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公开(公告)号:WO2022182166A1
公开(公告)日:2022-09-01
申请号:PCT/KR2022/002716
申请日:2022-02-24
Applicant: (주)포인트엔지니어링
IPC: C23C16/44 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/40 , C23C28/04 , C25D11/02 , C25D11/00 , H01J37/32
Abstract: 본 발명은 복수개의 처리 대상물의 표면에 한꺼번에 보호막을 피복하도록 하되 보호막을 피복할 필요가 없는 부분은 처리 용기 외부에 위치하도록 하여 처리 용기의 한정 공간을 보다 효과적으로 이용하여 제조 수율을 향상시키고 보호막 재료의 낭비를 방지하는 보호막 처리 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은, 플라즈마 처리 환경에서 내식성이 우수한 공정 챔버용 부품을 제공한다.
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公开(公告)号:WO2022164242A1
公开(公告)日:2022-08-04
申请号:PCT/KR2022/001527
申请日:2022-01-27
Applicant: (주)포인트엔지니어링
Abstract: 본 발명은 커패시터를 구성하는 전극의 표면적을 향상시켜 정전용량이 향상된 커패시터 및 그 제조방법을 제공한다. 상기 커패시터는 개구부가 형성된 양극산화막; 상기 양극산화막의 상부 표면 및 상기 개구부의 측면에 형성된 제1전극; 상기 제1전극의 표면상에 형성된 유전체; 및 상기 유전체의 표면상에 형성된 제2전극;을 포함한다.
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公开(公告)号:WO2022080755A1
公开(公告)日:2022-04-21
申请号:PCT/KR2021/013771
申请日:2021-10-07
Applicant: (주)포인트엔지니어링
Abstract: 본 발명은 전기 전도성 접촉핀, 이의 제조방법, 검사장치, 성형물의 제조방법 및 그 성형물에 관한 것으로, 양극산화막 재질로 구성되고, 전기 전도성 접촉핀의 형상과 대응되도록 적어도 일부 영역을 에칭하여 형성된 개구부를 포함하는 양극산화막 몰드를 구비하는 단계; 상기 개구부에 금속 충진물을 형성하는 단계; 상기 양극산화막 몰드를 제거하는 단계를 포함하는 전기 전도성 접촉핀의 제조방법, 적어도 하나의 마이크로 볼록부 및 복수개의 미세 트렌치를 포함하는 전기 전도성 접촉핀, 검사장치, 성형물의 제조방법 및 그 성형물에 관한 것이다.
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公开(公告)号:WO2020009520A1
公开(公告)日:2020-01-09
申请号:PCT/KR2019/008277
申请日:2019-07-05
Applicant: (주)포인트엔지니어링
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 본 발명은 상변화 물질(Phase Change Material)을 이용하여 마이크로 LED를 보다 효과적으로 전사할 수 있는 마이크로 LED 전사헤드 및 이를 이용한 마이크로 LED 전사 시스템에 관한 것이다. 제1기판에서 제2기판으로 마이크로 LED를 전사하는 마이크로 LED 전사헤드는, 마이크로 LED와의 접촉 계면에서 마이크로 LED와 접촉시 고상에서 액상으로 상변화를 하여 마이크로 LED를 흡착하는 상변화 물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号:WO2020009294A1
公开(公告)日:2020-01-09
申请号:PCT/KR2018/016337
申请日:2018-12-20
Applicant: (주)포인트엔지니어링
Abstract: 본 발명은 감지물질에 UV를 조사하여 감지물질을 활성화시킴으로써, 특정가스를 감지하는 UV LED를 이용한 가스센서에 관한 것으로서, 특히, 상온 상태에서도 가스의 농도 등을 측정할 수 있는 UV LED를 이용한 가스센서에 관한 것이다.
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公开(公告)号:WO2023090746A1
公开(公告)日:2023-05-25
申请号:PCT/KR2022/017464
申请日:2022-11-08
Applicant: (주)포인트엔지니어링
IPC: G01R1/067
Abstract: 본 발명은 검사 대상물에 대한 검사 신뢰성을 향상시킨 전기 전도성 접촉핀 및 검사장치를 제공한다. 전기 전도성 접촉핀은 제1 탄성부가 압축됨에 따라 제1 접속부가 지지부에 접촉되어 전류 패스를 형성하고, 제2 탄성부가 압축됨에 따라 제2 접속부가 지지부에 접촉되어 전류 패스를 형성하는 특징을 가진다. 검사장치는 전기 전도성 접촉핀을 수용하는 관통홀을 구비하는 설치부재를 포함한다.
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公开(公告)号:WO2023059084A1
公开(公告)日:2023-04-13
申请号:PCT/KR2022/015028
申请日:2022-10-06
Applicant: (주)포인트엔지니어링
IPC: G01R1/067
Abstract: 본 발명은 가이드 구멍의 측벽에 마찰력을 인가하여 가이드 플레이트로부터 자중에 의해 낙하되지 않도록 하면서 탄성부의 길이 방향의 압축 변형을 통해 접속 대상물의 가압력이 감쇠되어 마찰력에 전달되도록 하는 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치를 제공한다.
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公开(公告)号:WO2023059013A1
公开(公告)日:2023-04-13
申请号:PCT/KR2022/014825
申请日:2022-09-30
Applicant: (주)포인트엔지니어링
IPC: G01R1/067
Abstract: 본 발명은 단부에 두께 방향으로 관통하는 내부 공간을 가지는 탄성부를 구비하고, 상부 가이드 플레이트 및 하부 가이드 플레이트 사이에서 측 방향으로 탄성 변형되어, 전기 전도성 접촉핀과 접촉되는 접속 대상물에 과도한 압력을 부여하는 것을 방지하는 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치를 제공한다.
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