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    液体吐出ヘッド、液体吐出装置、圧電デバイス、および超音波センサー
    13.
    发明专利
    液体吐出ヘッド、液体吐出装置、圧電デバイス、および超音波センサー 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019051696A

    公开(公告)日：2019-04-04

    申请号：JP2018012688

    申请日：2018-01-29

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 西脇 学 ,  加藤 洋 ,  浅川 勉

    IPC: H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H04R17/00 ,  B41J2/14

    Abstract: 【課題】圧電素子に対して高温で焼成する場合であっても振動板と圧電素子との剥離を抑制する。 【解決手段】振動板36は、酸窒化シリコン層361を含む。酸窒化シリコン層361は、酸窒化シリコンを含んで形成された層である。酸窒化シリコン層361の線膨張係数は、酸素の含有量が多い程小さくなり、窒素の含有量が多い程大きくなる。酸窒化シリコン層361の線膨張係数は、酸化シリコンの線膨張係数=0.5×10 −6 /Kより大きく、第1電極51の線膨張係数=8.9×10 −6 /Kに近い。従って、酸窒化シリコン層361を含む振動板36を用いることにより、圧電素子38を高温で焼成する場合であっても、振動板36の材料に酸化シリコンが採用される場合と比較して、圧電素子38と振動板36との剥離を抑制することができる。 【選択図】図6

    液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および圧電デバイス
    16.
    发明专利
    液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および圧電デバイス 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019048423A

    公开(公告)日：2019-03-28

    申请号：JP2017174179

    申请日：2017-09-11

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 朝岡 一郎 ,  平井 栄樹 ,  西脇 学 ,  加藤 洋

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 【課題】圧電デバイスが変形する際に、電極上の保護層の厚みや形状が異なる部分同士の境界近傍において、応力集中が発生し、圧電体層が破壊されることを防止する。 【解決手段】液体吐出ヘッドは:圧力室と;圧力室を変形させる圧電素子と;圧力室内の液体を吐出するノズルと;圧電素子に電圧を印加する配線と;圧電素子と配線を覆う保護層と、を備える。圧電素子は:圧電体層と;圧電体層の一方の面に配され、圧電体層と圧力室の間に位置する第1電極層と;圧電体層の他方の面に配され、圧電体層とは逆の側の面において配線と接続されている第2電極層と、を備える。保護層は:配線を覆う第1部分と;配線を覆わず他の構成を覆う第2部分と;第1部分と第2部分との間に位置し、圧力室側の面が平坦な第3部分であって、圧力室側とは逆の側に、第1部分の表面と第2部分の表面とを接続する傾斜面と複数の段差の少なくとも一方を有する第3部分と、を有する。 【選択図】図5

    液体吐出ヘッド及びプリンター
    17.
    发明专利
    液体吐出ヘッド及びプリンター 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019042940A

    公开(公告)日：2019-03-22

    申请号：JP2017165195

    申请日：2017-08-30

    Applicant: セイコーエプソン株式会社

    Inventor： 朝岡 一郎 ,  西脇 学 ,  加藤 洋

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 【課題】振動板の変位量が大きく、かつ、信頼性の高い液体吐出ヘッド、及び、これを備えたプリンターを提供すること。 【解決手段】圧力室と、前記圧力室の一壁を形成する振動板と、前記振動板上に形成された第1電極、前記第1電極上に形成された鉛を含有する薄膜圧電体層、及び、前記薄膜圧電体層上に形成された第2電極を有する圧電素子と、前記振動板と前記薄膜圧電体層との間に設けられた鉛拡散抑制層と、を有し、前記振動板の厚さ方向における前記薄膜圧電体層の輪郭は、前記振動板の厚さ方向における前記圧力室の輪郭よりも内側に配置される、液体吐出ヘッド。 【選択図】図1

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