판 위에 패터닝할 수 있게 되어 건식 식각시 기판에 가해지는 손상을방지할 수 있고, 식각과정이 없어서 소자 수율 저하 문제가 없어서 결과적으로 소자의 양산성이 증가된다. 또한 건식식각을 위한 고가의 장비투자가 불필요하여 경제적으로 유리할 뿐 아니라 단시간 내에 많은 양의 기판을 제작할 수 있는 높은 생산성을 가지게 된다.
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公开(公告)号：KR100900195B1
公开(公告)日：2009-06-02
申请号：KR1020070023261
申请日：2007-03-09
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: G06K19/0723 , G06K19/0728
Abstract: 본 발명은 광 식별 태그, 리더 및 시스템에 관한 발명으로서, 보다 구체적으로 광의 형태로 입력된 에너지를 이용하여 자신의 식별 정보를 전송하는 광 식별 태그 및 상기 광 식별 태그를 이용하는 광 식별 시스템 및 리더에 관한 발명이다.
본 발명은 입사되는 광을 전기 에너지로 변환하는 태양전지, 식별 정보에 대응하는 송신 전기 신호를 제공하는 회로부, 및 상기 송신 전기 신호에 대응하는 송신 광 신호를 제공하는 발광부를 구비하는 광 식별 태그; 및 상기 광 식별 태그에 상기 입사되는 광을 제공하고, 상기 광 식별 태그로부터 상기 송신 광 신호를 제공받는 광 식별 리더를 제공한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090040200A
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：KR1020080018150
申请日：2008-02-28
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L31/054
CPC classification number: H01L31/0524 , G02B3/0056 , H01L31/048 , H01L31/0543 , Y02E10/52
Abstract: A solar cell device is provided to arrange solar cells with a small size by using the fluid self assembly and to form a space for positioning the plurality of solar cells without an additional mask by exposing the light through the plurality of lenses. Micro lenses(110) are arranged in a plate(100) and solar cells(150). An insulating layer(130C) electrically isolates a plurality of first electrodes(120C) and a plurality of second electrodes(160C). A plurality of the first electrodes and a plurality of the second electrodes are patterned. Contact holes(142) connect the plurality of the first electrodes and the second electrodes. The insulating layer has a space for positioning the solar cells. A first solar cell(150A) is connected by a first electrode(122C) among a plurality of first electrodes. A second solar cell(150B) is connected by a second electrode(162C) among the plurality of the second electrodes.
Abstract translation: 提供太阳能电池装置以通过使用流体自组装来布置具有小尺寸的太阳能电池，并且通过将光暴露在多个透镜中而形成用于定位多个太阳能电池而没有附加掩模的空间。 微透镜（110）布置在板（100）和太阳能电池（150）中。 绝缘层（130C）电绝缘多个第一电极（120C）和多个第二电极（160C）。 多个第一电极和多个第二电极被图案化。 接触孔142连接多个第一电极和第二电极。 绝缘层具有用于定位太阳能电池的空间。 第一太阳能电池（150A）由多个第一电极中的第一电极（122C）连接。 第二太阳能电池（150B）通过第二电极（162C）在多个第二电极之间连接。
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公开(公告)号：KR100893167B1
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：KR1020070100472
申请日：2007-10-05
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 본 발명은 에너지 경화성 물질을 이용한 미세구조물 생성 및 처리 시스템으로서, 보다 구체적으로 다양한 에너지 경화성 유체에 선택적으로 에너지를 공급하여 원하는 형상의 미세구조물을 생성한 후, 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 제1 측면은 광원; 상기 광원에서 조사된 광을 선택된 특성을 갖는 광으로 변형하는 변형 수단; 내부에 광경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 광에 따라 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및 상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 생성 및 처리 시스템을 제공하는 것이다.-
公开(公告)号：KR1020090035435A
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：KR1020080096532
申请日：2008-10-01
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
CPC classification number: G03F7/20 , G03F7/004 , G03F7/0045 , G03F7/0047
Abstract: A system for fabricating and handling microstructure and a method for fabricating the microstructure are provided to combine the microstructure in one-dimension, two dimension or three dimension by controlling the position and movement of the microstructures. A system for fabricating and handling microstructure and a method for fabricating the microstructure comprises an energy source; a deformation unit changing the energy generated from an energy source into the energy having the selected property; a stream tube(30) generating a microstructure(90) by selectively curing the energy-curable fluid(31) according to the energy provided from the deformation unit; and a treatment unit(36) moving, arranging or combining the microstructure according to the constant pattern. The microstructure generated by hardening the photo-crosslinkable fluid has a guide(91).
Abstract translation: 提供了用于制造和处理微结构的系统以及用于制造微结构的方法，通过控制微结构的位置和运动来组合一维，二维或三维的微结构。 用于制造和处理微结构的系统和用于制造微结构的方法包括能量源; 变形单元，其将从能量源产生的能量改变为具有所选择的特性的能量; 流管（30），通过根据从变形单元提供的能量选择性地固化能量固化流体（31）来产生微结构（90）; 和处理单元（36），根据恒定图案移动，排列或组合微结构。 通过硬化光可交联流体而产生的微观结构具有引导（91）。
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公开(公告)号：KR100968490B1
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：KR1020080075190
申请日：2008-07-31
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
IPC: H01L21/027
Abstract: 내부에 유체가 흐르는 유체관, 및 상기 유체관의 내부에 위치하는 미세구조물을 구비하는 미세구조물 운반 시스템에 있어서, 상기 유체관은 홈 형태의 레일을 구비한다. 상기 미세구조물은 상기 레일을 따라 이동한다. 상기 미세구조물은 돌기 형태의 가이드를 구비한다. 상기 가이드는 상기 미세구조물이 상기 레일을 벗어나지 않도록 한다. 상기 가이드의 일단은 쐐기 형태을 가진다. 상기 쐐기의 첨단은 상기 가이드의 중심에 위치하지 아니하고, 상기 레일의 양 측면들 중 어느 하나의 방향으로 치우친다.
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公开(公告)号：KR1020100025363A
公开(公告)日：2010-03-09
申请号：KR1020080084079
申请日：2008-08-27
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Inventor： 권성훈
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B41K3/00 , B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , Y10S977/887
Abstract: PURPOSE: A nano-pattern manufacturing method, a mask manufacturing method and a nano-inprint lithography method are provided to separate a mold from a resist pattern after an imprint operation by setting the surface energy of a mold contact face to be lower than the surface energy of a resist layer. CONSTITUTION: A resist layer is formed on a substrate(10). A mold(20) including a nano-feature to form a trench(30) with a nano-size is imprinted on the resist layer. A metal is deposited on the trench which is formed on the resist layer. The remained part of the resist layer(32) which is arranged on the lower side of the trench is etched. A resist pattern(15a) which corresponds to the nano-feature of the mold is formed.
Abstract translation: 目的：提供纳米图案制造方法，掩模制造方法和纳米印刷光刻方法，以通过将模具接触面的表面能量设置为低于表面来分离模具与印模操作之后的抗蚀剂图案 抗蚀剂层的能量。 构成：在基板（10）上形成抗蚀剂层。 包含纳米特征以形成具有纳米尺寸的沟槽（30）的模具（20）印在抗蚀剂层上。 在形成在抗蚀剂层上的沟槽上沉积金属。 蚀刻设置在沟槽下侧的抗蚀剂层（32）的剩余部分。 形成与模具的纳米特征对应的抗蚀剂图案（15a）。
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