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公开(公告)号：CN103616739A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310668106.4
申请日：2013-12-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种圆片级聚合物光学微球腔的集成制造方法，解决了现有工艺过程繁琐、不能大面积有序可控制造、光学性能不突出的问题。本发明方法包括如下步骤：在圆形基片上制作圆柱基底；清洗基底，烘干；向圆柱基底上喷射NOA73光学胶；再经过曝光便可得到固化的NOA73光学微球腔；最后把锥形光纤与微球腔进行耦合，用AB胶把锥形光纤固定在两侧的圆柱基底上，便得到了光学微球腔的集成结构。本发明制得的NOA73光学微球腔具有成本低、制作过程简单、微球腔的大小可控以及光学性能优异等特点，并且最后和锥形光纤加以集成，得到了集成的光学微球腔结构。
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公开(公告)号：CN103000981A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210463302.3
申请日：2012-11-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料，使用电镀金属材料作为结构材料，并配合不同图案的掩膜板，采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术，可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维金属结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模，构造模具，再对模具进行注塑固化，可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制，最后将二者进行键合封装，即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大，且该滤波器腔体为一体化设置，避免了组装带来的误差，提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。
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公开(公告)号：CN102681046A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210153132.9
申请日：2012-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及曲面微透镜阵列的制备方法，解决了现有微透镜阵列制作复杂、透光性差且不方便插入光纤导致实用性差的问题。一种大面积NOA73曲面微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：制备带有凹透镜结构的PDMS负模；制备带有半圆柱状凹槽的PDMS模具：在PDMS负模的底面和PDMS模具的半圆柱状凹槽内均涂一层PDMS液体后加热固化粘合在一起，得到PDMS曲面凹透镜负模；制备NOA73薄膜；从PDMS曲面凹透镜负模的凹透镜结构上揭下带有NOA73固态膜的NOA73薄膜，即得到NOA73曲面微凸透镜阵列。本发明所述的制备方法成本低、制作简单、易于批量生产；可广泛适用于集成成像、光束整形、光纤耦合等领域。
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公开(公告)号：CN101814860B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201010142644.6
申请日：2010-04-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微能源领域，具体是一种基于压电效应和电磁感应现象的振动驱动式复合微电源。适应了微电子机械系统发展对微能源的需要，包括基底、外围基座、悬臂梁、质量块，基底与外围基座的下表面键合固定，质量块中央开设有竖直通孔，质量块的上表面和/或下表面上加工有感应线圈；基底上表面固定有微型永久性柱状磁体，悬臂梁上设有PZT压电薄膜；外围基座上设置有若干外接引线键合焊盘，感应线圈两端和PZT压电薄膜的两极化表面分别经引线与相应的外接引线键合焊盘连接。本发明结构合理、简洁，易于小型化与集成化，能以高输出能量密度和高输出效率为微电子机械系统提供电源，实现微电子机械系统自给供电，满足微电子机械系统发展对微能源的需要。
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公开(公告)号：CN101609110B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910074938.7
申请日：2009-07-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS微加速度传感器的信号提取，具体是一种共振隧穿压阻式微加速度传感器的信号提取方法。进一步优化了共振隧穿压阻式微加速度传感器，提取步骤如下：①在无外界压力作用下，检测与共振隧穿压阻式微加速度传感器的共振隧穿微结构-共振隧穿二极管I-V特性曲线负阻区内峰值点或谷值点对应的基准电压；②根据步骤①得到的基准电压，重新合理设定施加于共振隧穿二极管上的起始电压；③实时检测共振隧穿压阻式微加速度传感器的共振隧穿微结构-共振隧穿二极管I-V特性曲线负阻区内峰值点或谷值点对应电压值的变化量。采用本发明所述信号提取方法的共振隧穿压阻式微加速度传感器的灵敏度高，频响特性好，输出信号的线性度好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101354283B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200810079372.2
申请日：2008-09-08
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。
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公开(公告)号：CN100520413C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200710061572.0
申请日：2007-03-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种微加速度计，具体是用于常规弹药制导抗高过载复合式微加速度计，解决了有些物理过程存在相差上百甚至上千倍的多个加速度值需要测量，而现有技术中一个微加速度计无法完成测试的问题。包括四组微加速度计单元，所述四组微加速度计单元按2×2阵列结构设置，上排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的长度方向设置，下排两组微加速度计单元的压敏电阻沿固支梁的宽度方向设置，各微加速度计单元的框架为整体。本发明不但能同时感测4种不同的加速度信号，而且具有很好的抗干扰能力、较高的抗过载能力和自检测功能。
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公开(公告)号：CN109901310B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201910366678.4
申请日：2019-05-05
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及光开关技术领域，具体涉及一种基于表面等离激元超表面的偏振态控制光开关，包括通过顺次设置的激光器、透镜、偏振控制器、超表面结构、光电探测器和电流表，激光器发射出光束，光束通过透镜投射到偏振控制器，偏振控制器接收光束并输出第一信号，超表面结构接收第一信号并在第一信号的激励下输出第二信号，光电探测器接收第二信号，并输出信号至电流表，通过电流表的电流判断偏振态控制光开关状态。利用超表面结构在不同偏振光的激励下产生不同的透射特性，对入射光选择性通过，实现对入射光阻断或通过的开关效应，通过改变外界条件影响超表面结构的表面等离激元的激发与传输特性，实现光开关打开与关闭的效果。
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公开(公告)号：CN113952993A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111392366.4
申请日：2021-11-23
Applicant: 中北大学
IPC: B01L3/00 , B01F33/30 , B01F101/23
Abstract: 本发明集成微混合器与Tesla阀的多级惯性微流控血样处理芯片，涉及微量采集血液样本的快速体积扩充与目标细胞筛选的一体化实现方法，具体为微混合器、两级惯性细胞分选单元以及特斯拉阀流阻匹配单元的一体化设计与制备。本发明利用流阻匹配的方法实现了两级惯性微流控单元的串联，通过流阻匹配流道将血细胞导出与两级惯性聚焦相结合的方法实现了微量血液样本中稀有癌细胞的高精度富集与筛选，与现有的一级被动式微流控癌细胞筛选技术相比，本发明所提出的两级串联方案筛选纯度更高。现有微流控细胞操纵技术需要先将血液样本稀释后再注入微流控芯片，本发明将微混合器与惯性癌细胞筛选器（一、二级惯性分选单元）集成在一体化片上实现了微量血液样本的稀释与癌细胞的高精度筛选。
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公开(公告)号：CN110161599B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201910413415.4
申请日：2019-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种不同偏振态选择性红外隐身的纳米结构，包括微沟道散热层所述微沟道散热层的上方设置有热电转换层，所述热电转换层的上方设置有超黑材料吸收层，所述超黑材料吸收层是由多个周期排列的卐形结构组成；该不同偏振态选择性红外隐身的纳米结构，不仅能够将光转换成热能，然后把热能转换成电能，通过光‑热、热‑电转换将红外吸收的能量转化成可收集的电能，电能可以直接利用，不仅提升红外隐身材料的隐身效果及寿命，而且可以对不同偏振态的入射过选择性的吸收，实现隐身的效果,也可以作为检测检偏器，识别不同的偏振光。
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