集成到半导体衬底中的磁通闸门敏感元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100410680C

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN02146891.5

    申请日:2002-10-18

    Abstract: 一种磁通闸门敏感元件被集成在半导体衬底上。该元件有两个棒形软磁芯或者一个矩形环软磁芯,从而在半导体衬底上形成闭合磁路。它带有由金属层形成的励磁线圈,呈组合结构,按照数字“8”的形状缠绕在两个棒形磁芯组合外面或者矩形环磁芯两个长边组合外面;或者呈分离结构,按照数字“8”的形状分别缠绕在两个棒形磁芯上或者矩形环磁芯的两个长边上。另外,还有一个耦合线圈,也形成在两个棒形磁芯上或者矩形环磁芯的两个长边上,呈组合结构,按照螺线管的形状缠绕在两个棒形磁芯组合整体的外面或者矩形环磁芯两个长边组合的外面;或者呈分离结构,按照螺线管的形状分别缠绕在两个棒形磁芯上或者矩形环磁芯的两个长边上。

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