分解半导体器件的布局的方法和制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:CN105404706B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201510490670.0

    申请日:2015-08-11

    Abstract: 公开了分解半导体器件的布局的方法和制造半导体器件的方法。分解半导体器件的布局的方法包括:半导体器件的布局中包括的多边形当中的多个交叉点的多边形可以被确定为复杂多边形,其中在所述多个交叉点中的每个交叉点处至少两条线交叉。第一针脚可以被插入在复杂多边形上的所述多个交叉点之间。可以通过在布局上执行图形划分操作来生成多个分解图形。

    半导体器件及其制造方法
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111146148B

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN201910897507.4

    申请日:2019-09-23

    Abstract: 公开了一种半导体器件及其制造方法。所述方法包括:在衬底上顺序地堆叠下部牺牲层和上部牺牲层;图案化所述上部牺牲层以形成第一上部牺牲图案和第二上部牺牲图案;分别在所述第一上部牺牲图案的侧壁和所述第二上部牺牲图案的侧壁上形成第一上部间隔物和第二上部间隔物;使用所述第一上部间隔物和所述第二上部间隔物作为蚀刻掩模来图案化所述下部牺牲层,以形成多个下部牺牲图案;在所述多个下部牺牲图案的侧壁上形成多个下部间隔物;以及使用所述多个下部间隔物作为蚀刻掩模来图案化所述衬底。所述第一上部间隔物和所述第二上部间隔物彼此连接。

    半导体器件
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109087915B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN201810587258.4

    申请日:2018-06-06

    Abstract: 提供了半导体器件。一种半导体器件包括栅极结构和邻近的接触。半导体器件包括连接到接触的连接器。在一些实施方式中,半导体器件包括连接到连接器的布线图案。此外,在一些实施方式中,连接器和半导体器件的第一单元与第二单元之间的边界相邻。

    集成电路器件
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108172571B

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN201711283666.2

    申请日:2017-12-07

    Abstract: 一种集成电路(IC)器件包括至少一个标准单元。该至少一个标准单元包括:第一有源区和第二有源区,分别设置在虚设区域的两侧的每个上,第一有源区和第二有源区具有不同的导电类型并在第一方向上延伸;第一栅线和第二栅线,在垂直于第一方向的第二方向上平行于彼此延伸跨过第一有源区和第二有源区;第一旁路互连结构,配置为电连接第一栅线与第二栅线;以及第二旁路互连结构,配置为电连接第二栅线与第一栅线。第一旁路互连结构和第二旁路互连结构包括在第一方向上延伸的下互连层、在第二方向上延伸的上互连层以及接触通路。

    半导体器件
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110943080A

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201910609180.6

    申请日:2019-07-08

    Abstract: 一种半导体器件包括:有源区域,在衬底上沿第一方向延伸;掩埋导电层,在衬底上与有源区域相邻设置并沿第一方向延伸;栅电极,交叉有源区域并沿交叉第一方向的第二方向延伸;源/漏层,在栅电极的一侧设置在有源区域上;栅隔离图案,设置在掩埋导电层上以与栅电极的一端相邻设置,并沿第一方向延伸;以及接触插塞,设置在源/漏层上、电连接到掩埋导电层并与栅隔离图案接触。

    包括标准单元的集成电路
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110838484A

    公开(公告)日:2020-02-25

    申请号:CN201910307666.4

    申请日:2019-04-17

    Abstract: 一种包括标准单元的集成电路包括:多个第一阱,以第一宽度沿第一水平方向延伸并具有第一导电类型;以及多个第二阱,以第二宽度沿第一水平方向延伸并具有第二导电类型,其中所述多个第一阱和所述多个第二阱在与第一水平方向正交的第二水平方向上交替布置,当m和n是大于或等于3的整数时,标准单元具有第二水平方向上的长度,该长度等于第一宽度的一半的m倍与第二宽度的一半的n倍之和。

    半导体器件
    19.
    发明公开
    半导体器件 审中-公开

    公开(公告)号:CN110610992A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910259333.9

    申请日:2019-04-01

    Abstract: 提供了一种半导体器件。该半导体器件包括:第一鳍图案和第二鳍图案,通过第一隔离沟槽分离并在第一方向上延伸;第三鳍图案,在与第一方向相交的第二方向上与第一鳍图案间隔开并在第一方向上延伸;第四鳍图案,通过第二隔离沟槽与第三鳍图案分离;第一栅结构,与第一鳍图案相交,并且具有沿第一鳍图案的上表面延伸的部分;第二栅结构,与第二鳍图案相交,并且具有沿第二鳍图案的上表面延伸的部分;以及第一元件隔离结构,填充第二隔离沟槽,并且面对第一栅结构的短边。

    半导体器件
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109087915A

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201810587258.4

    申请日:2018-06-06

    Abstract: 提供了半导体器件。一种半导体器件包括栅极结构和邻近的接触。半导体器件包括连接到接触的连接器。在一些实施方式中,半导体器件包括连接到连接器的布线图案。此外,在一些实施方式中,连接器和半导体器件的第一单元与第二单元之间的边界相邻。

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