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公开(公告)号：CN101956176A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010502579.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种连续蒸镀设备，包括主腔体、至少两副腔体、与副腔体对应的蒸发源机构及蒸发舟输送机构，副腔体与主腔体之间密封地连通，蒸发源机构安装于主腔体内且与副腔体相对应，蒸发舟输送机构密封地枢接于副腔体上，蒸发舟输送机构包括滑轨、电极棒及蒸发舟，电极棒的一端与滑轨滑动连接，另一端密封地伸入副腔体内且与蒸发舟连接，工作时，其中一蒸发舟输送机构的蒸发舟被输送到主腔体内进行蒸镀工艺，其余蒸发舟输送机构的蒸发舟位于副腔体内进行更换或维修，两组以上的蒸发舟输送机构循环交替工作，在主腔体内连续进行蒸镀，使主腔体内的蒸镀工艺不间断，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀设备的结构简单、操作便捷。
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公开(公告)号：CN101876058A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN201010131993.8
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置，其包括传输机构、蒸镀机构、传感控制装置及真空机构，传输机构包括主腔体、闸门，传输组件及驱动器，主腔体两侧开设有闸口，闸门安装于所述闸口处，主腔体底部开设有连接口，驱动器与闸门及传输组件连接，驱动器驱动基板在传输组件上移动；蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟及蒸发源，蒸发舟安装于副腔体内，蒸发源放置于蒸发舟内，副腔体正对主腔体的连接口处开设有对接口，挡板安装于连接口与对接口之间；传感控制装置包括传感器及与控制器，控制器与传输组件及蒸发舟电连接；真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，粗抽管道与副腔体连通，粗抽管道与真空泵相连接。
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公开(公告)号：CN101826477A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010139312.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供了一种掩膜传输系统，包括腔体、传输机构、承载篮子、升降机构、控制机构及抽真空机构。腔体开设有工作腔、第一输送口和第二输送口。传输机构的传输件收容于工作腔内，且其后端与第二输送口对接。承载篮子包括呈中空结构的承载框体，承载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且承载框体的后端开设有传输口。升降机构驱动承载篮子沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与传输件对接。控制机构控制升降机构驱动承载篮子的存储槽逐一与传输件的前端对接。抽真空机构为腔体的工作腔提供真空环境。本发明掩膜传输系统能提高掩膜传输和存储的连贯性以提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101825841A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010139315.6
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G03F1/00
Abstract: 本发明提供了一种掩膜存储清洗系统，包括腔体、输送装置、装载盒、升降装置、控制装置、抽真空装置及离子清洗器。腔体开设有工作腔、第一通口和第二通口。输送装置的输送件收容于工作腔内，且其后端与第二通口对接。装载盒的装载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且装载框体的后端开设有传输口。升降装置驱动装载盒沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与输送件对接。控制装置控制升降装置驱动装载盒的存储槽逐一与输送件的前端对接。抽真空装置为腔体的工作腔提供真空环境。离子清洗器对装载盒内的掩膜进行清洗。本发明能集掩膜存储和清洗于一体以减少工序数并提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101823622A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010139335.3
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开一种自动传输装置，安装于自动化生产线上对工件进行传输，包括传输架、固定轨道、传动齿条、驱动机构及主动齿轮，所述固定轨道呈对称的固定于所述自动化生产线的两侧，所述驱动机构与所述主动齿轮连接驱动所述主动齿轮转动，所述主动齿轮的中心轴与所述固定轨道的平面相互垂直并且所述主动齿轮沿所述自动化生产线的工件传输方向均匀分布地枢接于所述固定轨道上，所述传动齿条分别安装于所述传输架的两侧，所述传动齿条与所述主动齿轮相互啮合，所述传输架承载于所述固定轨道上并与所述固定轨道呈移动地接触。本发明自动传输装置具有结构简单紧凑，传动准确、可靠性高、控制方便的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101957199B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201010171173.1
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G01C15/10
Abstract: 本发明公开了一种吊锤装置，用于调节设备的垂直度以确定设备的中心线在地面的投影线。其中，所述吊锤装置包括均呈中心对称结构的锥体、锥台以及吊线固定座，锥体呈圆锥状，锥台由锥体呈平面的一端的中心处向外延伸而成，锥台具有一安装面，安装面与锥体和锥台的中心轴线垂直，吊线固定座安装在安装面上。与现有技术相比，所述吊锤装置的锥台的安装面垂直于锥体和锥台的中心轴线，吊线固定座安装在锥台的安装面上，当吊线固定于吊线固定座上时，可以保证吊线与所述锥体的中心轴线在同一直线上，从而保证了使用吊锤装置时调节设备垂直度的精度，进而保证了工程质量以及提高了多台设备的中心线的对位精度。
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公开(公告)号：CN102092584B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201010502321.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种对基片承载盒传输和变向的旋转式平台传输装置，包括机架、垂直升降机构及承载平台。机架具有移动腔，垂直升降机构包括导向件、垂直驱动组件、推动件、下升降板和上升降板。垂直驱动组件设于机架上，其输出端与下升降板连接，下升降板收于移动腔内。导向件上端与机架上端固定，下端滑动穿过下升降板。推动件下端与下升降板固定，上端滑动穿过机架并与上升降板固定，导向件与推动件均与下升降板垂直。承载平台包括承载基片承载盒的底板，底板与上升降板平行且呈转动的连接。垂直驱动组件通过下升降板和推动件带动底板上下移动，底板受水平力时可在上升降板上转动实现变向。本发明能提高基片的传输质量及精度并降低传输成本。
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公开(公告)号：CN101880019B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010131872.3
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种升降平台，包括支撑架、传动机构、滑动机构及升降支架，传动机构包括第一传动组件、第二传动组件、设于支撑架上的固定座、及穿过固定座且两端分别固定连接第一传动组件和第二传动组件的传动轴，第一传动组件包括穿过支撑架并与支撑架枢接的手柄、固定连接手柄的一端的蜗杆及固定连接于传动轴的一端并与蜗杆啮合的蜗轮，第二传动组件包括垂直设于升降支架上的齿条及固定连接于传动轴的另一端并与齿条啮合的齿轮；滑动机构包括设于支撑架上并与齿条平行的导轨及设于升降支架上并与导轨滑动卡接的滑块。本发明的升降平台升降平稳、安全可靠、升降精度高且行程大，在使用的过程中没有噪音且不会污染环境，同时结构简单、体积轻巧。
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公开(公告)号：CN101826477B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201010139312.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供了一种掩膜传输系统，包括腔体、传输机构、承载篮子、升降机构、控制机构及抽真空机构。腔体开设有工作腔、第一输送口和第二输送口。传输机构的传输件收容于工作腔内，且其后端与第二输送口对接。承载篮子包括呈中空结构的承载框体，承载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且承载框体的后端开设有传输口。升降机构驱动承载篮子沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与传输件对接。控制机构控制升降机构驱动承载篮子的存储槽逐一与传输件的前端对接。抽真空机构为腔体的工作腔提供真空环境。本发明掩膜传输系统能提高掩膜传输和存储的连贯性以提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101958634B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201010171132.2
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
CPC classification number: F16J9/14
Abstract: 本发明公开了一种真空动密封精确传动装置，所述真空动密封精确传动装置还包括测速组件，该测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，光电传感器固定在传感器固定座上，光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，感应片同轴固定在向真空腔体内传输动力的齿轮轴上并位于两检测臂之间，结构紧凑，感应片上开设有通槽，光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂，当通槽随感应片转动到与两检测臂位于同一平面时，光信号能有效被另一检测臂所接收。本发明的真空动密封精确传动装置通过光电传感器与感应片的配合可记录电机启动的起始位置，并可同步检测电机传给齿轮轴的实际转速，能在保证真空洁净度的同时实现精确、平稳的传动。
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