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公开(公告)号:CN1332262C
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200410047604.8
申请日:2004-05-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G02F1/353
Abstract: 为了使用用于进行波长转换的非线性光学晶体、通过使基本激光束沿一个方向传播来对基本激光束进行波长转换,使随机偏振的基本激光束按顺序穿过串联的、用于进行波长转换的两个非线性光学晶体,从而产生波长已经转换的激光束,其偏振方向彼此相差45度到90度。提供了用于进行波长转换的两个非线性光学晶体,以便当相对于激光束的光轴的方向观察时,各晶体的晶体方向轴相差45度到90度。
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公开(公告)号:CN1706028A
公开(公告)日:2005-12-07
申请号:CN200480001234.2
申请日:2004-08-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/20 , H01L29/786 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/66757 , H01L21/02532 , H01L21/02595 , H01L21/2026 , H01L29/78675
Abstract: 一种薄膜半导体的制造方法,包括:将可见光脉冲激光(22)在被照射物的表面上聚光成细线形状,并且移动位置以使得在上述细线形状的照射区域(35)的宽度方向上与下一个定时的照射区域(35)重合,同时进行反复照射,在上述被照射物的表面上形成多晶硅膜的多晶化工序;上述多晶化工序在上述可见光脉冲激光(22)对第1照射区域(35)照射的期间或照射之前,对与上述第1照射区域(35)部分重合的第2照射区域(36)照射紫外光脉冲激光(23)。
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公开(公告)号:CN1619404A
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN200410047604.8
申请日:2004-05-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G02F1/353
Abstract: 为了使用于进行波长转换的非线性光学晶体、通过使基本激光束沿一个方向传播来对基本激光束进行波长转换,使随机偏振的基本激光束按顺序穿过串联的、用于进行波长转换的两个非线性光学晶体,从而产生波长已经转换的激光束,其偏振方向彼此相差45度到90度。提供了用于进行波长转换的两个非线性光学晶体,以便当相对于激光束的光轴的方向观察时,各晶体的晶体方向轴相差45度到90度。
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